제조 조건에 따른 습도센서용 질화탄소막의 정전용량-전압 특성 (Capacitance-Voltage Characteristics of Carbon Nitride Films for Humidity Sensors According to Deposition Condition)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2006년도 영호남 합동 학술대회 및 춘계학술대회 논문집 센서 박막 기술교육
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- pp.152-155
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- 2006