The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
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v.36
no.6
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pp.424-429
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1987
It has been observed that the reduction rate of the inversion layer carrier mobility due to the increase of the longitudinal electric field(drain to source direction) decreases as the transverse electric field increases. The effects of this physicar phenomenon to the I-V characteristics of the short channel NMOSFET are studied. It is shown that these effects increase the drain Current in the saturatio region, which agrees with the genarally observed decrepancy between the experimental I-V charateristics and the I-V modeling which dose not include this physical phenomenon. Also it is shown that this effect becomes more important when the device channel length decreases and the device operates in the high electric field range.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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v.4
no.1
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pp.12-17
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2004
The body-tied FinFETs (bulk FinFETs) implemented on bulk Si substrate were characterized through 3-dimensional device simulation. By controlling the doping profile along the vertical fin body, the bulk FinFETs can be scaled down to sub-30 nm. Device characteristics with the body shape were also shown. At a contact resistivity of $1{\times}10^{-7}\;{\Omega}\;cm^2$, the device with side metal contact of fin source/drain showed higher drain current by about two. The C-V results were also shown for the first time.
In this study, to get the larger drain current of the device under the same operation condition as the conventional gate dielectric SiNx thin film transistor devices, we introduced new gate dielectric $Ta_2O_5$ thin film which has high dielectric constant $({\sim}25)$ and good electrical reliabilities. For the application for the TFT device, we fabricated the $Ta_2O_5$ gate dielectric TFT on the low-temperature-transformed polycrystalline silicon thin film using the self-aligned implantation processing technology for source/drain and gate doping. The $Ta_2O_5$ gate dielectric TFT showed better electrical performance than SiNx gate dielectric TFT because of the higher dielectric constant.
Journal of Electrical Engineering and information Science
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v.2
no.3
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pp.132-138
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1997
Electrical characteristics of split-gate flash EEPROM with triple polysilicon is investigated in terms of effects of floating gate and offset gate. In order to search for t the effects of offset gate on programming characteristics, threshold voltage and drain current are studied with variation of control gate voltage. The programming process is believed to depend on vertical and horizontal electric field as well as offset gate length. The erase and program threshold voltage are found to be almost constant with variation of control gate voltage above 12V, while endurance test indicates degradation of program threshold voltage. With increase of offset gate length, program threshold voltage becomes smaller and the drain source voltage just after program under constant control gate voltage becomes higher.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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v.16
no.4
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pp.187-189
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2015
A charge-trap flash (CTF) thin film transistor (TFT) memory is proposed at a low-temperature process (≤ 450℃). The memory cell consists of a sputtered oxide-nitride-oxide (ONO) gate dielectric and Schottky barrier (SB) source/drain (S/D) junctions using nickel silicide. These components enable the ultra-low-temperature process to be successfully achieved with the ONO gate stacks that have a substrate temperature of room temperature and S/D junctions that have an annealing temperature of 200℃. The silicidation process was optimized by measuring the electrical characteristics of the Ni-silicided Schottky diodes. As a result, the Ion/Ioff current ratio is about 1.4×105 and the subthreshold swing and field effect mobility are 0.42 V/dec and 14 cm2/V·s at a drain voltage of −1 V, respectively.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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v.16
no.2
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pp.185-190
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2016
A 70-${\AA}$ nanowire field-effect transistor (FET) for sub-10-nm CMOS technology is designed and simulated in order to investigate the impact of an oxide trap on random telegraph noise (RTN) in the device. It is observed that the drain current fluctuation (${\Delta}I_D/I_D$) increases up to a maximum of 78 % due to the single electron trapping. In addition, the effect of various trap positions on the RTN in the nanowire FET is thoroughly analyzed at various drain and gate voltages. As the drain voltage increases, the peak point for the ${\Delta}I_D/I_D$ shifts toward the source side. The distortion in the electron carrier density and the conduction band energy when the trap is filled with an electron at various positions in the device supports these results.
Journal of Electrical Engineering and information Science
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v.3
no.2
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pp.261-266
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1998
This paper describes the fabrication and characterization of dual-polysilicon gated surface channel 0.1$\mu\textrm{m}$ CMOSFETs using BF2 and arsenic as channel dopants. We have used and LDD structure and 40${\AA}$ gate oxide as an insulator. To suppress short channel effects down to 0.1$\mu\textrm{m}$ channel length, shallow source/drain extensions implemented by low energy implantation and SSR(Super Steep Retrograde) channel structure were used. The threshold voltages of fabricated CMOSFETs are 0.6V. The maximum transconductance of nMOSFET is 315${\mu}$S/$\mu\textrm{m}$, and that of pMOSFET is 156 ${\mu}$S/$\mu\textrm{m}$. The drain saturation current of 418 ${\mu}$A/$\mu\textrm{m}$, 187${\mu}$A/$\mu\textrm{m}$ are obtained. Subthreshold swing is 85mV/dec and 88mV/dec, respectively. DIBL(Drain Induced Barrier Lowering) is below 100mV. In the device with 2000${\AA}$ thick gate polysilicon, depletion in polysilicon near the gate oxide results in an increase of equivalent gate oxide thickness and degradation of device characteristics. The gate delay time is measured to be 336psec at operation voltage of 2V.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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v.10
no.6
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pp.189-192
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2009
The leakage current in a CMOS image sensor (CIS) can have various origins. Leakage current investigations have focused on such things as cobalt-salicide, source and drain scheme, and shallow trench isolation (STI) profile. However, there have been few papers examining the effects on leakage current of nitride stringers that are formed by gate sidewall etching. So this study reports the results of a series of experiments on the effects of a nitride stringer on real display images. Different step heights were fabricated during a STI chemical mechanical polishing process to form different nitride stringer sizes, arsenic and boron were implanted in each fabricated photodiode, and the doping density profiles were analyzed. Electrons that moved onto the silicon surface caused the dark leakage current, which in turn brought up the speckle defect on the display image in the CIS.
The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
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v.35
no.7
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pp.278-284
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1986
Double-diffused metal oxide power semiconductor field effect transistors are used extensively in recent years in various circuit applications. The temperature variation of the drain current at a fixed bias shows both positive and negative resistance characteristics depending on the gate threshold voltage and gate-to source bias votage. In this paper, the decision method of the gate crossover voltage by the temperature variation and a new method to determine the gate threshold voltage graphecally are presented.
We report all-ink-jet printed inorganic/organic hybrid TFTs on plastic substrates. We have investigated the optimal printing conditions to make uniform patterned layers of gate electrode, dielectrics, source/drain electrodes, and semiconductor as a coplanar type TFT in a successive manner. All ink-jet printed devices have good mechanical flexibility and current modulation characteristic even when bent.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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