• 제목/요약/키워드: Surface roughness

검색결과 5,162건 처리시간 0.05초

O2/SF6, O2/N2와 O2/CH4 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트 건식 식각 (Dry etching of polycarbonate using O2/SF6, O2/N2 and O2/CH4 plasmas)

  • 주영우;박연현;노호섭;김재권;이성현;조관식;송한정;전민현;이제원
    • 한국진공학회지
    • /
    • 제17권1호
    • /
    • pp.16-22
    • /
    • 2008
  • [ $O_2/SF_6$ ], $O_2/N_2$ 그리고 $O_2/CH_4$의 혼합 가스를 이용하여 폴리카보네이트의 플라즈마 식각을 연구하였다. 플라즈마 식각 장비는 축전 결합형 플라즈마 시스템을 사용하였다. 폴리카보네이트 식각은 감광제 도포 후에 UV 조사의 포토리소그래피 방법으로 마스크를 제작하여 실험하였다. 본 식각 실험에서는 $O_2$와 다른 기체와의 혼합비와 RIE 척 파워 증가에 따른 폴리카보네이트의 식각 특성 연구를 중심으로 하였다. 특히 건식 식각 시에 사용한 공정 압력은 100 mTorr로 유지하였으며 공정 압력은 기계적 펌프만을 사용하여 유지하였다. 식각 실험 후에 표면 단차 측정기, 원자력간 현미경 그리고 전자 현미경 등을 이용하여 식각한 샘플을 분석 하였다. 실험 결과에 의하면 폴리카보네이트 식각에서 $O_2/SF_6$의 혼합 가스를 사용하면 순수한 $O_2$$SF_6$를 사용한 것보다 각각 약 140 % 와 280 % 정도의 높은 식각 속도를 얻을 수 있었다. 즉, 100 W RIE 척 파워와 100 mTorr 공정 압력을 유지하면서 20 sccm $O_2$의 플라즈마 식각에서는 약 $0.4{\mu}m$/min, 20 sccm의 $SF_6$를 사용하였을 때에는 약 $0.2{\mu}$/min의 식각 속도를 얻었다. 그러나 60 %의 $O_2$와 40 %의 $SF_6$로 혼합된 플라즈마 분위기에서는 20 sccm의 순수한 $O_2$에 비해 상대적으로 낮은 -DC 바이어스가 인가되었음에도 식각 속도가 약 $0.56{\mu}m$/min으로 증가하였다. 그러나 $SF_6$ 양의 추가적인 증가는 폴리카보네이트의 식각 속도를 감소시켰다. $O_2/N_2$$O_2/CH_4$의 플라즈마 식각에서는 $N_2$$CH_4$의 양이 각각 증가함에 따라 식각 속도가 감소하였다. 즉, $O_2$$N_2$$CH_4$의 혼합은 폴리카보네이트의 식각 속도를 저하시켰다. 식각된 폴리카보네이트의 표면 거칠기 절대값은 식각 전에 비해 $2{\sim}3$ 배정도 증가하였지만 전자현미경으로 표면을 관찰 하였을 때에는 식각 실험 후의 폴리카보네이트의 표면이 깨끗한 것을 확인할 수 있었다. RIE 척 파워의 증가는 -DC 바이어스와 폴리카보네이트의 식각 속도를 거의 선형적으로 증가시켰으며 이 때 폴리카보네이트의 감광제에 대한 식각 선택비는 약 1:1 정도였다. 본 연구의 의미는 기계적 펌핑 시스템만을 사용한 간단한 플라즈마 식각 시스템으로도 $O_2/SF_6$의 혼합 가스를 사용하면 폴리카보네이트의 미세 구조를 만드는데 사용이 가능하며 $O_2/N_2$$O_2/CH_4$의 결과에 비해 상대적으로 우수한 식각 조건을 얻을 수 있었다는 것이다. 이 결과는 다른 폴리머 소재 미세 가공에도 응용이 가능하여 앞으로 많이 사용될 수 있을 것으로 예상한다.

