The Effects of Sputtering Parameters and the Substrates on the Growth of Zn${Ga}_{2_{O}_{4}$
(스퍼터링 증착조건과 기판의 종류가 Zn${Ga}_{2_{O}_{4}$ 박막의 성장에 미치는 영향)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 1997.10a
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- pp.91-91
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- 1997