The Electrical Properties of Metal and Low Dielectric Thin Film using Polyimide as Interlayer Dielectric, ILD (층간절연막으로 저유전박막 폴리이미드와 금속의 전기적 특성)
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- Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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- 한국표면공학회 1998년도 추계학술발표회 초록집
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- pp.27-28
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- 1998