마이크로 머시닝을 위한 고농도로 붕소가 도핑된 실리콘 층의 부정합 전위의 억제 (Suppression of misfit dislocations in heavily boron-doped silicon layers for micro-machining)

  • 이호준;김하수;한철희;김충기
    • 전자공학회논문지A
    • /
    • 제33A권2호
    • /
    • pp.96-113
    • /
    • 1996
  • 고농도로 붕소가 도핑된 실리콘층 내에 존재하는 부정합 전위는 웨이퍼 가장자리에서 발생됨을 알았으며, 이 층을 도핑되지 않은 영역으로 둘러쌓음으로써 부정합 전위가 억제된 고농도로 붕소가 도핑된 실리콘층을 형성할 수 있었다. 이를 이용하여 부정합 전위가 없는 고농도로 붕소가 도핑된 실리콘 멤브레인을 제작하였으며, 이 멤브레인의 표면 거칠기 및 파괴 강도 그리고 잔류 인장 응력을 각각 20$\AA$ 1.39${\times}10^{10}dyn/cm^{2}$ 그리고 2.7${\times}10^{9}dyn/cm^{2}$로 측정되었다. 반면에 부정합 전위를 포함하는 기존 멤브레인은 각각 500$\AA$ 8.27${\times}10^{9}dyn/cm^{2}$ 그리고 9.3${\times}10^{8}dyn/cm^{2}$로 측정되었으며, 두 멤브레인의 이러한 차이는 부정합 전위에서 기인함을 알았다. 측정된 두 멤브레인의 Young's 모듈러스는 1.45${\times}10^{12}dyn/cm^{2}$로 동일하게 나타났다. 또, 도핑 농도 1.3${\times}10^{12}dyn/cm^{3}$에 대한 고농도로 붕소가 도핑된 실리콘의 유효 격자 상수 및 기존 멤브레인의 평면적 격자 상수 그리고 기존 멤브레인 내의 부정합 전위의 밀도는 각각 5.424$\AA$ 5.426$\AA$ 그리고 2.3${\times}10^{4}$/cm 로 추출되었으며, 붕소가 도핑된 실리콘의 부정합 계수는 1.04${\times}10^{23}$/atom으로 추출되었다. 한편 별도의 추가적인 공정없이 일반적인 에피 성장법을 사용하여 고농도로 붕소가 도핑된 실리콘층 위에 부정합 전위가 없는 에피 실리콘을 성장시켰으며, 이 에피 실리콘의 결정성은 매우 양호한 것으로 밝혀졌다. 또 부정합 전위가 없는 에피 실리콘에 n+/p 게이트 다이오드를 제작하고 그 전압-전류 특성을 측정한 결과 5V의 역 바이어스에서 0.6nA/$cm^{2}$의 작은 누설 전류값을 나타내었다.

  • PDF

자외선 조사 무모쥐 피부조직에 도포한 애엽(Mugwort) 추출물의 주름개선 효과 (Antiwrinkle Effects of Mugwort (Artemisia vulgaris) Extracts on UVB-Irradiated Hairless Mouse Skin)

  • 박시향;홍유미;최영준;최진호;김병관
    • 한국식품영양과학회지
    • /
    • 제37권9호
    • /
    • pp.1136-1141
    • /
    • 2008
  • 무모쥐의 등에 애엽 추출물과 아스코르브산 함유 스킨로션을 도포하고 자외선을 조사하여 애엽 추출물과 아스코르브산의 주름 개선 효과를 알아보았다. 애엽 추출물 도포군의 피부조직 두께는 대조군에 비해 $12.5{\sim}21.4%$의 유의적인 감소 효과를 보였다. 표면 거칠기 측정기에 의한 피부 주름의 형성 정도를 측정하는 지표인 Ra값은 ME-1.0, ME-2.0과 ME-5.0 도포군에서 $23.7{\sim}31.1%$로 유의적으로 감소하였고 (p<0.01), Rq치는 ME-1.0, ME-2.0와 ME-5.0에서 $11.2{\sim}21.2%$, Rz의 측정치에서는 ME-1.0(19.8%), ME-2.0(22.1%), ME-5.0(24.5%) 그룹에서 대조군에 비해 크게 감소하였다. Rt치는 ME-1.0, ME-2.0와 ME-5.0 그룹에서 농도 증가에 따라 14.2%에서 22.7%의 유의적인 감소효과가 있었다. 아스코르브산 도포그룹은 애엽과 비슷한 감소효과를 보여주었지만, 애엽의 주름 개선효과에는 미치지 못하였다. MMP-1 활성은 애엽 메탄올 추출물 그룹에서 $19.3%{\sim}22.6%$까지 감소하였고, 콜라겐의 생성은 ME-2.0과 ME-5.0그룹에서 10% 정도의 유의적인 증가 효과가 있었다. 이처럼 애엽 메탄올 추출물은 피부의 광손상에 대한 피부 보호 및 피부의 주름 개선효과가 탁월하고, 또한 강력한 항산화제인 아스코르브산보다 그 효과가 우수하여 피부노화 현상과 주름 개선을 위한 기능성 화장품 소재로 이용가치가 있을 것으로 여겨진다.

