We establish a visible light emission from porous polycrystalline silicon nano structure(PPNS). The PPNS layer are formed on heavily doped n-type Si substrate. 2um thickness of undoped polycrystalline silicon deposited using LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) anodized in a HF: ethanol(=1:1) as functions of anodizing conditions. And then a PPNS layer thermally oxidized for 1 hr at $900^{\circ}C$. Subsequently, thin metal Au as a top electrode deposited onto the PPNS surface by E-beam evaporator and, in order to establish ohmic contact, an thermally evaporated Al was deposited on the back side of a Si-substrate. When the top electrode biased at +6V, the electron emission observed in a PPNS which caused by field-induces electron emission through the top metal. Among the PPNSs as functions of anodization conditions, the PPNS anodized at a current density of $10mA/cm^{2}$ for 20 sec has a lower turn-on voltage and a higher emission current. Furthermore, the behavior of electron emission is uniformly maintained.
Kim, Jang-Kwon;Lee, Myung-Jae;Kim, Dong-Sik;Chung, Kwan-Soo
대한전자공학회:학술대회논문집
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대한전자공학회 2002년도 ITC-CSCC -2
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pp.1125-1128
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2002
Tantalum pentoxide (Ta$_2$O$\sub$5/) is a candidate for use in metal-insulator-metal diode in switching devices for active-matrix liquid-crystal displays. The MIM diode with very low threshold voltage and perfect symmetry was fabricated. High quality Ta$_2$O$\sub$5/ thin films were obtained by using an anodizing method. Rutherford backscattering spectroscopy, transmission electron microscope observations, auger electron spectroscopy, ellipsometry measurements, and electrical measurements, such as current - voltage(I-V) measurements were performed to investigate Ta$_2$O$\sub$5/ films and their reliability and indicated that the obtained TaOx thin films were reliable Ta$_2$O$\sub$5/ films for the applications. Furthermore, in this paper, we discuss the effects of top-electrode metals and annealing conditions. The conduction mechanism of the leakage current and the symmetry characteristics related to the Schottky emission and Poole-Frankel effect are also discussed using the results of electrical measurements and conduction barrier theory.
전하결합소자(charge coupled device)의 제작에 필요한 다중전극구조를 실현하기 위하여 알루미늄양극산화방법을 실험적으로 조사하였다. 양극산화의 전해질용액으로 2% ammonium tartrate를 사용하고, 산화전압을 30∼35 volt로 하여 2시간 정도 산화할 때 형성되는 Al2O3의 두께는 400∼500A이었고 절연파괴전압은 30volt 정도였다. 이와 같은 Al2O3의 성질을 이용하여 CCD transversal 저역여파기를 제작하였다. 17개의 tap coefficient를 갖는 저역파기의 stop band attenuation은 약 22dB 이었으며 사용가능한 주파수 범위는 3 KHz로부터 100KHz까지였다.
Magnesium alloy have good physical properties such as good castability, good vibration absorption, high strength/weight ratios. Despite the desirable properties, the poor resistance of Mg alloy impedes their use in many various applications. Therefore, magnesium alloy require surface treatment to improve hardness, corrosion and wear resistance. Plasma Electrolytic Oxidation (PEO) is one the surface treatment methods to form oxide layer on Mg alloy in alkali electrolyte. In comparison with Anodizing, there is environmental process having higher hardness and faster deposition rate. In this study, the characteristics of oxide film were examined after coating the AZ31 Mg alloy through the PEO process. We changed concentration of sodium aluminate into $K_2ZrF_6$, KF base electrolyte. The morphologies of the coating layer were characterized by using scanning electron microscopy (SEM). Corrosion resistance also investigated by potentiodynamic polarization analysis. As a result, propertiy of oxide layer were changed by concentration of sodium aluminate. Increasing with concentration of sodium aluminate in electrolyte, the oxidation layer was denser and the pore size was smaller on the surface.
Ni-Al intermetallic coating technology is an available method for the strengthening of aluminum substrate. In this study, Ni-Al intermetallics were coated on an aluminum substrate through a reaction synthesis process at a temperature lower than melting point of aluminum. And the sliding wear properties of the coatings have been investigated to verify their usability and compared the wear properties with those of a cast Al-12.5%Si alloy and an anodizing layer on aluminum. Results show that the wear rate of the coating layer greatly increased at 1 m/s and 1.5 m/s when compared with that of the cast Al-12.5%Si alloy. Much pitting damages were observed on the worn surfaces at these sliding speeds, unlike at other sliding speeds. The wear of the intermetallic coating layer at these sliding speeds seems to be increased by pitting as a consequence of adhesion. In contrast, wear of the coating layer at other speeds hardly occurs, regardless of wear periods. Nevertheless, the wear properties of the intermetallic coating layer on the aluminum substrate through the reaction synthesis process are more stable than those of anodized aluminum and are superior to those of the cast Al-12.5%Si alloy in a steady-state wear period.
