• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제27권2호
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• pp.97-103
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• 2014

Phase transition properties of the copolymer films of polyvinylidene fluoride (PVDF) and trifluoroethylene(TrFE), P(VDF-TrFE), were studied with X-ray diffraction (XRD) and polarization modulated ellipsometry (PME). XRD studies on both Langmuir-Blodgett (LB) films and spin coated films exhibit conversions from ferroelectric phase to paraelectric phase at $108{\pm}2^{\circ}C$ on heating and paraelectric phase to ferroelectric phase at $78{\pm}2^{\circ}C$ on cooling. The presence of the ferroelectric-paraelectric phase transition is also confirmed by the PME technique for the first time in this study. PME was proved to be a very sensitive tool in the measurement of the structural changes at the nano-thickness films.

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 추계학술대회 발표 논문집
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• pp.12-17
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• 2003

We develop Mueller-matrix spectroscopic ellipsometry based on dual compensator configuration. This technique is very powerful for measuring surface anisotropy in nano-scale, especially when materials show depolarization. Dual-rotating compensator configuration is adopted with the rotational ratio of 5:3 originally developed by Collins et al [1]. The instrument can provide 250-point spectra over the wavelength range from 230 nm to 820 nm in one irradiance waveform with minimum acquisition time of $Tc{\approx}10 s$. In this work, the results obtained in transmission modes are presented for the initial attempt. We present calibration procedures to diagnose the system from the utilize data collected in transmission mode without sample. We expect that the instrument will have important applications in thin films and surfaces that have anisotropy and inhomogeneity.

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 추계학술대회 발표 논문집
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• pp.18-22
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• 2003

일반사용자들은 ellipsometer를 사용이 어려운 장비로 인식하고 있다. 본 연구는 초보자들이 손쉽게 사용할 수 있는 ellipsometer를 제작하는데 목적이 있다. 시편을 측정하기 전에 반드시 해야 할 과정인 alignment와 calibration을 하지 않고 측정할 수 있도록 제작하였다. 기본 구조는 rotating compensator spectroscopic ellipsometry를 이용하였으며 , 입사각을 70도로 고정시키고 기존의 sample holder 구조를 바꾸어 어떠한 시편을 놓아도 입사면이 변하지 알게 하여 calibration 이 요구되지 않는 ellipsometer를 개발하였다. 장비의 성능과 정밀도를 검사하기 위하여 여러 가지 표준시료를 측정하여 일반 RCSE와 측정결과를 비교하였다. 또한 고정된 입사면의 calibration값의 신뢰도를 검사하기 위하여 반복적으로 측정할 때마다 시편을 재배치하여 실험하였다.

• 한국광학회지
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• 제26권5호
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• pp.275-282
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• 2015

단축이방성 박막들과 등방성 박막들이 코팅되어 있는 시료에 비스듬히 입사한 빛의 유효반사계수 표현들을 유도하였다. 단축 이방성 박막 내에서의 다중반사 효과를 반영하여 여러 층의 등방성 박막들과 이방성 박막들이 섞여 있는 시료의 유효반사계수 표현들과 타원상수 표현들을 제시함으로써 시료면에 수직한 방향으로 균일하지 않은 단축이방성 분포를 가진 시료의 광학이방성을 여러 개의 단축이방성 박막으로 나누어 분석할 수 있도록 하였다.

• 한국광학회지
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• 제24권2호
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• pp.92-98
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• 2013

회전검광자 방식의 타원계 구조에 기초하여 두꺼운 막들 내부에서 일어나는 다중반사에 인한 빛의 세기를 결맞지 않도록 중첩함으로써 결맞음길이보다 두꺼운 막 두 개가 다층박막시료 위에 있을 때 적용되는 타원상수 표현들을 유도하였다. 유도된 표현들을 커버유리와 공기층 아래에 있는 산화규소 박막이 코팅되어 있는 시료의 타원법 분석에 적용하여 그 유용성을 확인하였다.

