Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

고상확산방법과 후속 열처리 공정을 이용한 Poly-Si TFT 소자특성 개선

  • 구현모 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 이우현 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 김관수 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 조원주 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 구상모 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 정홍배 (광운대학교 전자재료공학과)
  • Published : 2006.08.01
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