• 제목/요약/키워드: semi-insulating

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Investigation of Buffer Traps in AlGaN/GaN Heterostructure Field-Effect Transistors Using a Simple Test Structure

  • Jang, Seung Yup;Shin, Jong-Hoon;Hwang, Eu Jin;Choi, Hyo-Seung;Jeong, Hun;Song, Sang-Hun;Kwon, Hyuck-In
    • JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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    • 제14권4호
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    • pp.478-483
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    • 2014
  • We propose a new method which can extract the information about the electronic traps in the semi-insulating GaN buffer of AlGaN/GaN heterostructure field-effect transistors (HFETs) using a simple test structure. The proposed method has a merit in the easiness of fabricating the test structure. Moreover, the electric fields inside the test structure are very similar to those inside the actual transistor, so that we can extract the information of bulk traps which directly affect the current collapse behaviors of AlGaN/GaN HEFTs. By applying the proposed method to the GaN buffer structures with various unintentionally doped GaN channel thicknesses, we conclude that the incorporated carbon into the GaN back barrier layer is the dominant origin of the bulk trap which affects the current collapse behaviors of AlGaN/GaN HEFTs.

A New Semi-Empirical Model for the Backgating Effect on the Depletion Width Modulation in GaAs MESFET's

  • Murty, Neti V.L. Narasimha;Jit, S.
    • JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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    • 제8권1호
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    • pp.104-109
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    • 2008
  • A simple and efficient way of modeling backgating in GaAs MESFET's is presented through depletion width modulation of Schottky junction and channel-substrate interface. It is shown semi-empirically that such a modulation of depletion widths causes serious troubles in designing precision circuits since backgating drastically reduces threshold voltage of MESFET as well as drain current. Finally, some of the results are compared with reported experimental results. This model may serve as a starting point for rigorous characterization of backgating effect on various device parameters of GaAs MESFET's.

재활용 석고 부산물을 이용한 준불연 유무기 융합 단열재 개발 연구 (Development of Organic-Inorganic Hybrid Insulating Materials with Semi-Non-Combustible Using by Recycling Gypsum)

  • 하주연;신현규;송태협
    • 한국건설순환자원학회논문집
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    • 제7권4호
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    • pp.431-437
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    • 2019
  • 본 연구는 유기계 기재에 무기계 바인더 소재를 함침시킴으로써 유기계 수준의 경제성을 가지며 우수한 단열성능 및 화재 안전성을 보유한 유무기 융합형 단열재 개발을 목적으로 한다. 유기계 기재는 폴리우레탄 소재의 상용 스펀지를 사용하였고, 함침용 무기 바인더 용액은 재활용 석고 부산물에 물과 첨가제를 혼합하여 제조하였다. 개발 소재의 성능평가 결과 열전도율 0.051W/mK 이하의 우수한 단열성능 뿐만 아니라 국토교통부 고시 제 2015-744호 기준에 명시된 준불연 재료임을 확인할 수 있었다. 또한 본 개발 소재는 제조 공정 과정에서 밀도 제어에 따른 열전도율 및 난연성 조절이 가능하여 다양한 용도의 단열재에 적용 가능할 것으로 판단된다.

고순도 SiC 파우더를 이용한 반절연 SiC 단결정 성장 (Semi-Insulating SiC Single Crystals Grown with Purity Levels in SiC Source Materials)

  • 이채영;최정민;김대성;박미선;장연숙;이원재;양인석;김태희;첸시우팡;슈시앙강
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제32권2호
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    • pp.100-103
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    • 2019
  • The change in vanadium amount according to the growth direction of vanadium-doped semi-insulated (SI) SiC single crystals using high-purity SiC powder was investigated. High-purity SiC powder and a porous graphite (PG) inner crucible were placed on opposite sides of SiC seed crystals. SI SiC crystals were grown on 2 inch 6H-SiC Si-face seeds at a temperature of $2,300^{\circ}C$ and growth pressure of 10~30 mbar of argon atmosphere, using the physical vapor transport (PVT) method. The sliced SiC single crystals were polished using diamond slurry. We analyzed the polytype and quality of the SiC crystals using high-resolution X-ray diffraction (XRD) and Raman spectroscopy. The resistivity of the SI SiC crystals was analyzed using contactless resistivity mapping (COREMA) measurements.

