• ETRI Journal
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• 제32권3호
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• pp.457-459
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• 2010

A low-power down-sampling mixer in a low-power digital 65 nm CMOS technology is presented. The mixer consumes only 830 ${\mu}W$ at 1.2 V supply voltage by combining an NMOS and a PMOS mixer with cascade transistors at the output. The measured gain is (19 ${\pm}$1 dB) at frequencies between 100 MHz and 3 GHz. An IIP3 of -5.9 dBm is achieved.

• 전기전자학회논문지
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• 제24권3호
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• pp.845-852
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• 2020

3 나노미터 아래의 미래공정에서는 작은 면적의 표준셀(Standard Cell)을 구현하는 데에 많은 기술적인 개선을 요구한다. 따라서 어떠한 기술을 통해 얼마나 작은 면적의 표준셀을 구현할 수 있는지, 그리고 그 영향이 어떠한지 알아보는 것은 매우 중요하다. 본 논문에서는 3 나노미터와 이하의 미래공정에서 표준셀 설계를 위해 묻힌 전력망(Buried Power Rail, BPR)과 상호보완 FET(Complementary FET, CFET)이 면적 감소에 얼마나 기여하는지 살펴보며 그 영향을 기생 캐패시턴스 관점에서 분석한다. 본 논문을 통해 상호보완 FET은 4T 이하의 표준셀을 구현할 수 있는 기술이지만, Z-축으로 증가하는 높이만큼 상당한(+18.0% 이상) 기생 Cap의 영향을 받는다는 점을 밝힌다.

• 한국결정성장학회지
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• 제12권3호
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• pp.149-156
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• 2002

$Ga_2O_3$ : $Eu^{3+}$ 형광체 분말을 균일침전법에 의해 제조하여 TG/DTA, XRD, FT-IR, SEM 등으로 특성을 분석하였다. 결정질 GaOOH 와 비정질에 가까운 $\gamma$-$Ga_2O_3$ 등 두 종류의 분말이 얻어졌다. 요소 농노가 0.5 M 이하에서는 입자는 막대모양을 이루고, 열처리에 따라 $\alpha$-$Ga_2O_3$을 거쳐서 $\beta$-$Ga_2O_3$상으로 변태하였다. 한편 나노미터 크기를 갖는 $\gamma$-$Ga_2O_3$분말은 1.0 M 이상의 요소 농도에서 생성되며, 직접 $\beta$-$Ga_2O_3$으로 전이하였다. 실온에서 광 발광 특성을 비교한 결과 마이크로미터 크기의 분말에 비해 나노미터 크기의 분말이 610 nm에서의 발광 강도가 더 크게 나타났다.

• JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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• 제6권3호
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• pp.162-168
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• 2006

To fabricate nanometer scale InGaAs HEMTs, we have successfully developed various novel nano-patterning techniques, including sidewall-gate process and e-beam resist flowing method. The sidewall-gate process was developed to lessen the final line length, by means of the sequential procedure of dielectric re-deposition and etch-back. The e-beam resist flowing was effective to obtain fine line length, simply by applying thermal excitation to the semiconductor so that the achievable final line could be reduced by the dimension of the laterally migrated e-beam resist profile. Applying these methods to the device fabrication, we were able to succeed in making 30nm $In_{0.7}Ga_{0.3}As$ HEMTs with excellent $f_T$ of 426GHz. Based on nanometer scale InGaAs HEMT technology, several high performance millimeter-wave integrated circuits have been successfully fabricated, including 77GHz MMIC chipsets for automotive radar application.

• 한국자기학회지
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• 제15권2호
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• pp.61-66
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• 2005

서브 마이크론 크기의 셀을 제조하기 위하여 종래의 방식인 전체시료구조를 증착한 후 이온밀링 방식으로 제조하는 대신에 Pt 스텐실 마스크 공정과 e-beam 리소 및 습식 식각 공정을 이용하여 배치형 submicron 셀을 lift-off 방식으로 제조하였다. $500nm{\times}500 nm,\;200nm{\times}300 nm$ 크기에 $CoFe(30 {\AA})/Cu(100{\AA})/CoFe(120{\AA}$) 3층 구조를 셀내에 증착하고 수직전류를 인가하여 자기저항 특성을 조사하였다. 자기저항 특성은 두 자성층의 보자력 차이를 이용하여 스핀의 반평형 구조를 유도하여 슈도 스핀밸브이며 각 셀의 크기에서 1.1, $0.8{\%}$의 자기저항비가 얻어졌다. 또한 전류인가에 따른 저항변화로부터 스핀전달 효과에 따른 스위칭 변화가 일어남을 확인하였으며, 이 구조에서 저항의 변화로부터 측정된 임계전류밀도는 약 $7.65{\times}10^{7}A/cm^2$였다.