Collar design이 임플랜트 주위 변연골 흡수에 미치는 영향 (The influence of Collar design on peri-implant marginal bone tissue)

  • 김지환;정문규;문홍석;한동후
    • 대한치과보철학회지
    • /
    • 제46권1호
    • /
    • pp.53-64
    • /
    • 2008
  • 임플랜트 주위 변연골의 흡수는 임플랜트의 기능적 및 심미적 성공에 큰 장애가 되는 요인이다. Adell은 임플랜트에 지대주 연결 후 첫 1년간 평균적으로 1.5mm의 변연골 소실을 보이고, 이 후에는 매년 0.1mm이하의 변연골 흡수가 있었다고 하였다(Adell et al.,1981). 이러한 변연골 흡수를 막기위한 많은 노력들이 행해져 왔다. 특히 임플랜트 collar의 특징에 따라서 변연골의 흡수가 달라질 수 있다. 본 연구의 목적은 임플랜트 collar에서의 laser microtexturing(microgroove)이 변연골 흡수에 미치는 영향에 대해 알아보고자 하는 것이다. 4종류의 임플랜트 총 101개를 식립한 환자 53명에서 임플랜트 식립시부터 보철물 장착한 후 평균 6개월 후 정기 검사 시까지의 임플랜트 주위 변연골의 흡수를 측정하여 비교하였다. 생물학적 폭경을 충분히 확보한 임플랜트(ITI standard)와 생물학적 폭경이 부족한 임플랜트 (ITI esthetic plus, Silhouette IC Laser-$Lok^{TM}$, Silhouette IC)에서 변연골 흡수의 차이를 비교하였고, 임플랜트 주위 변연골의 흡수에 대한 laser를 이용한 미세나사산의(Silhouette IC Laser-$Lok^{TM}$) 영향을 알아보았다. 다음의 결과를 얻었다. 1. ITI standard와 Silhouette IC Laser-$Lok^{TM}$ 이 ITI esthetic plus 와 Silhouette IC 보다 임플랜트 주위 변연골의 흡수가 적었고 (p<0.05), ITI standard 와 Silhouette IC Laser-$Lok^{TM}$ 사이에는 변연골의 흡수가 유의차가 없었고(P>0.05), ITI esthetic plus와 Silhouette IC 사이에도 변연골의 흡수가 유의차가 없었다(P>0.05). 2. 사용된 임플랜트 전체에 대한 상하악의 비교에서는 상하악 사이에서 임플랜트 주위 변연골의 흡수는 통계학적으로 유의한 차이가 없었다(p>0.05). 3. 흡수각도에 대한 비교에서도 4종류 임플랜트 그룹 간에 통계학적으로 유의한 차이는 없었다(P>0.05). 본 연구에서 제한이 있긴 하지만, 임플랜트 디자인에서 생물학적 폭경이 부족한 경우(ITI esthetic plus, Silhouette IC)에는 생물학적 폭 경 보상을 위한 임플랜트 주위 변연골의 흡수가 있었음을 보여주고 있으나, laser를 이용한 microgroove 가 부여된 임플랜트에서는 collar의 거칠기와 laser microtexturing 등의 특징에 의해 임플랜트 주위 변연골의 흡수가 적게 일어난 것이 관찰되었다. 심미적인 요구도가 높은 전치부에서 충분한 생물학적 폭경이 확보된 임플랜트를 식립할 경우 변연골의 흡수에 따른 치은퇴축에 의해 metal collar의 노출이 우려되기에 충분한 생물학적 폭경이 부여되지 않은 임플랜트를 선정하게 되는데 이때 collar에서의 laser microtexturing은 변연골의 유지에 도움이 되었다. 이것은 조직의 단단한 부착으로 인한 안정화로 추정해 볼 수 있는데, 이에 대해서는 더 장기간의 연구와 더 많은 수의 임플랜트를 대상으로 한 연구와 조직학적인 연구도 필요할 것으로 사료된다.

덕유산(德裕山) 국립공원(國立公園) 등산로(登山路)의 환경훼손(環境毁損)에 대(對)한 이용영향(利用影響) (User's Impacts on Environmental Deteriorations of Trail in Tôkyusan National Park)

