Liquid Delivery MOCVD로 증착된 강유전체 BDT 박막의 피로 특성 향상 (Improvement of Fatigue Properties in Ferroelectric Dy-Doped Bismuth Titanate(BDT) Thin Films Deposited by Liquid Delivery MOCVD System)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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- pp.171-171
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- 2007