Si(100)기판위에서의 C49 $\textrm{ZrSi}_{2}$ 의 형성과 특성 연구
(Formation and Microstructural Properties of C49 $\textrm{ZrSi}_{2}$ Thin Films on Si(100)Substrates)
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- 한국재료학회지
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- 제7권11호
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- pp.964-968
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- 1997