• Title/Summary/Keyword: 자기장 해석

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Failure analysis of a turbo molecular pump in semiconductor equipments (반도체 장비에서 터보 분자 펌프의 파손 사례 연구)

  • Jeong, Jin-Yong;Ju, Jeong-Hun;O, Sam-Gyun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.120-120
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    • 2018
  • 반도체 소자나 디스플레이 패널 제조 공정에 가장 많이 사용되는 진공 펌프인 터보 분자 펌프는 오일을 사용하지 않고, 설치 방향이 자유로우며 넓은 작동 압력 영역을 가지고 있어서 고가임에도 불구하고 점점 더 사용 영역을 넓혀 가고 있다. 상하의 두 곳에 회전축을 지지하는 베어링이 필요한데, 기계식 금속 베어링을 채용하는 경우에는 반드시 윤활유를 공급해 주어야 하고, 고온, 부식성 또는 산화성 가스의 배기 시에는 퍼지 가스로 비활성인 질소나 알곤등을 이용하여 보호를 해주어야 한다. 반면, 자기 베어링을 채택한 모델은 윤활의 걱정에서 자유로울 수 있기 때문에 채용이 늘어나고 있다. 동일극의 반발력이나 반대극의 인상력을 이용한 구조를 갖게 되는데 갑작스러운 입구 쪽 압력의 증가 시에는 자석 끼리 부딪치는 일이 발생하고 이로 인해서 로터 모듈 전체에 큰 손상을 갖게 되므로 한 곳 정도에 비상용 터치 다운 베어링을 기계식으로 윤활제 없이 설치하기도 한다. 기본적으로 자기 베어링 방식은 로터 모듈의 부상과 제어를 위해서 3축 또는 5축 제어를 하게 되는데 여기에는 전자석의 전류를 미세하게 조정하여 피드백 하는 시스템을 활용하기 때문에 외부에서의 자기장이 일정값 이상 침투하게 되면 제어 회로의 기능에 문제를 일으키게 된다. 또한 축 방향에 수직인 자기장의 강도가 높아지면 고속으로 회전하는 금속 블레이드가 자속을 자르게 되므로 표면에 와전류가 발생하여 문제가 된다. 터보 분자 펌프는 회전자와 고정자 간격이 1 mm 이내로 작아서 약간의 진동이라도 발생하면 회전자와 고정자 간에 충돌이 일어나고 이는 곧 파손으로 이어진다. 그림 1에는 파손 원인 분석을 위한 회전자 모듈의 수치 해석용 모델의 일부를 나타내었고, 그림 2에는 실제로 외부 자기장에 의한 파손이 발생한 사례의 자기 베어링 모듈의 사진을 나타내었다. 본 발표에서는 외부 자기장의 형태에 따라 제어 자기장에 미치는 영향을 CFD-ACE+(ESI corp)를 활용하여 해석하였다.

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Thermal Stability of a Nanostructured Exchange-coupled Trilayer (나노구조 교환결합 삼층박막의 열적 안정성 예측)

  • Lee, Jong-Min;Lim, S.H.
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.20 no.2
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    • pp.75-82
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    • 2010
  • A recent progress on the prediction of the thermal stability of a nanostructured exchange-coupled trilayer is reviewed. An analytical/numerical combined method is used to calculate its magnetic energy barrier and hence the thermal stability parameter. An important feature of the method is the use of an analytical equation for the total energy that contains the magnetostatic fields. Under an assumption of the single domain state, the effective values of all the magnetostatic fields can be obtained by averaging their nonuniform values over the entire magnetic volume. In an equilibrium state, however, it is not easy to calculate the magnetostatic fields at the saddle point due to the absence of suitable methods of the accessing its magnetic configuration. This difficulty is overcome with the use of equations that link the magnetostatic fields at the saddle point and critical fields. Since the critical fields can readily be obtained by micromagnetic simulation, the present method should provide accurate results for the thermal stability of a nanostructured exchange-coupled trilayer.

Magnetic Field Analysis Due to the Remanent Magnetization Distributed on a Ferromagnetic Thin Plate by using Equivalent Magnetic Models and Material Sensitivity (등가 자기모델과 매질민감도법을 이용한 강자성체 판에 분포하는 영구자화에 기인한 자기장 신호분석)

  • Jeung, Gi-Woo;Kim, Dong-Wook;Kim, Dong-Hun;Yang, Chang-Seob;Chung, Hyun-Ju
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.20 no.3
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    • pp.100-105
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    • 2010
  • For predicting magnetic signals due to the remanent magnetization distributed on a ferromagnetic ship hull, this paper presents an efficient methodology for solving inverse problems, where the material sensitivity analysis based on the continuum mechanics is combined with the equivalent magnetic models. To achieve this, the 3D magnetic charge model and the magnetic dipole moment model are introduced and material sensitivity formulae applicable to each equivalent model are derived. The formulae offer the first-order gradient information of an objective function with respect to the variation of the magnetic charge or magnetic dipole and so an optimal solution can be easily obtained regardless of the number of design variables. To validate the proposed method, the numerical results are comparison with the real measurements of a mock-up model.

