Survey of Plasma Etching Technologies in Semiconductor Integrated Circuit Fabrication (반도체 집적회로 공정에서 Plasma Etching의 기술동향)
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- Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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- 한국진공학회 1994년도 제7회 학술발표회 및 한·일 CVD 심포지움 논문개요집
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- pp.75-75
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- 1994