• 한국결정성장학회지
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• 제25권6호
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• pp.272-279
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• 2015

$Y_2O_3:Eu^{3+}$는 우수한 적색 발광 특성을 가지고 있는 형광체로 최근 고화질 디스플레이에 대한 수요가 증가함에 따라 관련 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 RF 열플라즈마 합성법과 고상법을 이용하여 $Y_2O_3:Eu^{3+}$ 적색 형광체를 합성하였으며, 합성 방법에 따른 $Y_2O_3:Eu^{3+}$ 적색 형광체의 결정 구조, 미세 구조, 발광 특성의 차이를 XRD, TEM, PL 분석을 통해 비교하였다. 고상법으로 합성된 $Y_2O_3:Eu^{3+}$ 적색 형광체의 입자는 약 $10{\sim}20{\mu}m$ 크기를 가지는 반면, RF 열플라즈마 합성법을 통해 합성된 적색 형광체는 반응부는 약 100 nm, 필터부는 약 30 nm의 크기를 갖는 나노 형광체로 확인되었다. 합성된 모든 분말들은 PL 측정결과 611 nm($^5D_0{\rightarrow}^7F_2$)에서 발광하는 것을 확인하였으며, 결정 크기와 입도가 증가할수록 PL intensity가 증가하였다. 또한, 추가 열처리 공정이 필요 없는 one-step 공정의 RF 열플라즈마 공정을 통해 합성된 $Y_2O_3:Eu^{3+}$ 적색 나노 형광체는 고상법으로 합성된 적색 형광체와 비슷한 발광 특성을 보이는 것을 확인할 수 있었다.

• 한국생산제조학회지
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• 제19권5호
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• pp.616-621
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• 2010

New type of the base material of the light-emitting diode requires copper wafer in view of heat and electrical conductance. Therefore, polishing process of the substrate level is needed to get a nanometer level of surface roughness as compared with pattern structure of nano-size in the semiconductor industry. In this paper, a series of lapping and polishing technique is shown for the rough and deflected copper substrate of thickness 3mm. Lapping by sand papers tried air cooling method. And two steps of polishing used the diamond abrasives and the $Al_2O_3$ slurry of size 100mm considering the residual scratch. White-light interferometer proved successfully a mirror-like surface roughness of Ra 6nm on the area of $0.56mm{\times}0.42mm$.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.542-543
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• 2012

Coherent diffraction imaging (CDI) method using hard x-ray at 5.46 keV was applied to study assembly of Ni and Ni oxide nano structures formed on a Si3N4 membrane. Density distribution of Ni nano-particles was obtained quantitatively with about 15 nm lateral resolution by reconstructing images from the speckle diffraction pattern. In addition, reconstructed images of nickel oxide particles indicated that Ni atoms diffuse out during the oxidation process leaving pores inside the nickel oxide crust. Furthermore, we recognize that really weak phase object, less than 5 nm thickness of Ni residues, can be reconstructed due to the reference particles. We achieved quantitative information of nanometer sized materials and demonstrate the effect of reference particles by using hard x-ray coherent diffractive imaging method.

• 한국결정성장학회지
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• 제30권6호
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• pp.232-236
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• 2020

본 연구에서는 광 발광특성이 우수하여 각종 광장치에 사용되고 있는 CaF2-Al2O3-B2O3-TiO2(CABT) 계 유리의 열처리 조건 및 결정상 생성에 따른 광학적 특성을 연구하였다. CAB 유리의 핵형성 및 결정성장을 제어하기 위해 핵형성제 TiO2를 첨가하고, 발광 특성을 향상시키기 위해 희토류 이온 Eu2O3를 첨가하였다. 열처리 조건에 따른 결정 성장 특성을 확인하기 위해 DTA 분석을 수행하였으며, 이에 따른 나노 크기 결정상 변화에 대한 XRD 및 SEM 분석을 수행하였다. 분석 결과 100 nm 크기의 결정생성은 발광강도를 향상시키지만 그 이상의 큰 결정 입자생성은 오히려 발광 특성을 저하시켰다.

• Nano
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• 제13권12호
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• pp.1850142.1-1850142.9
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• 2018

Modified titanate nanotubes (TNT) were tested for their adsorption of methylene blue (MB) from water solutions. They were obtained from the $TiO_2$ nanopowder using a standard alkaline hydrothermal method but in the stage of acid washing, when the titanate flakes begin to roll into nanotubes, magnetite nanoparticles were added. The $Fe_3O_4$ magnetic nanoparticles with diameter of around 2 nm and 12 nm were used in the tests. Significantly stronger adsorption of MB was observed when smaller nanoparticles were used compared to using larger nanoparticles and compared to the case of unmodified nanotubes. It was shown that the increased adsorption of MB is associated with a more negative value of ${\zeta}$-potential for titanates modified by the ultra-small nanoparticles. In the adsorption experiment, pH 7 was selected. These results may prove to be of great importance in the case of potential applications corresponding to the use of such material for wastewater purification.