• 전기전자학회논문지
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• 제2권1호
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• pp.101-107
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• 1998

인(Phosphorus)을 1MeV로 이온 주입한 후 RTA를 실시하여 미세결함의 특성을 조사하고, 면저항, SRP, SIMS, XTEM 분석과 CMOS 구조에서 래치업 특성을 모의 실험하였다. 도즈량이 증가할수록 면저항은 낮아지고, Rp값은 도즈량이 $1{\times}10^{13}/cm^2,\;5{\times}10^{13}/cm^2,\;1{\times}10^{14}/cm^2$일때 각각 $1.15{\mu}m,\;1.15{\mu},\;1.10{\mu}m$로 나타났다. SIMS 측정결과는 열처리 시간이 길수록 농도의 최대치가 표면으로부터 깊어지고, 농도 또한 낮아짐을 확인하였다. XTEM 분석 결과는 열처리 전에는 결함측정이 불가능했으나, 측정되지 많은 미세결함이 열처리 후 이차결함으로 성장한 것으로 조사되었다. 모의 실험은 buried layer와 connecting layer 구조를 사용하였으며, buried layer보다 connecting layer가 래치업 특성이 우수함을 확인하였다. Connecting layer의 도즈량이 $1{\times}10^{14}/cm^2$이고 이온주입 에너지가 500KeV일 때 trigger current는 $0.6mA/{\mu}m$이상이었고, trigger voltage는 약 6V로 나타났다. Connecting layer의 이온주입 에너지가 낮을수록 래치업 저감효과가 더욱 우수함을 알 수 있었다.

• E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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• 제12권9호
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• pp.57-63
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• 1999

SOI 구조의 MOSFET은 제조공정이 상대적으로 간단하며 CMOS 래치 업 현상이 일어나지 않고, soft error에 의한 회로의 오동작 가능성이 매우 낮은 이외에도 낮은 기생 정전용량 및 누설전류 특성을 가지므로 0.1 미크론 이하의 소자를 제작하는데 적합하여 저전압, 초고속 VLSI 설계에 적합한 소자로 각광받고 있다. 본고에서는 새로운 구조의 SOI MOSFET 구조들의 특성과 장, 단점을 검토하고 나아가 BJT(Bipolar Junction Transistor) 및 기타 소자들을 SOI 구조로 제작한 결과에 대해 간단히 검토함으로써 1999년 현재 SOI 기술의 현황을 소개하고자 한다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2006년도 제37회 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1372-1373
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• 2006

An electrostatic discharge (ESD) protection device, so called, N-type SCR with P-type MOSFET pass structure (NSCR_PPS), was analyzed for high voltage I/O applications. A conventional NSCR_PPS device shows typical SCR-like characteristics with extremely low snapback holding voltage, which may cause latchup problem during normal operation. However, a modified NSCR_PPS device with proper junction/channel engineering demonstrates highly latchup immune current- voltage characteristics.

• 한국소프트웨어감정평가학회 논문지
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• 제16권2호
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• pp.109-115
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• 2020

본 논문에서는 어댑터나 배터리에 의해 단일전원을 공급받는 IT기기에서, 저렴한 buck 소자를 이용해 마이너스 전압을 발생할 때 발생하는 문제점을 분석하였다. 원인 분석을 위해 buck 소자의 동작원리와 inverter 회로의 원리를 살펴보고, buck 소자를 이용해 inverter 회로를 구성했을 떄의 회로적 특성을 분석하였다. 분석 결과 buck 소자를 이용한 inverter회로는 초기에 큰 기동전류가 필요함을 확인하였으며, 특히 전원을 공급하는 회로에서 기동전류에 미치지 못하는 전류용량일 경우 래치 업 현상과 유사한 상태에 빠질 수 있음을 확인하였다. 분석결과를 확인하기위해 실험회로를 구성하고 입력전류를 확인한 결과, 공급전류가 충분한 경우 과전류가 흐르면서 기동됨을 확인하고, 공급전류가 충분치 않은 경우에는 회로가 기동하지 못해 래치 업 현상이 발생해 회로 전체가 위험상태에 도달함을 확인하였다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 D
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• pp.1953-1955
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• 1999