  • 서병수;김세천;박종민;이창헌;이규완
    • 한국산림과학회지
    • /
    • 제83권3호
    • /
    • pp.286-298
    • /
    • 1994
  • 본(本) 연구(硏究)는 덕유산(德裕山) 국립공원(國立公園)에서 가장 많이 이용되고 있는 매표소 백련사 향적봉-동엽령-칠연폭포 코스를 조사 대상지로 선정하여 조사 대상지를 매표소-백련사, 백련사-향적봉, 향적봉-동엽령, 동엽령-칠연폭포 등 4개 구간으로 구분하고 각 구간에서 등산로(登山路)의 훼손실태(毁損實態)와 향적봉(香績峯) 정상일대의 자연환경(自然環境) 훼손실태(毁損實態) 등을 조사(調査) 분석(分析)하였는 바, 그 결과(結果)를 요약하면 다음과 같다. 1. 매표소-백련사, 향적봉-동엽령, 동엽령-칠연폭포 구간은 경사가 완만한 편이나, 백련사-향적봉 구간은 $30^{\circ}$이상의 험준한 지형(地形)을 이루고 있다. 이용량(利用量)에 의한 이용강도(利用强度)는 매표소-백련사 구간은 "매우 강(强)하다", 백련사-향적봉 구간은 "강(强)하다", 향적봉-동엽령 구간은 "약(弱)하다"로 구분할 수 있었고 동엽령-칠연폭포 구간은 자연휴식년제(自然休息年制) 실시로 "이용하지 않는" 상태이다. 2. 등산로폭(登山路幅)은 전체 평균 4.3m이고 이용강도(利用强度)가 강(强)할수록 넓게 나타났으며, 백련사-향적봉 동엽령 구간에서는 배수불량지(排水不良地), 급경사지(急傾斜地) 등에서 등산로가 분기(分岐)되는 현상이 나타났다. 3. 등산로(登山路)의 평균 최대 침식(侵蝕) 깊이와 횡단면적(橫斷面積)은 백련사-향적봉 구간에서 각각 103.8cm, $42,972.9cm^2$로 최대치를 나타내었고, 등산로의 측면(測面) 붕괴(崩壞)도 가장 많아 이 구간의 침식(侵蝕)이 가장 심(甚)한 상태였다. 4. 백련사-향적봉 구간의 등산로는 바위와 라출근(裸出根)이 60%이상을 차지하고 있어서 노면(路面)의 상태가 대단히 불량(不良)하였다. 5. 토양(土壤)의 이화학적(理化學的) 성질(性質) 중 토양경도(土壤硬度), pH, 치환성염기(置換性鹽基)이온 (Na, K, Ca, Mg) 등은 등산로(登山路) 토양(土壤)에서 높았고 토양함유량(土壤含有率), 유기물함량(有機物含量), 전질소(全窒素), 유효인산(有效燐酸), C.E.C 등은 산림지(森林地) 토양(土壤)에서 높게 나타나 탐방객의 답압(踏壓)에 의한 영향이 뚜렷하였다. 또한 이용강도에 따른 변화가 뚜렷한 것은 토양경도는, 함수율, 유기물과 전질소 함량으로서 이중 토양경도는 이용강도가 증가할수록 높았고, 나머지 성질들은 이용강도가 증가할수록 작은 값을 나타내었다. 6. 정상(頂上)인 향적봉(香績峯) 일대에는 정상부, 헬기장, 야영장을 포함하여 약 $2,000m^2$의 라지(裸地)가 형성(形成)되어 있으며 토양조건(土壤條件)이 매우 불량(不良)한 상태이다. 7. 등산로의 환경훼손(環境毁損)을 유발하는 주요인은 이용강도(利用强度)와 지형적 특성(특히 경사도(傾斜度))인 것으로 나타났다. 8. 동엽령-칠연폭포 구간에서 자연휴식년제(自然休息年制) 실시의 효과(效果)가 부분적으로 인정되었다.

  • PDF

맥문동 혼합 하이드로콜로이드막의 제조 및 화상치료 효능평가 (Therapeutic Effect of Hydrocolloid Membrane Containing Liriope platyphylla Extracts on the Burn Wounds of SD Rats)

