• Journal of the Korean Chemical Society
• /
• v.39 no.5
• /
• pp.393-398
• /
• 1995

The oxo-nitrosyl complexes (n-Bu4N)2[M4O12Mo(NO)2{RC(NH2)NHO}2{RC(NH)NO}2] (M=Mo, W; R=(CH3)2CH, n-CH3CH2CH2) have been prepared by the reactions of monomeric complex containing {Mo(NO)2}2+ and polyoxometalates with isobutyl- and n-butylamidoxime. The prepared complexes were characterized by elemental analysis, infrared, 1H NMR, 13C NMR and UV-visible spectroscopy. These complexes contain two {M2O5}2+ [M=Mo, W] cores and a central {Mo(NO)2}2+ core. The {Mo(NO)2}2+ unit was the formally cis type and C2v symmetry in geometric structure. The two {M2O5}2+ cores and a central {Mo(NO)2}2+ core were not nearly interacted with electronic localization, which were identified by spectroscopy.

• Journal of the Korean Chemical Society
• /
• v.47 no.6
• /
• pp.553-558
• /
• 2003

The crystal structure of $[n-Bu_4N]_2[Mo_6O_{19}]$(TBAM) (n-Bu4N=tetrabutylammonium) has been determined by X-ray crystallography. It crystallizes in the monoclinic system, space group C2/c, with lattice parameters ${\alpha}$=16.314(5), b=17.288(5), c=17.776(4)${\AA}$ ${\beta}$=101.47(3), and Z=4. In $[Mo_6O{19}]^{2-}$ anion, Mo atoms occupy six vertices of octahedron and each Mo atom is coordinated by six oxygen atoms to adopt distorted octahedral coordination geometry. The average bond distance of Mo-Ot (terminal), Mo-Ob (bridged) and Mo-Oc (central) are 1.680 ${\AA}$, 1.931 ${\AA}$ and 2.325 ${\AA}$ respectively. In $[n-Bu_4N]^+$ cation, the N atom possesses a slightly distorted tetrahedral geometry. There are some potential extensive C-H ${\cdots}$ O hydrogen bonds in the lattice, by which connecte molecules and stabilize the crystal structure. Thermogravimetric analysis suggests that thermal decomposition of the title compound includes two transitions and it loses weight at 356.0 and 803.5 $^{\circ}$, respectively, and the residue presumable be $Mo_2O_2$. Accordingly, the title compound has high thermal stability.

• Journal of the Korean institute of surface engineering
• /
• v.52 no.4
• /
• pp.227-232
• /
• 2019

Mo-N based coatings have been studied for enhancing mechanical characteristics of thin films. In the case of Mo-X-N coatings, the microstructure and mechanical properties can be affected by the addition of the third element. In this work, Mo-Cu-N coatings were successfully fabricated with varying the Cu content from 4.5 at% to 31 at% by the co-sputtering method. Thus, properties of the coatings were analyzed by EDS, SEM, XRD, AFM, nano indentation and scratch test techniques. From observed results, MoxN bonds were made in a nitrogen atmosphere and Cu elements were present at grain boundaries. In addition, coatings with the Cu content above 14 at% had a Cu3N peak in the XRD results. Thus, it is suggested that the formation of Cu3N phase affected the microstructure and mechanical properties of Mo-Cu-N coatings. Mechanical properties of Mo-Cu-N coatings were found to be relatively better at Cu content of about 12 at%.

• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
• /
• v.22 no.4
• /
• pp.76-83
• /
• 1985

Mo2N/Mo double layer which is to be used for gate of the RMOS (refractory metal oxide semiconductor) and interconnection material has been formed by means of low temperature r.f. reactive sputtering in Ar and N2 mixture. The sheet .esistance of 1 000$\AA$Mo2 N/4000$\AA$Mofilm was about 1.20-1.28 ohms/square, which is about an order of magnitude lower than that of polysilicon film. The workfunction difference naE between MO2N/MO layer and (100) p-Si with 6-9 ohm'cm resistivity obtained from C-V plots was about -0.30ev, and the fixed charge density Qss/q in the oxide was about 2. Ix1011/cm2. To evaluate the signal transfer delay time per inverter stage, an integrated ring oscillator circuit consisting of 45-stage inverters was fabricated using the polysilicon gate NMOS process. The signal transfer delay time per inverter stage obtained in this experiment was about 0.8 nsec

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2017.05a
• /
• pp.94.1-94.1
• /
• 2017

최근 공구산업은 산업 발전으로 특수합금들이 발달하면서 이를 가공할 수 있는 새로운 절삭공구소재들이 개발되어 지고 있다. 또한 공구소재보다 코팅개발이 상대적으로 더욱 효과적이기 때문에 코팅 기술 개발이 활발히 진행되고 있다. 최근 일본에서는 새로운 코팅층 물질 개발보다는 기존의 코팅물질을 조합하거나 개량하여 성능을 향상시키는 추세이다. 또한 다기능 절삭 공구를 지속적으로 사용하는 추세에 따라 공구설계의 새로운 솔루션이 요구된다. 예를 들어 TiN 코팅과 추가 요소를 합금하면 효과적인 경도, 내마모성 등을 향상시키며, TiAlN, TiSiN 등을 예로 들 수 있다. 반면, 기존 TiN에 Mo가 첨가된 TiMoN 박막은 특성화하기 위한 노력이 매우 제한적이었다. Mo가 함유된 코팅층의 특징은 낮은 마찰 계수를 갖는다. 이는 Mo이 공기중의 산소와 반응하여 MoO3를 형성하기 때문이다. 본 연구에서는 TiMo합금 타겟을 음극 아크 증착공정을 이용하여 기초실험을 진행하고 분석평가를 진행하였다. 공정조건은 본 실험실에서 도출한 TiN의 기본공정조건을 바탕으로 기초실험을 진행하였으며, 시편은 스테인리스 강판(SUS304)을 사용하였다. 기초분석은 SEM, EDS, XRD, 초미소경도를 이용하였다. 처음 TiMo합금 타겟을 이용하여 기초실험과 분석을 진행한 결과 TiN과 비슷할 것으로 예상한 것과는 다른 결과가 관찰되었으며, 최적화 된 공정도출을 위한 향후 실험을 계획중이다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2010.02a
• /
• pp.227-227
• /
• 2010

동력 전달을 위한 구동 부품에 대한 내마모성 개선을 통한 에너지 효율 및 부품의 수명 향상에 대한 사회적 관심이 급증하고 있다. 특히, 최근에는 자동차용 구동부품에 저마찰 내마모 특성이 우수한 Mo-N-Cu 나노복합체 박막에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다. 본 연구에서는 Mo-N-Cu 나노복합체 박막을 마그네트론 스퍼터링 증착법을 활용하였고, 이때 Mo 및 Cu 타겟을 적용하여 동시에 증착하였다. 진공 챔버의 진공도는 $5{\times}10^{-6}\;Torr$ 이하의 초기 진공도를 확보한 이후, 알곤 및 질소 가스를 주입하여 공정 압력이 5 mTorr 수준이 되도록 하였다. 이때 N2/(Ar+N2) = 0.5를 유지하였다. Mo-N-Cu 박막내에 Cu 함량 변화를 위해 Mo 캐소드는 D.C. 1 kW로 고정하고 Cu 캐소드에 R.F. 파워를 0, 40, 60, 80 W로 변화하였다. 박막의 두께는 증착시간을 변화하면서 $1\;{\mu}m$ 이상이 되도록 하였다. Cu 캐소드에 인가된 파워의 변화에 따라 Mo-N-Cu 박막내 Cu 함유량은 10 at.%까지 변화되는 것을 EDX 분석을 통해 확인하였다. 또한 증착된 Mo-N-Cu 박막의 표면 및 단면에 대한 FE-SEM 분석을 통하여 전형적인 주상구조를 지닌 MoN 박막에서 Cu 함량이 증가할수록 Mo-N-Cu 박막의 결정성을 방해하는 것을 확인하였다. 또한 XRD 분석을 통하여 박막의 결정 구조 분석을 하였고, Nano Indentor를 통하여 30 GPa 수준의 고경도를 지닌 박막이 형성됨을 확인하였다. 박막의 내마모 특성 평가를 위해 ball-on-disk 트라이보미터를 활용하여 마찰계수 평가를 수행하였고, Cu 함유량의 변화에 따라 마찰계수가 MoN 박막의 경우 0.8에서 Cu 함량이 5 at.%에서 0.15로 급격하게 낮아짐을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2009.05a
• /
• pp.184-185
• /
• 2009

