멀티레벨 상변화 메모리 응용을 위해 화학기상증착법으로 저온에서 증착시킨 InSbTe 박막의 특성평가 (Conformal Properties of InSbTe Thin Films Grown at a Low Temperature by MOCVD for Multi Level Phase-Change Memory Applications)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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- pp.215-215
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- 2010