축전 결합형 $O_2$ 플라즈마를 이용한 아크릴과 폴리카보네이트의 식각 공정 비교
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 한국재료학회 2009년도 춘계학술발표대회
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- pp.39.1-39.1
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- 2009