Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1997.07d
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- Pages.1475-1477
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- 1997
A Novel LDD Structured Polysilicon Thin-Film Transistors
새로운 LDD 구조의 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
- Hwang, S.S. (Myongji University) ;
- Kim, D.J. (Myongji University) ;
-
Kim, Y.S.
(Myongi University)
;
- Choi, K.Y. (Seoul Nat'l University) ;
-
Han, M.K.
(Seoul Nat'l University)
;
-
Park, J.S.
(Hanyang University)
- 황성수 (명지대학교 전기공학과) ;
- 김동진 (명지대학교 전기공학과) ;
-
김용상
(명지대학교 전기공학과)
;
- 최권영 (서울대학교 전기공학부) ;
-
한민구
(서울대학교 전기공학부)
;
-
박진석
(한양대학교 전기공학과)
- Published : 1997.07.21
Abstract
We have fabricated a novel LDD structured polysilicon thin film transistor with a simple fabrication process, compared with the conventional LDD poly-Si TFT, without LDD implantation by employing taper etched
Keywords