Thermal Stability Improvement or Ni Germanosilicide Using NiPt/Co/TiN and the Effect of Ge Fraction (x) in $Si_{l-x}Ge_x$
(NiPt/Co/TiN을 이용한 Ni Germanosilicide 의 열안정성 향상 및 Ge 비율 (x) 에 따른 특성 분석)
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- Proceedings of the IEEK Conference
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- 2004.06b
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- pp.391-394
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- 2004