• 한국재료학회지
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• 제17권2호
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• pp.96-99
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• 2007

The effects of post-annealing of high-k $HfO_2$ thin films grown by atomic layer deposition method were investigated by the annealing treatments of $400-600^{\circ}C$. $Pt/HfO_2/p-Si\;MOS$ capacitor structures were fabricated, and then the capacitance-voltage and current-voltage characteristics were measured to analyze the electrical characteristics of dielectric layers. The X-ray diffraction analyses revealed that the $500^{\circ}C-annealed\;HfO_2$ film remained to be amorphous, and the $600^{\circ}C-annealed\;HfO_2$ film was crystallized. The annealing treatment at $500^{\circ}C$ resulted in the highest capacitance and the lowest leakage current due to the reduction of defects in the $HfO_2$ films and non-crystallization. Our results suggest that post-annealing treatments are a critical factor in improving the characteristics of gate dielectric layer.

• The Korean Journal of Ecology
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• 제18권1호
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• pp.121-136
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• 1995

The forest vegetation on Mt. Ch’ongnyang was investigated for phytosociological analysis of the vegetation types and interspecific association. The forest was classified into seven vegetation units; A: Quercus Mongolica community, A-1: Group of Quercus variabilis, A-1-a: Subgroup of Pinus densiflora, A-1-b: Typical subgroup, A-2: Group of Aconitum trilobum, A-3: Group of Quercus dentata, B: Zelkova serrata communty. The group of Quercus variabilis was distributed on southeast- and southwest-facing slopes in 400~830 m above the sea level, and organic matter in the soil was 3.36~4.67％. The group of Aconitum trilobum was distributed on northeast- and northwest-facing slopes in 650~830 m above the sea level, and organic matter in the soil was 7.18％. The group of Quercus dentata was distributed on southwest-facing solpes in the vicinity of 810 m above the sea level, and organic matter in the soil was 9.7％. The Zelkova serrata community was distributed in the vicinity of ravines, and organic matter in the soil was 7.6％. The contents of Mg and Ca, and electric conductivity in the Zelkova serrata community were relatively high, 11.82 me/100mg, and 11.27 me/100mg, 102.2 μ mos/cm, respectively. In the results of polar ordination, environmental gradient of axis Ⅰ and axis Ⅱwere correlated with moisture, inclination and azimuth, respectively. Group of Quercus variabilis has occurred in xeric, group of Aconitum trilobum in submesic, and the Zelrova serrata community in mesic sites. In the meantime the interspecific association analysis based on chi-square yielded three species groupings with high positive affinity(p<0.01), i.e.group Ⅰ consisted of 18 species, including Acer pseudo-sieboldianum, Ansliaea acerifolia, Aconitum trilobum and group Ⅲ consisted of 19 species, in cluding Zelrova serrata, Oplismenus undulatifolius, Acer truncatum var. barbinerve, respectively.

• Journal of Korean Vacuum Science & Technology
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• 제4권3호
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• pp.73-77
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• 2000

Single crystal and polycrystalline Si thin films were doped with phosphorus by a 2-zone diffusion method to develop the low-resistivity polycrystalline Si electrode for a hemispherical grain. Solid phosphorus source was used in order to achieve uniformly and highly doped surface region of polycrystalline Si films having rough surface morphology. In case of 2-zone diffusion method, it is proved that the heavy doping near the surface area can be achieved even at a relatively low temperature. SIMS analysis revealed that phosphorus doping concentration in case of using solid P as a doping source was about 50 times as that of phosphine source at 750$^{\circ}C$. Also, ASR analysis revealed that the carrier concentration was about 50 times as that of phosphine. In order to evaluate the electrical characteristics of doped polycrystalline Si films for semiconductor devices, MOS capacitors were fabricated to measure capacitance of polycrystalline Si films. In ${\pm}$2 V measuring condition, Si films, doped with solid source, have 8% higher $C_{min}$ than that of unadditional doped Si films and 3% higher $C_{min}$ than that of Si films doped with $PH_3$ source. The leakage current of these films was a few fA/${\mu}m^2$. As a result, a 2-zone diffusion method is suggested as an effective method to achieve highly doped polycrystalline Si films even at low temperature.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제18권1호
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• pp.32-37
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• 2019

