DC, RF 마그네트론 코스퍼터링법으로 증착한 ZTO/GZO 투명전도성막의 열처리 조건이 박막의 물성에 미치는 영향 (Effect of Annealing on the Electrical Property and Water Permeability of ZTO/GZO Double-layered TCO Films Deposited by DC, RF Magnetron Co-sputtering)
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- 한국표면공학회지
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- 제45권3호
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- pp.117-122
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- 2012