Fabrication of Low Temperature Poly-Si TFT by Ni/Pd DMILC(Double-Metal Induced Lateral Crystallization) at$400^{\circ}C$
(Ni/Pd 이중금속유도측면결정화에 의한 저온($400^{\circ}C$ ) 다결정 실리콘 트랜지스터 제작에 관한 연구)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 1996.11a
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- pp.115-115
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- 1996