Titanium dioxide ($TiO_2$) is a promising dielectric material in the semiconductor industry for its high dielectric constant. However, for utilization on Si substrate, $TiO_2$ film meets with a difficulty due to the large leakage currents caused by its small conduction band energy offset from Si substrate. In this study, we propose an in-situ plasma oxidation process in plasma-enhanced atomic layer deposition (PE-ALD) system to form an oxide barrier layer which can reduce the leakage currents from Si substrate to $TiO_2$ film. $TiO_2$ film depositions were followed by the plasma oxidation process using tetrakis(dimethylamino)titanium (TDMAT) as a Ti precursor. In our result, $SiO_2$ layer was successfully introduced by the plasma oxidation process and was used as a barrier layer between the Si substrate and $TiO_2$ film. Metal-oxide-semiconductor ($TiN/TiO_2/P-type$ Si substrate) capacitor with plasma oxidation barrier layer showed improved C-V and I-V characteristics compared to that without the plasma oxidation barrier layer.

• 대한전자공학회논문지
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• 제16권4호
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• pp.36-46
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• 1979

본 연구에서는 N -채널 실리콘 게이트 제작기술에 의하여 일련의 크기를 가지는 커페시터와 트렌지스터들이 제작되었다. 그 결과 다양한 이온 주입 조걸, 즉 B 의 경우 에너지 30keV∼60keV와 도오스 3 × 10 ~ 5 × 10 개/㎠ 그리고 P 의 경우 에너지 1001keV∼ 175keV와 4 ×10 ~ 7×11개/㎠ 도오스 영역에서 이들에 대한 D.C. 인자들의 측정치들이 이론적인 계산치들과 비상, 분석되어 있다. 이 D.C. 인자들에는 threshold전압, 공핍층의 폭, 게이트 산화물 두께, 표면상태, 가동 하전입자 밀도, 전자의 이동도 그리고 마지막으로 누설전류가 있는데, 이중 실제 MOS의 제작에 있어서 특허 중요한 threshold전압에 있어서는, 커어브트레이서와 C - V plot을 통하여 측정된 값들이 실제 재산에서 이용된 SUPREM II 컴퓨우터 프로그램에 의한 결과와 훌륭히 접근하고 있다. 그 밖에 여기나온 D.C.인자들 중에서 도오핑 수준은 기판의 역 게이트 바이어스에서 threshold전압들로 부터 계산된 것이고, 역전도는 정의된 subthreshold 기울기로 부터 추산된 것임을 밝혀 둔다. 마지막으로 이와같은 D. C. 시험 결과들을 종합적으로 평가해 볼 때 만들어진 커페시터와 트렌지스터들이 N -채널 MOS I. C. 기억소자용으로 적합함을 보여주고 있다.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제46권4호
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• pp.53-63
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• 2009

본 논문에서는 IEEE 802.11n 표준과 같은 근거리 무선통신망 응용을 위한 10비트 100MS/s 27.2mW $0.8mm^2$ 0.18um CMOS ADC를 제안한다. 제안하는 ADC는 고속 동작에 적합한 3단 파이프라인 구조를 기반으로 제작되었으며 각단에 공통적으로 사용되는 증폭기, 프리앰프 및 저항열을 최대한 효율적으로 공유함으로써 전력 소모 및 면적을 최소화하였다. 첫 번째 MDAC과 두 번째 MDAC에는 스위치 저항과 메모리 효과가 없는 증폭기 공유기법을 사용하였고, 세 개의 4비트 flash ADC에는 단 하나의 저항열만을 사용하는 동시에 두 번째 flash ADC와 세 번째 flash ADC에는 프리앰프를 공유하여 전력 소모와 면적을 최소화하였다. 보간 기법을 사용하여 요구되는 프리앰프의 수를 반으로 줄였으며, 프리앰프의 공유 및 보간 기법으로 인한 영향을 최소화하기 위해 낮은 킥-백 잡음을 갖는 비교기를 추가로 제안하였다. 제안하는 시제품 ADC는 0.18um 1P6M CMOS 공정으로 제작되었으며, 측정된 DNL 및 INL은 10비트 해상도에서 각각 최대 0.83LSB와 1.52LSB의 수준을 보이며, 동적 성능으로는 100MS/s의 동작 속도에서 각각 52.1dB의 SNDR과 67.6dB의 SFDR을 갖는다. 시제품 ADC의 칩 면적은 $0.8mm^2$이며 전력 소모는 1.8V 전원 전압을 인가하였을 때 100MS/s에서 27.2mW이다.