하이브리드 코팅 시스템을 이용하여 CrN 을 기초로 3성분계 코팅을 합성한다. 이번 연구는 C를 첨가한 음이온 고용경화와 Mo를 첨가한 양이온 고용경화의 영향이 미세구조와 기계적 성질에 미치는 영향을 알아보는 것이다. Cr-C-N 과 Cr-Mo-N 코팅은 23, 43GPa의 최대 경도 값을 가진다. 이 경도강화는 고용강화로 설명할 수 있다.

• Korean Chemical Engineering Research
• /
• v.60 no.4
• /
• pp.574-581
• /
• 2022

Nanofibers comprising reduced graphene oxide (rGO) and Mo₂C/Mo₂N nanoparticles (Mo₂C/Mo₂N rGO NFs) were prepared for a functional interlayer of Li-S batteries (LSBs). The well-dispersed Mo₂C and Mo₂N nanoparticles in the nanofiber structure served as active polar sites for efficient immobilization of dissolved lithium polysulfide. The rGO nanosheets in the structure also provide conductive channels for fast ion/electron transport during charging-discharging and ensured reuse of lithium polysulfide during redox reactions through a fast charge transfer process. As a result, the cell assembled with Mo₂C/Mo₂N rGO NFs-coated separator and pure sulfur electrode (70 wt% of sulfur content and 2.1 mg cm^-2 of sulfur loading) showed a stable discharge capacity of 476 mA h g^-1 after 400 charge-discharge cycles at 0.1 C. Furthermore, it exhibited a discharge capacity of 574 mA h g^-1 even at a high current density of 1.0 C. Therefore, we believe that the proposed unique nanostructure synthesis strategy could provide new insights into the development of sustainable and highly conductive polar materials as functional interlayers for high performance LSBs.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2008.11a
• /
• pp.86-87
• /
• 2008

4성분계 Cr-MO-Si-N코팅은 하이브리드 시스템에 아르곤, 질소 가스를 주입하여 스테인리스 기판과 실리콘 웨이퍼에 증착시킨다. XRD, XPS, HRTEM을 이용해 Cr-MO-Si-N코팅의 성분을 분석하고 Si의 함량이 12.1at.%일때 50GPa의 강도가 나오고 이것은 33GPa의 강도Cr-MO-N코팅보다 크게 향상된 것이다.

• Journal of the Korean institute of surface engineering
• /
• v.39 no.2
• /
• pp.70-75
• /
• 2006

As technology advances, there is a demand for development of hard, solid lubricant coating. (Ti,Cr)N-$MoS_2$, films were deposited on SKD 11 tool steel substrate by co-deposition of $MoS_2$, with (Ti,Cr)N using a D.C. magnetron sputtering process. The influence of the $N_2/Ar$ gas ratio, the deposition temperature, the amount of $MoS_2$ in the films, and the bias voltage on the mechanical and the structural properties of the films were investigated. Wear tests were performed on the films deposited in various conditions.