The differential heterodyne interferometer (DHI) is suitable for precise measurement of step height and line width, since its differential configuration can significantly reduce disturbances from the environment [1,2]. Like most phase measuring interferometers, however, the DHI is limited, in that it can obtain only the phase from 0 to 2π, because of the sinusoidal nature of the optical interference involved. Thus, the measurable step height is limited to one quarter of the wavelength of the light source. This study describes a confocal differential heterodyne interferometer (CDHI) for measuring step heights of several micrometers, with a high resolution and line width with high repeatability. The CDHI has a simple structure and rapid measurement speed.
Park, Seung-Kyu;Park, Nak-Gyu;Baik, Sung-Hoon;Kang, Young-June
Nuclear Engineering and Technology
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제45권3호
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pp.361-366
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2013
An imaging technique to visualize the internal defects in a plate-type nuclear fuel specimen was developed by using an active optical interferometer for a nondestructive quality inspection. A periodic thermal wave having a sinusoidal intensity pattern induced a periodical strain variation for the specimen. The varying strain image was acquired using an optical laser interferometer. The strain distribution over the internal defects will be distorted in an acquired strain image because a part of the thermal wave will be reflected from these defects during propagation. In this paper, internal defects were efficiently visualized by sequentially accumulating the extracted defect components. The experimental results confirmed that the developed visualization system can be a valuable tool to detect the internal defects in plate-type nuclear fuel.
반도체 실리콘은 띠간격 근처의 에너지를 갖는 광자를 흡수하여 생성된 전자-정공쌍에 의해 굴절률이 비선형적으로 변하며 이에 따라 입사한 광펄스를 변조시킨다. Finesse가 큰 실리콘 Fabry-Perot 간섭계를 형성할 때, 이를 투과하는 광펄스가 실리콘의 굴절률을 변화시켜 스스로 간섭계의 보강간섭조건을 만족시킴으로써 반치폭이 1/5까지 축약되는 현상을 관측하였다. 그리고 관측된 결과는 수치해석으로 구한 결과와 잘 일치하였다.
서로 수직으로 편광되고 두개의 종모우드로 발진하는 주파수가 안정화된 He-Ne 레이저를 이용하여 넓은 측정 범위를 갖는 헤테로다인 간섭계를 구성하였다. 두 모우드 사이의 맥놀이 주파수인 684MHz에 대한 라디오 주파수 간섭을 이용하여 약 .+-.1.74.mu.m의 분해능으로 광학매질의 광학두께를 측정할 수 있는 장치를 구성하였다. 이와 같은 측정장치를 이용하여 Nd:YAG 레이저의 수동형 Q-스위칭에 포화흡수체로 사용되고 있는 유기염료 박막의 두께와 국부적인 광학두께의 변화에 대한 map을 구할 수 있었다.
We propose a new and potentially integrable scheme for the realization of an all-optical binary full adder employing two XOR gates, two AND gates, and one OR gate. The XOR gate is realized using a Mach-Zehnder interferometer (MZI) based on a semiconductor optical amplifier (SOA). The AND and OR gates are based on the nonlinear properties of a semiconductor optical amplifier. The proposed scheme is driven by two input data streams and a carry bit from the previous less-significant bit order position. In our proposed design, we achieve extinction ratios for Sum and Carry output signals of 10 dB and 12 dB respectively. Successful operation of the system is demonstrated at 10 Gb/s with return-to-zero modulated signals.
최근 전자산업계에 새롭게 널리 생산되는 마이크로 전자부품들은 왜곡이 최소화된 정밀한 외관 형상을 갖도록 제조되고 관리되지만, 측정 대상의 표면이 가시광 영역에서 광산란되는 특징을 가짐으로 인해, 기존의 피죠나 마이켈슨 형태의 비교간섭법으로는 고정밀의 삼차원 형상측정이 용이하지 아니하였다. 본 논문에서는 광섬유를 이용한 새로운 개념의 점회절 간섭계를 제안하고, 이를 광산란 거친표면의 대표적인 제품인 칩패키지와 실리콘 웨이퍼의 삼차원 형상 측정에 적용하였다. 측정결과 66 mm 측정영역에서 측정 형상오차 PV(peak-to-valley value) 5.6 $\mu\textrm{m}$, 분산값($\sigma$) 1.5 $\mu\textrm{m}$를 획득함으로써 기존의 비교 간섭 측정법에 비해 더욱 향상된 측정 정밀도를 획득하였다.
본 논문에서는 이진 위상 홀로그램과 간섭계를 이용하여 디지털 데이터의 저작권을 보호할 수 있는 새로운 워터마킹 방법을 제안하였다. 먼저, SA알고리듬을 이용하여 숨겨질 마크영상의 이진 위상 홀로그램을 설계하였다. 이를 원 영상에 선형중첩 시킴으로써 워터마킹된 영상을 얻었다. 워터마킹된 영상에서 마크영상을 추출하기 위한 복호화 과정은 경로차가 같도록 구성된 마흐-젠더 간섭계를 이용하여 워터마킹된 영상의 위상변조 성분과 위상변조된 원 영상과의 간섭세기론 역푸리에 변환 함으로써 얻었다. 제안된 방법은 임의의 절단된 영상에 대해서 강인함을 컴퓨터 모의실험을 통해 확인하였으며, 위상 변조 특성이 있는 LCD를 사용하여 광학적으로 구현하였다.
Sagnac 형태로 변형된 Mach-Zehnder 간섭계(SMZI)는 모든 광경로가 동일한 광부품을 서로 공유하기 때문에 위상 흔들림을 최소화할 수 있는 안정된 간섭계이다. 본 연구에서는 단일광자 수준까지 감쇄시킨 레이저 광과 제 2형의 매개하향변환에서 발생한 편광 상관관계가 있는 광자로부터 준비된 단일광자를 이용한 간섭실험에서 매우 안정된 간섭무늬를 관측하였다. SMZI의 위상은 약 ${\pm}0.18$ rad으로 안정적인 반면에 보통의 MZI는 ${\pm}1.02$ rad의 위상 요동을 나타내었다.
비구면 광학부품의 수차 측정 및 성능 평가를 위해 특별 설계된 층밀리기 간섭계를 소개하고, 이와 더불어 층밀리기 간섭계가 갖는 자체의 계통오차를 측정결과로부터 제거하기 위한 보정 방법을 제안한다. 층밀리기 간섭계의 계통오차는 크게 간섭광학계가 갖는 광학오차와 간섭계의 기구부의 불완전에 기인한 층밀리기 방향의 직교오차로 구분할 수 있다. 이들 두 계통 오차들은 모두 본 논문에서 제안하는 방법으로 모두 보정될 수 있다. 보정 방법은 측정 대상물을 간섭계의 광축을 중심으로 회전하여 측정결과로부터 계통오차를 분리하는 자가보정 원리에 근거한다.
Nonlinearity is one of the primary causes of error in precision length measurement using laser interferometer. It arises periodically. The periodical nonlinearity usually ranges from sub-naometre to several namertres. In the homodyne interferometer, it results from a number of factors including polarization mixing, imperfect optical clement, unequal gain of detectors, misalignment of axes between input beam and beam splitter. In this paper, we described a method for measuring and compensating the nonlinearity of homodyne interferometer using the elliptical least-square fitting technique associated with electric method and experimental results in one frequency polarization interferometer.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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