수직온도구배냉각법으로 크롬과 인듐이 함께 도핑된 반절연 갈륨비소 단결정의 성장 및 특성평가 (Growth and characterization of semi-insulating GaAs co-doped with Cr and In by vertical gradient freeze technique)

  • Young Ju Park;Suk-Ki Min;Kee Dae Shim;Mann J. Park
    • 한국결정성장학회지
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    • 제4권1호
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    • pp.83-91
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    • 1994
  • 직경 2인치 갈륨비소 단결정을 위한 수직온도구배냉각 결정성장치를 제작하여 크롬과 인듐이 함께 도핑된 반절연 갈륨비소 단결정을 성장하였다. 함께 도핑된 결정에 대해서,불순물의 편석계수는 크롬 또는 인듐만을 도핑한 결정에서 편석계수와 비교할 때 변하지 않고 같은 값을 갖는다. 크롬과 인듐의 농도는 결정의 종자부분 부터 꼬리부분까지 각각 $2{\Times}10^{16}~3{\Times}10^{17} cm^{-3}$$2{\Times}10^{19}~3{\Times}10^{20} cm^{-3}$의 범위내에서 분포되었다. 평균 전위밀도는 결정의 전 영역에 걸쳐 약 $8000cm^{-2}$ 미만으로 관측되었다. 또한 인듐농도가 증가함에 따라 전위 밀도가 $1000m^{-2}$ 미만으로 감소하는 격자강화의 효과도 관찰할 수 있었다. 갈륨비소의 결정성장 방향에 따라 캐리어의 농도는 $10^{16}$에서 $10^8cm^{-3}$로 감소한 반면 비저항 값은 $10^{-2}$에서 $10^8$ Ohm-cm로 급격하게 증가하였다. 반절연의 특성은 크롬농도 약 $6{\Times}10^{16}cm^{-3}$의 농도이상에서 얻을 수 있었다. 성장된 단결정 내의 깊은 준위는 두 개의 전자덫인 $E_C-0.81eV, E_C-0.35eV$와 두 개의 정공덫인$E_V+0.89eV, E_V+0.65eV$이다.

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다공성 흑연 소재를 이용한 바나듐 도핑된 반절연 SiC 단결정 성장의 특성 연구 (Vanadium-doped semi-insulating SiC single crystal growth by using porous graphite)

  • 이동훈;김황주;김영곤;최수훈;박미선;장연숙;이원재;정광희;김태희;최이식
    • 한국결정성장학회지
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    • 제26권6호
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    • pp.215-219
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    • 2016
  • 본 연구에서는 다공성 흑연 캡슐에 Vanadium carbide(VC) 분말을 채워 성장시킨 방법과 SiC 분말과 VC 분말을 혼합하여 다공성 흑연판을 그 위에 덮은 후 성장시키는 방법으로 진행하였으며, 성장된 결정들은 여러 분석방법을 사용하여 각각의 특성들을 관찰하였다. 반절연 SiC 성장은 6H-SiC 종자 결정을 사용하여 PVT(Physical Vapor Transport)법으로 성장을 진행하였다. 반절연으로 성장된 SiC 결정은 XRD를 이용하여 6H-SiC인 것을 확인하였으며, SIMS 분석결과 바나듐 도핑 농도가 바나듐 용해의 한계값 보다 높을 경우 석출물이 발생되며, 결정 품질 저하의 원인이 됨을 확인할 수 있었다.

Optical Dark Field Imaging for Characterization of Semiconductors

  • Ogawa, Tomoya;Kissinger, Gudrun;Sakai, Kazufumi
    • 한국결정성장학회:학술대회논문집
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    • 한국결정성장학회 1997년도 Proceedings of the 12th KACG Technical Meeting and the 4th Korea-Japan EMGS (Electronic Materials Growth Symposium)
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    • pp.219-222
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    • 1997
  • The principle of dark field imaging is comprehensively discussed using real images of dislocations, stacking faults and gettering phenomena due to defects obtained by Cz Si wafers and LEC semi-insulating GaAs crystals. Resulution of dark field imaging is improved by Fourier transformation of Fraunhofer diffraction pattern obtained at an out-of focusing position of an objective lens.

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RF 및 Microwave 응용을 위한 SU-8 공정 연구 (A Study on SU-8 Fabrication Process for RF and Microwave Application)

  • 왕종;김남영
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.65-66
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    • 2009
  • This paper describes a procedure developed to fabricate negative photo resist SUMS to a semi-insulating (SI)-GaAs-based substrate. SU-8 is attractive for micromachine multi-layer circuit fabrication, because it is photo-polymerizable resin, leading to safe, and economical processing. This work demonstrates SUMS photo resist can be used for RFIC/MMIC application.

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Nonlinear Microwave Performance of an Optoelectronic CPW-to-Slotline Ring Resonator on GaAs Substrate

  • Lee, Jong-Chul
    • Journal of Electrical Engineering and information Science
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    • 제2권3호
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    • pp.95-98
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    • 1997
  • A nonlinear optical-microwave interaction is carried out in an uniplanar CPW-to-Slotline ring resonator on the semi-insulating GaAs substrate, in which a Schottky photodetector is monolithically integrated as a coupling gap. When the capacitive reactance of the detetor is modulated, the parametric amplification effect of the mixer occurs. In this device structure, the parametric amplification gain of 20 dB without the applied bias in RF signal is obtained. This microwave optoelectronic mixer can be used in the fiber-optic communication link.

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