• 아시안잔디학회지
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• 제16권2호
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• pp.65-73
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• 2002

한국의 겨울철 온도 조건하에서 가온에 의한 근권부의 온도조절이 잔디생육과 품질에 미치는 영향을 조사하고 아울러 shoot의 무기성분 함량을 조사한 결과 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. 겨울철 근권부의 온도를 20$\pm$2$^{\circ}C$로 유지한 결과 대조구의 잔디는 동해로 인해 생육이 멈춘 반면 온도 처리구에서는 공시된 한지형 잔디(Kentucky bluegrass, perennial ryegrass, tall fescue) 모두에서 녹색이 유지되었으며 예초를 요할 정도의 생육이 계속되었다. 그러나 들잔디의 경우 겨울철 근권부의 온도를 높여주어도 지상부의 생육은 불가능하였다. 2. 온도 처리구에서의 예초량은 tall fescue에서 가장 많았고, 엽록소 함량은 perennial ryegrass에서 가장 높았으며 Kentucky bluegrass는 안토시아닌 함량이 다른 종류에 비하여 높기 때문에 검붉은 색깔을 나타내는 shoot의 수가 많았다. 3. Shoot의 무기양분 함량은 N, P는 토양처리간에 차이가 없었고 K, Ca, Mg는 모래＋peat moss에 비하여 모래＋peat moss＋soil 처리구에서 많은 것으로 나타났다. 4. 근권부의 가온조절은 한국의 겨울철 기온하에서 한지형 잔디의 생육을 도모하고 겨울철 잔디의 녹색을 유지시킬 수 있을 뿐만 아니라 눈 녹음을 촉진시켜 잔디의 이용률을 증진시킬 수 있는 방안으로 판단된다.

• 아시안잔디학회지
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• 제15권4호
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• pp.169-179
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• 2001

근권부의 온도를 대조구에 비하여 낮게 조절하고 토양조성을 달리하여 여름철 고온기에 Kentucky bluegrass (Poa pratensis L.‘Nuglade’), per-ennial ryegrass(Lolium perenne L.‘Accent’), tall fescue (Festuca arundinacea Schreb. ‘Pixie’), Japanese lawngrass (Zoysia japonica Steud.)를 재배하고 잔디의 품질, 병해발생 정도 엽록소 함량을 조사하고 아울러 예지물의 무기물 함량을 측정하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 여름철 근권부의 온도를 4~6$^{\circ}C$ 낮게 처리한 경우 한지형 잔디의 균일성을 현저히 높여주고 병의 발생률을 크게 억제시켰으며 그 효과는 perennial ryegrass에서 가장 큰 것으로 나타났다. 엽록소 함량은 토양조성에 따라 변화가 없었으나 냉온 처리구에서 대조구에 비하여 크게 증가되었다. 2. 여름철 근권부의 냉온처리는 Kentucky blue-grass와 perennial ryegrass는 대조구에 비하여 약 2배, tall fescue는 2.5배 이상의 clipping무게 증가를 나타냈다. 난지형 잔디인 들잔디에서도 냉온처리구에서 생육의 증진효과를 보였다. 한지형 잔디는 모래 ＋peat moss를 80 : 20(v/v)으로 혼합한 토양에 비하여 모래＋peat moss＋일반토양을 80：10 : 10 (v/v/v)으로 혼합한 토양에서 많은 생장을 보였다. 3. 근권부의 냉온처리는 공시된 세 종류의 한지형 잔디에서 N, P, K, Ca그리고 Mg의 흡수를 증가시켰으나 들잔디에서는 흡수차이를 보이지 않았다. 토양의 혼합비율에 따른 무기물함량의 차이는 인정되지 않았다. 이상의 결과로 미루어 근권부의 냉온처리는 고온 스트레스에 의한 잔디의 생육저하를 감소시키고 여름철 하고현상을 예방하여 줌으로써 고온다습한 기후조건에서도 경기장의 잔디 품질을 우수하게 유지할 수 있는 방안으로 판단된다.

