A feasibility study for the fabrication of master replication with nanostructures by Nanoimprint Lithography (NIL) was investigated for application of polymer Photonic Bandgap (PBG) devices used in photonic IC. Large area gratings of $9{\times}15(mm^2)$ with p = 400 nm was successfully embossed on PMMA on silicon wafer and the embossing parameters (temperature, pressure, time) were established. A precise control of $O_2$ plasma Reactive Ion Etching (RIE) process time allowed window opening over the whole area despite the presence of wafer bending. Master replication with aspect ratio 1 was successfully fabricated, but master replication with aspect ratio 3 needs to optimize parameters. All replications were done in a NIL process.
Park, Ji-Young;Gratton, Stephanie;Benjamin, Maynor;Lim, Jomg Sung;Desimone, Joseph
Korean Chemical Engineering Research
/
v.45
no.5
/
pp.493-499
/
2007
Polymeric hydrogel particles were fabricated to demonstrate the scale-up possibilities with the Particle Replication In Non-wetting Templates (PRINT) process. A permanently etched, specifically designed master was made on a silicon wafer using conventional photolithography, then reactive ion etching. The master and substrate were used repeatedly to make a large number of identical elastomeric perfluoropolyethers (PFPE) replica molds. The PFPE replica molds were used to fabricate and harvest individual, monodisperse micron-sized particles using the PRINT process. A water-soluble polymer adhesive was used as a sacrificial layer for harvesting particles. Particles were composed of biodegradable poly (ethylene glycol) diacrylate (PEG-diA), and aminoethylacrylate (AEM) and 2-acryloxyethyltrimethyl ammonium chloride (AETMAC) were added to them for improving the uptake of the cells. This study suggested PRINT used to produce the uniformed and shape specific biodegradable polymer is the effective technique for the non viral vector for the drug and the gene delivery.
Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticity Conference
/
2007.05a
/
pp.79-83
/
2007
We have developed a compact and cost-effective camera module on the basis of wafer-scale replication technology. A multiple-layered structure of several aspheric lenses in a mobile camera module is first assembled by bonding multiple glass-wafers on which 2-dimensional replica arrays of identical aspheric lenses are UV-embossed, followed by dicing the stacked wafers and packaging them with image sensor chips. We have demonstrated a VGA camera module fabricated by the wafer-scale replication processing with various UV-curable polymers having refractive indices between 1.4 and 1.6, and with three different glass-wafers of which both surfaces are embossed as aspheric lenses having 200 um sag-height and aspheric-coefficients of lens polynomials up to tenth-order. We have found that precise compensation in material shrinkage of the polymer materials is one of the most technical challenges, in order to achieve a higher resolution in wafer-scaled lenses for mobile camera modules.
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
/
v.18
no.1
/
pp.7-13
/
2011
According to increasing of data transfer rate, printed circuit board (PCB) is required improvement of transmission speed. Optical PCB and its packaging technology can be one of the solutions that overcome the limitations of conventional electrical PCB. The data transmission capacity will be increased 10 Tbps at 2015. To this end, studies on various OPCB technologies are being conducted. For cost-effective and high- performance OPCB, studies of optical coupling by polymer replication process are conducted. In this work, optical waveguide and optical fiber array block were sequentially fabricated by polymer pattern replication method. Using this method we successfully demonstrate low loss optical fiber coupling between optical waveguide and optical fiber arrays. And researches on flip chip bonding process and using electro-optic connectors for packaging are conducted.
Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticity Conference
/
2004.10a
/
pp.305-310
/
2004
The Hot Embossing Lithography(HEL) as a method for the fabrication of nanostructure with polymer is becoming increasingly important because of its simple process, low cost, high replication fidelity and relatively high throughput. In this study, we investigated the characteristics of hot embossing lithography as a nanoreplication technique. To grasp characteristics of nano patterning rheology by process parameters(embossing temperature, pressure and time), we have carried out various experiments by using the DVD(400nm pattern width) and Blu-ray nickel stamps(150nm pattern width). During the hot embossing process, we have observed the characteristics of the size effect. The quality of products made by hot embossing is affected by its cooling shrinkage. The demolding process at the glass transition temperature results in low quality because of the shrinkage of the polymer. Therefore, the quantification of the temperature condition is essential for the replication of high quality.
