• 비파괴검사학회지
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• 제33권1호
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• pp.73-79
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• 2013

본 실험에서는 NIMAX재료를 3차원 측정기 및 백색광간섭계를 이용, 진원도 측정과 표면조도 측정을 하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 절삭특성은 재료의 경도가 큰 관계로 2F의 조건보다 4F의 조건에서 낮게 나타났으며, 주축 회전수 및 공구 이송이 낮을수록 양호하게 나타났다. 3차원 측정기를 통한 진원도 측정은 절삭분력과 같은 4F 조건에서 양호하게 나타났으며, 주축회전수 1,700 rpm, 공구이송속도 85 mm/min의 조건에서 진원도는 양호한 결과를 보였다. 가공면의 표면거칠기는 2F 조건보다 4F의 조건에서 양호하게 나타났으며, 주축회전수 1,700 rpm, 공구이송속도 55 mm/min의 조건에서 Ra $0.4025{\mu}m$값을 보였다.

• 한국광학회지
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• 제11권6호
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• pp.395-399
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• 2000

백색광 간섭계에서는 신속하고 그리고 정확하게 주사방향의 간섭무늬 봉우리점을 추출하는 것이 중요한 관건이다. 봉우리점 산출 속도 향상을 목표로 하여 많은 연구가 진행되어 왔지만, 본 연구에서는 가장 간단한 셈법을 이용하여 기준 시료가 얼마나 정확하게 재구성 되는가를 비교 검토하였다. 두 방법 모두 nm 수준의 정밀도로 단차를 측정할 수 있었는데 역상관을 이용한 셈법이 표면 구조나 수직한 면의 재구성에 더 충실한 결과를 산출함이 관찰되었다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2002년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.195-198
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• 2002

Demand for high precision measurement of large area is increasing in many industrial fields. White-light Scanning Interferometer(WSI) is a well-known method for 3D profile measurement. However WSI has some limitations in a measurement range because of the sensing mechanism. Therefore, in this paper we use a heterodyne laser interferometer to get over the limitations of a short measurement range in WSI, We suggest a new WSI system combined with heterodyne laser interferometer. This system is aimed at eliminating Abbe error with measuring the focus point directly. With the use of triggering functionality of WSI, we can use this system as a probe of a precision stage such as a probe of CMM. The suggested system gives a repeatability of 87 nm in the absolute distance measurement test under the laboratory environment.

• 한국정보통신학회논문지
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• 제23권1호
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• pp.63-69
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• 2019

안와 내에서 안구의 상대적 위치는 여러 병적인 상태를 짐작할 수 있는 하나의 기준이 될 수 있다. 특히 안와골절, 갑상선 안질환, 안와 종양 등의 진단과 이에 약물 및 수술적 치료의 결과를 판단하는데 유용하다. 현재 안구 돌출 값을 측정하기 위해 주로 사용되는 대표적 측정 기기인 Hertel과 Naugle 안구돌출계 등은 검사자가 다를 경우, 같은 검사자가 반복적으로 측정하더라도 검사할 때마다 안와의 고정부위가 달라지는 현상, 또한 동일한 안구돌출계라고 하더라도 제조 회사가 다르다면 안와의 고정부위 디자인이 달라 검사자에 의한 측정 오차 발생이 필연적이다. 본 논문에서는 백색광 간섭계를 이용한 안구 돌출 측정 장치를 설계 및 제작하고 실제 사람의 안구 돌출을 측정하여 수동식 측정 방법에 비해 정밀도 및 반복 정도가 크게 높아진 것을 확인하였다.

• 한국정보통신학회논문지
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• 제21권12호
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• pp.2341-2346
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• 2017

안와 내에서 안구의 상대적 위치는 여러 병적인 상태를 짐작할 수 있는 하나의 기준이 될 수 있다. 특히 안와골절, 갑상선 안질환, 안와 종양 등의 진단과 이에 약물 및 수술적 치료의 결과를 판단하는데 유용하다. 현재 안구 돌출 값을 측정하기 위해 주로 사용되는 대표적 측정 기기인 Hertel과 Naugle 안구돌출계 등은 검사자가 다를 경우, 같은 검사자가 반복적으로 측정하더라도 검사할 때마다 안와의 고정부위가 달라지는 등 측정자에 의한 오차가 필연적이다. 또한 동일한 안구 돌출 계라고 하더라도 제조 회사가 다르다면 안와의 고정부위 디자인이 달라 검사자에의한 측정 오차가 발생한다. 본 논문에서는 안구돌출값의 측정을 3차원 영상 측정기술인 백색광 간섭계를 이용하여 검사 정밀도 및 반복 정도를 크게 올릴 수 있는 자동 측정 방법에 대한 연구를 제안하고자 한다.

• 한국정밀공학회지
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• 제31권11호
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• pp.999-1006
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• 2014

In this investigation, we explain the sub-sampling technique of white light scanning interferometry (WLSI) to improve the measurement speed. In addition to the previous work using Fourier domain analysis, several methods to extract the height from the correlogram of WLSI are described with the sub-sampling technique. Especially, Fourier-inverse Fourier transformation method adopting sub-sampling technique is proposed and the phase compensation technique is verified with simulation and experiments. The main advantage of sub-sampling is to speed up the measurements of WLSI but the precision such as repeatability is slightly poor. In case of measuring the sample which has high height step or difference, the proposed technique can be widely used to reduce the measurement time.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.565-568
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• 2005

We describe a new scheme of dispersive white-light interferometer that is capable of measuring the thickness profile of thin-film layers, for which not only the top surface height profile but also the film thickness of the target surface should be measured at the same time. The interferometer is found useful particularly for in-situ inspection of micro-engineered surfaces such as liquid crystal displays, which requires for high-speed implementation of 3-D surface metrology.

• 한국군사과학기술학회지
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• 제9권3호
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• pp.109-115
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• 2006

The investigation of the polarization cross-coupling in fiber coils was made using white light Michelson interferometer. The white light interferometer has a light source of about 13nm spectral bandwidth and measurement resolution of less than -80dB. The measurement found that the 200m fiber coil has a polarization cross-coupling of about -64dB in average and -46dB in maximum.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.23-24
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• 2006

We present a dispersive scheme of white-light interferometry that enables not only to perform tomographical measurements of thin-film layers but also to measure a refractive index without mechanical depth scanning. The interferometry is found useful particularly for in-situ 3-D inspection of micro-engineered surfaces such as liquid crystal displays, semi-conductor and MEMS structure, which requires for high-speed implementation of 3-D surface metrology.

• 한국정밀공학회지
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• 제25권1호
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• pp.85-91
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• 2008

White light scanning interferometry has gotten a firm position in 3D surface profile measuring field. Recently, the LCD industry gave a chance for this technology to enter into real industry fields. It is known that white-light phase-shifting algorithm give a best resolution compare to other algorithms, but there are some problems to be resolved. One of them is 300nm jump in height profile, called bat-wing effect. The main reason of this problem is an ambiguity of phase-peak detection algorithm, and some solution has been proposed, but it didn't work perfectly. In this paper, I will show the cases when these effects are occurred, and these height discrepancies will be almost disappeared when broad-band illuminators are used.