The Research on Trench Etched Field Ring with Dual Ion-Implantation for Power Devices (이중 이온주입 공정을 이용한 트렌치 필드링 설계 최적화 및 전기적 특성에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.23 no.5
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- pp.364-367
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- 2010