Seo, Young-Soo;Lee, Ki-Yeon;Cho, Young-Hak;Park, Keun
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
/
v.29
no.11
/
pp.1256-1263
/
2012
The present study covers the ultrasonic patterning process to replicate micro-patterns on a polymer substrate. The ultrasonic patterning process uses ultrasonic waves to generate frictional heat between an ultrasonic horn and the polymer substrate, from which the surface region of the polymer substrate is softened sufficiently for the replication of micro-patterns. The ultrasonic patterning process can divided into two categories according to the direction of vibration transmission: direct patterning and indirect patterning. The direct patterning uses a patterned horn, and the ultrasonic vibration is transferred directly from the patterned horn to the substrate. On the contrary, the indirect patterning process uses a plain horn, and the micro-patterns are engraved on a mold that is located below the substrate. Thus, the micro-patterns are replicated as an indirect manner. In this study, these direct and indirect patterning processes are compared in terms of the replication characteristics. Additionally, the possibility of double-side patterning is also discussed in comparison with the conventional single-side patterning process.
Kim Dong-Sung;Lee Hyun-Sup;Lee Jung-Hyun;Lee Kun-Hong;Kwon Tai-Hun
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
/
v.30
no.7
s.250
/
pp.773-778
/
2006
High-aspect-ratio nano-hair or nano-pillar arrays have great potential in a variety of applications. In this study, we present a simple and cost-effective replication method of high-aspect-ratio polymer nano-hair arrays. Highly ordered nano-porous AAO (anodic aluminum oxide) template was utilized as a reusable nano-mold insert. The AAO nano-mold insert fabricated by the two-step anodization process in this study had close- packed straight nano-pores, which enabled us to replicate densely arranged nano-hairs. The diameter, depth and pore spacing of the nano-pores in the fabricated AAO nano-mold insert were about 200nm, $1{\mu}m$ and 450nm, respectively. For the replication of polymer nano-hair arrays, a UV nano embossing process was applied as a mass production method. The UV nano embossing machine was developed by our group for the purpose of replicating nano-structures by means of non-transparent nano-mold inserts. Densely arranged high-aspect-ratio nano-hair arrays have been successfully manufactured by means of the UV nano embossing process with the AAO nano-mold insert under the optimum processing condition.
The present study addresses a direct patterning process on a plastic film using ultrasonic vibration energy. In this process, a tool horn containing micro-patterns is attached to an ultrasonic power supply, and is used with ultrasonic vibration to replicate micro-patterns on the surface of a plastic film. To improve the replication characteristics of the micro-patterns, the effect of the die shape of the ultrasonic patterning process was investigated with respect to the flow direction control. Finite element analyses were performed to predict the flow characteristics of the polymer with variations in die design parameters. Experiments were conducted using the optimally-designed die, from which it was possible to attain much improved pattern replication.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
/
v.33
no.11
/
pp.1209-1216
/
2009
Nano-micro hierarchical structures that nanoprotrusions were formed on the network-type microstructures were fabricated using an ultrasonic vibration forming technology. A commercial ultrasonic welding system was used to apply ultrasonic vibration energy. To evaluate the formability of ultrasonic vibration forming, nickel nano-micro hierarchical mold was fabricated and polyethylene (PE) was used as the replication material. The optimal molding time was 3.5 sec for PE nano-micro hierarchical structures. The molding process was conducted at atmospheric pressure.
New antitumor active polymers, poly(methacryloyl-2-oxy-1,2,3-propanetricarboxylic acid-co-exo-3,6-epoxy-l,2,3,6-tetrahydrophthalic acid) [poly(MTCA-co-ETAc)], poly(methacryloyl-2-oxy-l,2,3-propanetricarboxylic acid-co-hydrogen ethyl-exo-3,6-epoxy-l,2,3,6-tetrahydrophthalate) [poly(MTCA-co-HEET)], and poly(methacryloyl-2-oxy-l,2,3-propanetricarboxylic acid-co-a-ethoxy-exo-3,6-epoxy-1,2,3,6-tetrahydrophthaloyl-5-fluorouracil) [poly(MTCA-co-EETFU)] were synthesized and characterized. Their antitumor activity, inhibition of DNA replication and antiangiogenesis were examined. The structures of the polymers were identified by FT-IR, $^1H$ and $^{13}C$-NMR spectroscopy. The number average molecular weights of the fractionated polymers determined by GPC ranged from 9,400 to 14,900, and polydispersity indices were less than 1.7. The in vitro cytotoxicity of these polymers was determined and their antitumor activity was evaluated. The $IC_{50}$ values (the drug concentration at inhibition of 50% tumor growth) indicated that the synthesized polymers were much better inhibitors of cancer cells and showed lower cytotoxicity than the free 5-FU. The in vivo antitumor activity of the conjugates was examined using mice bearing the sarcoma 180 tumor cell line. The life spans (TIC) of the mice treated with the conjugates were higher than those treated with the free 5-FU. In addition, the synthesized conjugates showed excellent antiangiogenic activity based on an embryo chorioallantoic membrane assay.
