Fabrication of $Pb(Zr,Ti)O_3$ Thin Film Capacitors by Damascene Process
(Damascene 공정을 이용한 $Pb(Zr,Ti)O_3$ 캐패시터 제조 연구)
-
- Proceedings of the KIEE Conference
- /
- 2006.10a
- /
- pp.105-106
- /
- 2006