DC 스퍼터법과 유도결합 플라즈마를 이용한 마그네트론 스퍼터링으로 제작된 나노결정질 TiAlN 코팅막의 물성 비교 연구 (A Comparative Study of Nanocrystalline TiAlN Coatings Fabricated by Direct Current and Inductively Coupled Plasma Assisted Magnetron Sputtering)
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- 한국세라믹학회지
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- 제51권5호
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- pp.375-379
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- 2014