Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2012.05a
/
Pages.463-464
/
2012
/
2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

The contamination factor of TOC in the De-ionized Water for Semiconductor Manufacturing

반도체 제조용 초순수에 총유기탄소 TOC (Total Organic Carbon) 오염 요인에 대한 연구

안찬우 (삼성전자공과대학교 반도체공학과) ;
주종일 (삼성전자(주)) ;
임성교 (삼성전자(주)) ;
김형준 (삼성전자공과대학교)

Published : 2012.05.30

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords