Fabrication and Properties of pn Diodes with Antimony-doped n-type Si Thin Film Structures on p-type Si (100) Substrates (p형 Si(100) 기판 상에 안티몬 도핑된 n형 Si박막 구조를 갖는 pn 다이오드 제작 및 특성)
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- Journal of the Semiconductor & Display Technology
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- v.16 no.2
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- pp.39-43
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- 2017