Increase of surface area and decrease of band gap in $TiO_2$ semiconductors are significant to improve the efficiency of water splitting by photoelectrolysis. In this study $TiO_2$ nanotube arrays with ~7 um length and ~100 nm diameter were fabricated by an anodizing technique of titanium foils using DMSO (dimethyl sulfoxide)-based electrolytes. Then to control the band gap of the $TiO_2$ arrays, they were annealed at $550^{\circ}C$ for up to 180 min in $NH_3$ gas ambient. The samples annealed in $NH_3$ gas for 30 min and 60 min showed superior photo-conversion efficiency for water splitting under white and visible light. A $TiO_2$ nanotube annealed in $NH_3$ gas ambient for a period longer than 120 min showed 1 order higher leakage current. It is believed that the decrease of band gap and increase of conductivity in $TiO_2$ nanotube arrays due to $NH_3$ gas treatments result in the superior water-splitting performance.
To improve photocatalytic performance, a $PbS/ZnO/TiO_2$ nanotube catalyst was synthesized, and its surface characteristics and photocatalytic efficiency were investigated. The hybrid photocatalysts were produced by anodic oxidation and successive ionic layer adsorption and reaction(SILAR). The photocatalytic efficiency was evaluated using the dye degradation rate. The $PbS/ZnO/TiO_2$ photocatalyst significantly enhanced the photocatalytic activity for dye degradation, which was ascribed to the synergistic effect of their better absorption of solar light and a decrease in the rate of excited electron-hole recombination.
Corrosion characteristics of Ti, Ti/Cr coated and plasma-nitrided surface for stainless steel containing Ti have been studied. Stainless steels containing 0.09-0.92wt% Ti were fabricated by using vacuum furnace and solutionized for 1hr at 105$0^{\circ}C$. Ti and Cr coatings were done on solutionized stainless steel surface by EB-PVD. The Ti coated specimen were coated by Cr and were nitrided by plasma at $450^{\circ}C$ for 5hr. Microstructure and phase analysis were performed using SEM, OM and EDX. Corrosion behavior of the coated specimen was investigated by electrochemical test. The coated surface was of fine columnar structure. The Ti/Cr coated surface was denser than the Ti coated and the Ti coated-nitrided surfaces. The corrosion and pitting potential increased in proportion to the Ti content, coating temperature, coating thickness and formation of stable oxide film. The current density in active and passive region decreased in the case of Ti/Cr coated sample and Ti coated-nitrided samples. Especially the plasma nitrided specimen after Ti coating have a good corrosion resistance compared with the Ti coated specimen. The number and size of pits decreased as Ti content of matrix increased.
Al-Si piston alloys such as AlS10CuMg have been anodized to examine apossibility of forming a hard film aat relatively higher temperatures compard with those in conventional sulfuric acid processes. Three types of electrolytes have been employed in this study ; electrolyte A(15% H2SO4, $0^{\circ}C$), electrolyte B(12% H2SO4, 1% oxalic, $10^{\circ}C$), electrolyte C(tartaric acid 125g/L+oxalic 75g/L+aluminum sulfate 225g/L, $25^{\circ}C$). Hard anodisine process in electrolyte B at a current density of 1.54A/dm2 produced a harder film of VHN 396 at a relatibely low film forming voltage compared with those obtained in other electrolyte at equivalent current density. A liner relationship between hardness and abrasion resistance exists for Al-Si piston alloys. The hardness of anodized film decreasees with increasing silicon content in Al-Si alloys and also with bath temperature. The film hardeness of Na-modified alloy os higher than that of P-modified alloy due to its finer microstructre. The film on the silicon phase in Al-Si alloys is observed to be formed by lateral growth of oxide film nucleated at surroundings.
Formation behavior of PEO (Plasma Electrolytic Oxidation) films on AZ31 Mg alloy was studied in aqueous solutions containing various concentrations of hydroxide ion ($OH^-$) and silicate ion ($SiO_3{^{2-}}$) by voltage-time curves, and corrosion resistance of the PEO film-covered specimen was investigated by immersion test in 0.5 M NaCl solution. From the analyses of the voltage-time curves, it is suggested that two different types of anions are essentially needed for the formation of PEO films on AZ31 Mg alloy: film formation agent and local film breakdown agent. $SiO_3{^{2-}}$ ion acts only as a film formation agent but $OH^-$ ion acts not only as a film formation agent but also film breakdown agent. The PEO films prepared on AZ31 Mg alloy in alkaline silicate solution showed very good corrosion resistance without any pitting or filiform corrosions up to 480 h of immersion in 0.5 M NaCl.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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