스퍼터링 증착조건과 기판의 종류가 Zn${Ga}_{2_{O}_{4}$ 박막의 성장에 미치는 영향
(The Effects of Sputtering Parameters and the Substrates on the Growth of Zn${Ga}_{2_{O}_{4}$ )
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 1997년도 한국재료학회 추계학술발표회
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- pp.91-91
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- 1997