A Study on the Correlation between Etching Selectivity and Characteristics of Deposited Polymers in Self-Aligned Contact(SAC) Etching Process (Self-Aligned Contact(SAC) 형성 공정에서 플라즈마 기상화학 및 증착된 Polymer의 물리화학적특성과 식각 선택비와의 상관관계에 대한 연구)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 1997.05a
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- pp.27-27
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- 1997