플라즈마 내에서의 전자장 해석

  • 황기웅;이홍식;최경철;김윤택
    • 전기의세계
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    • v.39 no.4
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    • pp.52-56
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    • 1990
  • 플라즈마를 도전성 유체라고 생각한다면 외부에서 인가된 전자장이 있을때 전기장에 의해 전류가 생성이 되고, 이전류에 의해 자기장이 다시 생성되기 때문에 플라즈마 내에서는 self-consistence 한 전자장을 구한다는 것은 상당히 난해한 문제가 될 수 있다. 초고온 핵융합 플라즈마의 연구는 대용량 컴퓨터를 이용한 수치 해석적인 방법이 없이는 불가능할 정도로 중요하게 이용되고 있다. 최근에 그 이용 범위가 급속도로 널리 퍼지고 있는 저오니 플라즈마의 경우, 내부에서 일어나는 복잡한 전리, 재결합, 여기 반응 등에 대한 이해가 없이 이용되고 있으나 더욱 정교한 제어가 요구되면서 이들 반응에 대한 이해가 필요하게 되었다. 이를 위해서 최근에 모델링에 관한 연구가 시도되기 시작하고 있다. 최근에 컴퓨터 용량 및 연산 속도의 급속한 증가가 종래에 불가능하게 여겨졌던 플라즈마 현상을 수치해석을 통해 이해가 가능하게 도와주고 있으며 앞으로 플라즈마 연구에 있어서 그 중요성이 더욱 커지리라 생각된다.

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Design of a Magnetic Field Source for In Vivo Experiments at Extremely Low Frequency (생체 실험용 극저주파 자기장 발생 장치의 설계)

  • 김정호;김윤명
    • The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.14 no.8
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    • pp.871-877
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    • 2003
  • In this paper, the design parameters for the magnetic field source at extremely low frequency are proposed. This facility can be used fur in vivo experiments with small animals to investigate biological response to the driving magnetic fields. In case that the exposed animals are motionless, the animals may be affected by the directivity of driving field. To avoid this effect, a 2-axis ELF magnetic field driving apparatus was designed. The optimum location and number of turns of each coil were obtained by numerical analysis. Applying these data to the MATLAB code(for computation), the magnetic field distribution was obtained. The calculation result fur a well-designed facility showed that the space in which the amplitude of the magnetic field lies within the 95 % of the magnetic field distribution was more than 60 % of each axis length.

원형 이온빔 소스의 방전 이미지 분석을 통한 중성입자 밀도의 공간분포 측정

  • Im, Yu-Bong;Kim, Ho-Rak;Park, Ju-Yeong;Kim, Jong-Guk;Lee, Seung-Hun;Seon, Jong-Ho;Lee, Hae-Jun;Choe, Won-Ho
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.245.1-245.1
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    • 2014
  • 교차하는 전기장과 자기장으로 플라즈마를 방전하고, 이온 빔을 효과적으로 가속하는 원형 이온 빔 소스를 개발하였다. 방위각 방향으로 비대칭적인 중성 가스와 전자 빔의 공급으로 이온 빔 소스에서 불안정하고 불균일한 플라즈마가 방전되어, 이온 소스의 효율을 저하시킨다. 본 연구에서는 플라즈마 이미지를 이용하여 이온 소스 내부에서의 중성입자 밀도 분포를 측정하는 방법을 개발하였다. 자기장의 방향이 서로 다른 방전조건에서 얻어지는 한 쌍의 플라즈마 이미지로부터 티코노프 정형화 기법을 이용하여 방위각에 대한 중성입자의 밀도 분포를 재구성한다. 본 재구성 기법을 이용하여 얻어진 밀도 분포는 유체흐름 등가회로 모델을 바탕으로 한 수치해석을 이용하여 분석하였다. 중성입자 밀도의 공간분포는 인가 전압, 자기장의 세기 및 유량과 같은 방전조건의 변화에 크게 영향을 받지 않고, 가스 공급부의 내부 구조에 의해 결정되는 것을 확인하였다. 또한, 등가회로 모델을 이용하여 균일한 공간분포를 얻기 위한 공급부 설계를 수행하였다.

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Magnetic analysis of a finite solenoid (유한 솔레노이드의 자속밀도 해석)

  • Lee, Ju-Hee;Hwang, Seon;Lee, Dong-Yeon
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.16 no.10
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    • pp.6453-6457
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    • 2015
  • In this paper, the theoretical analysis for a solenoid with a finite length was verified by the finite element simulation. The solenoids are widely being used in the field of mechanical, industrial, medical industry due to their simple structure and fast responses. Solenoid actuators use an electromagnetic force. A magnetic field is formed around the solenoid coil when a current is applied. The magnetic force generated by the magnetic field enables an inside plunger to move linearly. The axial and radial magnetic fields (magnetic flux density, B) at a certain point were calculated from the Biot-Savart's law and compared with the simulation analysis from the ANSYS-Magnetostatic S/W. Comparison result, an error exists in the error range, and could therefore verify the accuracy.

Research of Pumping Force according to Shape of Magnetic Fluid in Magnetic Fluid Linear Pump (자성유체의 형상에 따른 선형 펌프의 펌핑력에 관한 연구)

  • Seo, Kang;Park, Gwan-Soo
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2005.07b
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    • pp.981-983
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    • 2005
  • 자성유체를 이용하여 동작하는 선형 펌프를 개발하였다. 자성유체의 자기적 성질을 이용하여 구동하는 선형펌프로 일반 펌프에 비해 조가 간단하고, 진동/소음이 작다는 장점이 있다. 또한 외부에서 인가하는 자기장의 조절만으로 펌프를 조절할 수 있다. 개발한 펌프는 자성유체의 관내에서의 형상에 따라 펌핑력이 매우 달라진다. 따라서 외부에서 인가하는 자기장에 의해 형성되는 자성유체의 형상을 해석하고, 이로 인해 형성되는 자성유체에 의해 발생하는 펌핑력을 측정하고 비교하였다.

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