A evaluation and countermeasure for blast-induced vibration of micro electronic production facility based on experimental method (실험적 방법에 의한 발파작업으로 기인하는 인접 초정밀 생산장비 FAB에 미치는 진동 영향성 평가 및 제어대책)
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- Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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- 2006.05a
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- pp.875-878
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- 2006