Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2008.11a
- /
- Pages.86-87
- /
- 2008
Syntheses and mechanical properties of Cr-Mo-Si-N coatings by a hybrid coating system
하이브리드 공정을 이용한 Cr-Mo-Si-N 코팅의 합성 및 기계적 성질
Abstract
4성분계 Cr-MO-Si-N코팅은 하이브리드 시스템에 아르곤, 질소 가스를 주입하여 스테인리스 기판과 실리콘 웨이퍼에 증착시킨다. XRD, XPS, HRTEM을 이용해 Cr-MO-Si-N코팅의 성분을 분석하고 Si의 함량이 12.1at.%일때 50GPa의 강도가 나오고 이것은 33GPa의 강도Cr-MO-N코팅보다 크게 향상된 것이다.
Keywords