Damascene 공정으로 제조한 $Bi_{3.25}La_{0.75}Ti_3O_{12}$ 박막 캐패시터 소자 특성
(Properties of $Bi_{3.25}La_{0.75}Ti_3O_{12}$ Thin Film Capacitors Fabricated by Damascene Process)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2006년도 추계학술대회 논문집 Vol.19
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- pp.368-369
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- 2006