• Radiation Oncology Journal
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• 제7권2호
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• pp.247-257
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• 1989

절제 불가능한 원발성 간암은 여러 가지 다양한 치료법의 시도에도 불구하고 그 예후는 극히 불량하다. 이에 본 저자들은 온열요법에 대한 축적된 경험을 바탕으로 1988년 4월부터 7월까지 본과에 내원한 30명 의 절제 불가능한 원발성 간암 환자들에 대하여 온열 및 방사선 병용요법을 시행하였다. 방사선치료는 일일 조사량 180 cGy씩 3. 5주에 3060 cGy를 조사하였고 온열요법은 8 MHz 유전형온열치료기 (Thermotron RF-8, Cancermia)를 사용하여 주 2회씩 총 5회 시행하되 순서는 방사선 치료를 먼저 한 후 30분 이내에 온열요법이 30~60분간 시행되었다. 그 결과 부분반응이 12예에서 관찰되었고(40%), 증상의 호전이 28예 중 22예에서 관찰되었다(78.6%), 종양의 반응을 예측할 수 있는 인자로서는 형태학적 유형이 가장 유의하게 나타났다(single massive: 10/14, 71.4%, diffuse infiltrative: 2/10, 20% : multinodular : 0/6, 0%, p<0.005). 치료로 인한 심각한 부작용은 관찰되지 않았다. 1년 생존율은 34%였고 정중앙 생존기 간은 6.5개월이었다. 부분반응을 보인 환자군의 생존율 및 정중앙 생존 기간은 각각 50%, 11개월로서 반응을 보이지 않은 환자군의 22%, 5개월과 비교해 볼 때 정중앙 생존기간의 차이가 통계적으로 유의하였다.(p<0.05). 결론적으로 온열 및 방사선 병용요법은 절제 불가능한 원발성 간암의 증상호전 및 국소적 치료에 효과가 있는 것으로 생각되며 생존율 및 부작용 등에 관해서는 앞으로 연구가 더 진행되어야 할 것으로 생각된다.

• 농촌의학ㆍ지역보건
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• 제34권1호
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• pp.13-23
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• 2009

'사회적 지지'는 자신이 사랑 받고 돌보아진다고 믿게 하는 정보로서 인지적 심리적 안정을 도우며 개인의 대응역량을 높여준다. 노인에 대한 사회적 지지는 심혈관 질환 등으로 인한 사망률에 영향을 주고, 우울증을 감소시키고, 스트레스와 우울 사이에 완충 역할을 하며, 건강행태 또한 사회적 맥락 속에서 결정된다고 알려져 있다. 우리나라는 노령인구의 농촌 편중 하에서, 농촌 노인들은 사회적 지지 측면에서도 도시 노인들보다 취약한 것으로 나타났다. 이에 본 연구의 목적은 일부 농촌지역 노인들을 대상으로 사회적 지지와 건강수준 및 건강행태와의 관련성을 알아보기 위함이다. 연구대상은 강원도 춘천시 동산면 군자리에 거주하는 60세 이상 노인들 중 설문에 응한 총 79명이며, 2008년 6월 23일부터 29일까지 구조화된 설문지를 이용하여 직접면접조사를 하였다. 독립변수는 '가족 수, 가족과의 관계, 친한 친구 수, 참여모임 여부 및 사회적 지지 점수(MOS-SSS 수정)'로 하였고, 이에 따른 신체적 건강 즉, 주관적 건강과 만성질환 유무 그리고 정신적 건강으로 우울증을, 건강행태로 흡연, 음주, 규칙적인 운동, 숙면, 아침식사 여부와의 관계를 분석하였다. 대상 인구의 평균 연령은 72.0$\pm$7.0세 이고, 사회적 지지 점수는 20점 만점에서 평균 14.3$\pm$4.7점 이었다. 정신적 건강의 SGDS 점수 측정결과 전체인구의 36.3%가 우울성향을 보였다. 건강수준에 영향을 준 요인으로서, 사회적 지지 점수가 다를 때 우울 성향(p<0.001)과 운동여부(0.031)에서 유의한 차이가 있었다. 가족관계가 보통인 군에서 좋은 군보다 주관적으로 느끼는 건강수준이 낮고(OR=0.25, 95% CI=0.07-0.95), 숙면을 취하는 정도가 더 낮았다(OR=0.21, 95% CI=0.06-0.73). 친한 친구가 없는 군은 친한 친구 수가 5명 이상인 군에 비해 규칙적인 운동을 하는 경우가 더 낮았고(OR=0.21, 95% CI=0.05-0.94), 참여모임이 없는 사람은 참여모임이 있는 사람보다 '우울'로 나타남이 유의하게 높았다(OR=4.79, 95% CI=1.62-14.15). 이 연구를 통해 사회적 지지 점수 및 가족관계, 친구 수, 참여모임 수 등으로 대변되는 사회적 지지가 농촌 노인의 건강수준 및 건강행태와 관련이 있음을 알 수 있었다. 따라서 농촌 노인들의 건강증진을 위해서 사회적 지지를 고취시킬 수 있는 노력이 필요하겠다.