• 한국정밀공학회지
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• 제21권6호
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• pp.15-21
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• 2004

반도체 제조산업과 나노, 바이오 산업의 비약적 발전에 따라 게이트 산화막(gate oxide)과 같이 반도체 제조공정에서 사용되는 유전체 박막(dielectric film)의 두께는 수 $\mu\textrm{m}$에서 수 nm 에 이르기까지 다양할 뿐 아니라 얇아지고 있으며, 또한 이러한 박막들이 다층으로 복잡하게 적층된 다층 박막의 응용이 높아지는 추세이다. 따라서, 반도체 및 광통신 소자, 발광소자, 바이오 칩 어레이 등과 같은 나노박막을 이용하는 산업에서는 박막의 두께 측정을 더욱 정확하고, 보다 빠르며 효율적으로 측정할 수 있는 박막 두께 측정용 계측기가 요구된다.(중략)

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제17권8호
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• pp.707-712
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• 1996

Growth and changes of electronically conducting polypyrrole (PPy) in the form of thin films polymerized on metal electrodes were investigated by electrochemical and in situ three-parameter ellipsometry methods at the wavelength of 632.8 nm. Although the optical equations produced multiple sets of solution, it was possible to determine a unique set of thickness and the optical constants of a film by auxiliary measurements and/or physical reasoning. The changes in the thickness and the optical properties of the polymers during polymerization and electrochemical oxidation/reduction was successfully followed by the three-parameter ellipsometric technique. The optical properties of the polymers continuously changed as the film grew. The imaginary part of the refractive index of polypyrrole seemed to be dominantly determined by the existence of an absorption band around the visible range.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제12권5호
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• pp.540-544
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• 1991

Thin film being formed on the surface of cobalt in the early stage of electrochemically induced passivation was studied by the three-parameter ellipsometry. The growth of the passive film was complete in a few seconds from the onset of the passivating potential, and was followed by a slight decrease in the thickness in 4-40 seconds. The optical constants of the passive film changed gradually during the changes in the thickness. The thickness and the optical properties at the steady state of passivation depended on the potential of the electrode. From the coulometric data and the optical properties, the composition of the passive films was deduced to be close to those of CoO, ${Co_3}{O_4}$ and ${Co_2}{O_3}$ depending on the potential. Cathodic reduction in the presence of EDTA was found to be an efficient way to obtain film-free reference surface of cobalt.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2003년도 하계학술발표회
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• pp.34-35
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• 2003

광통신 분야에서 광신호의 장거리 전송에 따른 세기 감소를 보강하기 위해 쓰이는 광섬유증폭기는 현재 1.3 $\mu\textrm{m}$ 대역, 1.45 $\mu\textrm{m}$ 대역 및 1.5 $\mu\textrm{m}$ 대역에서 작동하는 희토류 이온 첨가 광섬유 광증폭기가 개발되어 쓰이고 있다. 한편 ETRI에서는 기존 광통신에 쓰이는 광 증폭기에 추가해 더 넓은 파장대를 광통신에 쓸 수 있도록 하는 새로운 파장대역의 광 증폭기 구현을 가능케하고 나아가 광통신 용량을 기존보다 휠씬 더 큰 10 Tbps급 이상으로 늘이기 위해 1.6 $\mu\textrm{m}$ 파장대인 U 밴드대 광증폭기용 광섬유인 Pr 첨가 셀레나이드 유리 조성의 신소재를 개발하였는데, 본 연구에서는 Ge-Sb-Ga-Se 계열의 Pr 첨가 셀레나이드 유리의 굴절률을 분광타원 법 (spectroscopic ellipsometry)을 사용하여 결정하였다. (중략)

• Current Optics and Photonics
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• 제2권2호
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• pp.185-194
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• 2018

Ultra-small optical anisotropy of a rubbed polyimide (PI) alignment layer is quantitatively characterized using the improved reflection ellipsometer. Twisted nematic (TN) cells are fabricated using the rubbed PIs of known surface anisotropy as alignment layers. Distribution of liquid crystal (LC) molecules in the TN cell is characterized using transmission ellipsometry. The retardation of the rubbed PI surface increases as rubbing strength increases. The tilt angle of the optic axis of the rubbed PI surface decreases as rubbing strength especially as the angular speed of the rubbing roller increases. Pretilt angle of LC molecules in the TN cell shows strong correlation with tilt angle of the optic axis of the rubbed PI surface. Both the apparent order parameter and the effective twist angle of the LC molecules in the TN cell decrease as the pretilt angle of LC molecules increases.