The effects of the local lifetime control on the characteristics of IGBT are investigated using the 2-dimensional device simulator, MEDICI. Many lumped resistive turn-off simulations are carried out to analyze the effects of the minority carrier lifetime, the width, and the position of the region with a reduced local minority carrier lifetime. As a result of these simulations, it is concluded that the on state voltage drop$(V_{CE,SAT})$ is only slightly increased while the switching behavior is greatly improved if the low lifetime region is properly set. And these results are compared with IGBTs having uniform lifetime.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1995년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1111-1113
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• 1995

To improve latch up characteristics of IGBT, this paper proposed new structure with reverse channel. IGBT proposed by this paper were designed on SOI substrate, $p^+$-substrate, and $n^+$-substrate, respectively. As a result of the simulation, we had achieved high latch up voltage and high conduction current density at IGBT with proposed structure. Latch up voltage of Conventional IGBT was 2.5V but IGBT with proposed structure was latched up at $5{\sim}94V$, respectively. And was showed high conduction current desity($10^4{\sim}10^7A/cm^2$)

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제27권9호
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• pp.551-554
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• 2014

This paper was showed latch up characteristics of super junction power MOSFET by parasitic thyristor according to trench etch angle. As a result of research, if trench etch angle of super junction MOSFET is larger, we obtained large latch up voltage. When trench etch angle was $90^{\circ}$, latch up voltage was more 50 V. and we got 700 V breakdown voltage. But we analyzed on resistance. if trench etch angle of super junction MOSFET is larger, we obtained high on resistance. Therefore, we need optimal point by simulation and experiment for solution of trade off.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제27권11호
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• pp.686-689
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• 2014

Electrostatic discharge has been considered as a major reliability problem in the semiconductor industry. ESD reliability is an important issue for these products. Therefore, each I/O (Input/Output) PAD must be designed with a protection circuitry that creates a low impedance discharge path for ESD current. This paper presents a novel Lateral Insulated Gate Bipolar (LIGBT)-based ESD protection circuit with latch-up immunity and high robustness. The proposed circuit is fabricated by using 0.18 um BCD (bipolar-CMOS-DMOS) process. Also, TLP (transmission line pulse) I-V characteristic of proposed circuit is measured. In the result, the proposed ESD protection circuit has latch-up immunity and high robustness. These characteristics permit the proposed circuit to apply to power clamp circuit. Consequently, the proposed LIGBT-based ESD protection circuit with a latch-up immune characteristic can be applied to analog integrated circuits.

• 대한전기학회논문지
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• 제44권2호
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• pp.222-227
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• 1995

A new IGBT structure, which may suppress latch-up phenomena considerably, is proposed and verified by MEDICI simulation. The proposed structure employing the segmented $n^{+}$ buffer layer increases latch-up current capability due to suppression of the current flowing through the resistance of $p^{-}$ well, $R_{p}$, which is the main cause of latch-up phenomena without degradation of forward characteristics. The length of the $n^{+}$ buffer layer is investigated by considering the trade-off between the latch-up current capability and the forward voltage drop. The segmented $N^{+}$ buffer layer results in better latch-up immunity in comparison with the uniform buffer layer.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2002년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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• pp.159-160
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• 2002

본 논문에서는 반도체 응용부문 중 그 활용도가 높은 MOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor)의 새로운 구조를 제안하였다. 제안한 소자를 가지고 전자회로의 구성할 때 인접 디바이스들과 연계되어 발생되는 래치 업(latch-up)을 근본적으로 제거하고, 개별소자의 완전한 절연을 실현하였으며 누설전류 또한 제거된다. 이는 SOI기판 위에 벌크실리콘 공정을 이용하여 구현된다. 즉, 소자 양옆의 트랜치 웰(Trench-well)과 SOI 기판의 절연층으로 소자의 독립성을 지켜준다. 또한 게이트 절연층을 트랜치 구조로 기존 MOS구조의 채널 부분에 위치시키고 드레인과 소스를 위치시켜 자연적으로 자기정렬이 되어진다. 이와 같은 과정으로 게이트-소스, 게이트-드레인 기생 커패시터의 효과를 현저히 줄일 수 있다.