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나
그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며,
이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사 처벌됨을 유념하시기 바랍니다.
[게시일 2004년 10월 1일]
이용약관
제 1 장 총칙
제 1 조 (목적)
이 이용약관은 KoreaScience 홈페이지(이하 “당 사이트”)에서 제공하는 인터넷 서비스(이하 '서비스')의 가입조건 및 이용에 관한 제반 사항과 기타 필요한 사항을 구체적으로 규정함을 목적으로 합니다.
제 2 조 (용어의 정의)
① "이용자"라 함은 당 사이트에 접속하여 이 약관에 따라 당 사이트가 제공하는 서비스를 받는 회원 및 비회원을
말합니다.
② "회원"이라 함은 서비스를 이용하기 위하여 당 사이트에 개인정보를 제공하여 아이디(ID)와 비밀번호를 부여
받은 자를 말합니다.
③ "회원 아이디(ID)"라 함은 회원의 식별 및 서비스 이용을 위하여 자신이 선정한 문자 및 숫자의 조합을
말합니다.
④ "비밀번호(패스워드)"라 함은 회원이 자신의 비밀보호를 위하여 선정한 문자 및 숫자의 조합을 말합니다.
제 3 조 (이용약관의 효력 및 변경)
① 이 약관은 당 사이트에 게시하거나 기타의 방법으로 회원에게 공지함으로써 효력이 발생합니다.
② 당 사이트는 이 약관을 개정할 경우에 적용일자 및 개정사유를 명시하여 현행 약관과 함께 당 사이트의
초기화면에 그 적용일자 7일 이전부터 적용일자 전일까지 공지합니다. 다만, 회원에게 불리하게 약관내용을
변경하는 경우에는 최소한 30일 이상의 사전 유예기간을 두고 공지합니다. 이 경우 당 사이트는 개정 전
내용과 개정 후 내용을 명확하게 비교하여 이용자가 알기 쉽도록 표시합니다.
제 4 조(약관 외 준칙)
① 이 약관은 당 사이트가 제공하는 서비스에 관한 이용안내와 함께 적용됩니다.
② 이 약관에 명시되지 아니한 사항은 관계법령의 규정이 적용됩니다.
제 2 장 이용계약의 체결
제 5 조 (이용계약의 성립 등)
① 이용계약은 이용고객이 당 사이트가 정한 약관에 「동의합니다」를 선택하고, 당 사이트가 정한
온라인신청양식을 작성하여 서비스 이용을 신청한 후, 당 사이트가 이를 승낙함으로써 성립합니다.
② 제1항의 승낙은 당 사이트가 제공하는 과학기술정보검색, 맞춤정보, 서지정보 등 다른 서비스의 이용승낙을
포함합니다.
제 6 조 (회원가입)
서비스를 이용하고자 하는 고객은 당 사이트에서 정한 회원가입양식에 개인정보를 기재하여 가입을 하여야 합니다.
제 7 조 (개인정보의 보호 및 사용)
당 사이트는 관계법령이 정하는 바에 따라 회원 등록정보를 포함한 회원의 개인정보를 보호하기 위해 노력합니다. 회원 개인정보의 보호 및 사용에 대해서는 관련법령 및 당 사이트의 개인정보 보호정책이 적용됩니다.
제 8 조 (이용 신청의 승낙과 제한)
① 당 사이트는 제6조의 규정에 의한 이용신청고객에 대하여 서비스 이용을 승낙합니다.
② 당 사이트는 아래사항에 해당하는 경우에 대해서 승낙하지 아니 합니다.
- 이용계약 신청서의 내용을 허위로 기재한 경우
- 기타 규정한 제반사항을 위반하며 신청하는 경우
제 9 조 (회원 ID 부여 및 변경 등)
① 당 사이트는 이용고객에 대하여 약관에 정하는 바에 따라 자신이 선정한 회원 ID를 부여합니다.
② 회원 ID는 원칙적으로 변경이 불가하며 부득이한 사유로 인하여 변경 하고자 하는 경우에는 해당 ID를
해지하고 재가입해야 합니다.
③ 기타 회원 개인정보 관리 및 변경 등에 관한 사항은 서비스별 안내에 정하는 바에 의합니다.
제 3 장 계약 당사자의 의무
제 10 조 (KISTI의 의무)
① 당 사이트는 이용고객이 희망한 서비스 제공 개시일에 특별한 사정이 없는 한 서비스를 이용할 수 있도록
하여야 합니다.
② 당 사이트는 개인정보 보호를 위해 보안시스템을 구축하며 개인정보 보호정책을 공시하고 준수합니다.
③ 당 사이트는 회원으로부터 제기되는 의견이나 불만이 정당하다고 객관적으로 인정될 경우에는 적절한 절차를
거쳐 즉시 처리하여야 합니다. 다만, 즉시 처리가 곤란한 경우는 회원에게 그 사유와 처리일정을 통보하여야
합니다.
제 11 조 (회원의 의무)
① 이용자는 회원가입 신청 또는 회원정보 변경 시 실명으로 모든 사항을 사실에 근거하여 작성하여야 하며,
허위 또는 타인의 정보를 등록할 경우 일체의 권리를 주장할 수 없습니다.
② 당 사이트가 관계법령 및 개인정보 보호정책에 의거하여 그 책임을 지는 경우를 제외하고 회원에게 부여된
ID의 비밀번호 관리소홀, 부정사용에 의하여 발생하는 모든 결과에 대한 책임은 회원에게 있습니다.
③ 회원은 당 사이트 및 제 3자의 지적 재산권을 침해해서는 안 됩니다.
제 4 장 서비스의 이용
제 12 조 (서비스 이용 시간)
① 서비스 이용은 당 사이트의 업무상 또는 기술상 특별한 지장이 없는 한 연중무휴, 1일 24시간 운영을
원칙으로 합니다. 단, 당 사이트는 시스템 정기점검, 증설 및 교체를 위해 당 사이트가 정한 날이나 시간에
서비스를 일시 중단할 수 있으며, 예정되어 있는 작업으로 인한 서비스 일시중단은 당 사이트 홈페이지를
통해 사전에 공지합니다.
② 당 사이트는 서비스를 특정범위로 분할하여 각 범위별로 이용가능시간을 별도로 지정할 수 있습니다. 다만
이 경우 그 내용을 공지합니다.
제 13 조 (홈페이지 저작권)
① NDSL에서 제공하는 모든 저작물의 저작권은 원저작자에게 있으며, KISTI는 복제/배포/전송권을 확보하고
있습니다.
② NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 상업적 및 기타 영리목적으로 복제/배포/전송할 경우 사전에 KISTI의 허락을
받아야 합니다.
③ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 보도, 비평, 교육, 연구 등을 위하여 정당한 범위 안에서 공정한 관행에
합치되게 인용할 수 있습니다.
④ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 무단 복제, 전송, 배포 기타 저작권법에 위반되는 방법으로 이용할 경우
저작권법 제136조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만 원 이하의 벌금에 처해질 수 있습니다.
제 14 조 (유료서비스)
① 당 사이트 및 협력기관이 정한 유료서비스(원문복사 등)는 별도로 정해진 바에 따르며, 변경사항은 시행 전에
당 사이트 홈페이지를 통하여 회원에게 공지합니다.
② 유료서비스를 이용하려는 회원은 정해진 요금체계에 따라 요금을 납부해야 합니다.
제 5 장 계약 해지 및 이용 제한
제 15 조 (계약 해지)
회원이 이용계약을 해지하고자 하는 때에는 [가입해지] 메뉴를 이용해 직접 해지해야 합니다.
제 16 조 (서비스 이용제한)
① 당 사이트는 회원이 서비스 이용내용에 있어서 본 약관 제 11조 내용을 위반하거나, 다음 각 호에 해당하는
경우 서비스 이용을 제한할 수 있습니다.
- 2년 이상 서비스를 이용한 적이 없는 경우
- 기타 정상적인 서비스 운영에 방해가 될 경우
② 상기 이용제한 규정에 따라 서비스를 이용하는 회원에게 서비스 이용에 대하여 별도 공지 없이 서비스 이용의
일시정지, 이용계약 해지 할 수 있습니다.
제 17 조 (전자우편주소 수집 금지)
회원은 전자우편주소 추출기 등을 이용하여 전자우편주소를 수집 또는 제3자에게 제공할 수 없습니다.
제 6 장 손해배상 및 기타사항
제 18 조 (손해배상)
당 사이트는 무료로 제공되는 서비스와 관련하여 회원에게 어떠한 손해가 발생하더라도 당 사이트가 고의 또는 과실로 인한 손해발생을 제외하고는 이에 대하여 책임을 부담하지 아니합니다.
제 19 조 (관할 법원)
서비스 이용으로 발생한 분쟁에 대해 소송이 제기되는 경우 민사 소송법상의 관할 법원에 제기합니다.
[부 칙]
1. (시행일) 이 약관은 2016년 9월 5일부터 적용되며, 종전 약관은 본 약관으로 대체되며, 개정된 약관의 적용일 이전 가입자도 개정된 약관의 적용을 받습니다.