  • 이은혜;고준;김지은;고은경;송성화;성지은;박찬규;이현아;황대연
    • 생명과학회지
    • /
    • 제25권5호
    • /
    • pp.523-532
    • /
    • 2015
  • 맥문동(Liriope platyphylla)은 염증(inflammation), 당뇨(diabetes), 신경퇴행성질환(neurodegenerative disorder), 비만(obesity), 변비(constipation), 아토피질환(atopic dermatitis) 등의 다양한 임상질환에 매우 우수한 치료효과를 나타내는 것으로 알려져왔다. 또한, 하이드로콜로이드막(hydrocolloid membranes, HCM)은 피부경화증 피부궤양(scleroderma skin ulcers), 피부궤양(cutaneous ulcers), 영구적 고막천공(permanent tympanic membrane perforations), 욕창(pressure sores), 욕창궤양(decubitus ulcers)과 같은 피부질환 치료에 많이 사용되고 있다. 따라서 본 연구에서는 기능성이 우수한 맥문동 추출물을 HCM에 혼합하여 맥문동 혼합 하이드로콜로이드막(HCM-LP)을 제조하고, 물리화학적 특성을 분석한 뒤 2도 화상을 유발한 SD 랫드에 14일 동안 처리하여 치료효과를 분석하였다. 그 결과, 일반 하이드로콜로이드막(HCM)에 비하여 HCM-LP에서 인장강도와 흡수성은 각각 38.4%, 46.3% 감소하였으나 표면거칠기는 38.1% 증가하였다. 화상을 유발한 SD 랫드에서 HCM-LP를 처리한 결과, 화상 유발 14일 후에 HCM-LP처리그룹은 GZ처리그룹에 비하여 유의적으로 화상크기 감소를 나타내었을 뿐만 아니라 흉터감소, 재상피화, 신생혈관형성 그리고 세포외기질의 침적을 유도하였다. 따라서 이러한 결과는 HCM-LP가 신생혈관형성과 연결조직형성 조절을 통해 SD 랫드에서의 화상 치료를 향상시킴을 의미한다. 또한, 본 연구는 HCM-LP가 피부상처의 치료에 적용할 수 있는 다른 기능성 물질을 포함하는 HCM의 개발에 대한 가능성을 제시하고 있다.

짧은 티타늄 지대주에 합착된 CAD/CAM 금속 코핑의 시멘트 종류에 따른 유지력 비교 (Retention of CAD/CAM Metal Copings Cemented on Short Titanium Abutments with Different Cements)

  • 김효정;송은영;윤지영;이시호;이용근;오남식
    • 구강회복응용과학지
    • /
    • 제28권2호
    • /
    • pp.119-126
    • /
    • 2012
  • 시멘트 유지 임플란트 지지 수복물은 치과 치료에 일상적으로 사용된다. 임플란트와 지대주 나사연결의 안정적인 견고함과 골유합 임플란트의 높은 생존율로 인해 높은 강도를 가진 시멘트의 사용이 점차 늘어나고 있다. 그러나 CAD/CAM을 이용하여 제작한 금속 코핑의 유지력에 대해 이용할 수 있는 임상 자료가 없다. 네 종류의 시멘트를 이용하여 티타늄 지대주와 CAD/CAM을 이용하여 제작한 금속 코핑의 유지력을 평가하는 것과 시멘트 유지력에 대한 sandblasting의 효과를 알아보고자 함이다. 40개의 티타늄 지대주 블록(Innovium, 세라젬바이오시스, 대한민국)을 제작하여 네 그룹으로 나누었다. 40개의 금속 코핑을 CAD/CAM을 이용하여 제작하고 금속 코핑의 교합면 상방부에 유지력 테스트를 위해 구멍을 형성하였다. 네 종류의 시멘트는 Fujicem(Fuji, Japan), Maxcem Elite(Kerr, USA), Panavia F2.0(Kurarary, Japan), Superbond C&B(Sunmedical, Japan)이다. 금속 코핑과 티타늄 지대주를 제조사의 지시대로 시멘트 혼합하여 합착하고 100% 습도 하에 37도에서 24시간 동안 보관 후 유지력 테스트하였다. 유지 실패가 발생하는 힘을 newton으로 기록하고 실패의 양상 또한 기록하였다. 유지력의 평균과 표준 편차를 ANOVA와 Paired t-test 로 통계분석하였다. Panavia F2.0이 Fujicem과 Maxcem Elite보다 통계적으로 유의하게 높은 유지력을 보였다(p<0.05). Sandblasting이 모든 시멘트에서 유의하게 유지력을 증가시켰다(p<0.05). 유지력 실패의 양상은 대부분의 시멘트가 금속 코핑 내부에 남아있는 접착성 실패였다. 본 연구의 한계 내에서 Panavia F2.0이 Fujicem이나 Maxcem Elite보다 통계적으로 유의하게 큰 유지력을 보였고(p<0.05), Fujicem과 Maxcem Elite는 유지력의 차이를 보이지 않았다. Sandblasting처리는 모든 실험군에서 유지력의 향상을 보였다. 따라서 임플란트 지대주에 합착된 금속 코핑의 유지력은 표면 거칠기와 시멘트의 종류에 영향을 받는다.

사과의 이상적인 크기와 소비자 기호도 결정인자 분석 (Identification of ideal size and drivers for consumer acceptability of apple)

  • 정희연;김상숙
    • 한국식품저장유통학회지
    • /
    • 제21권5호
    • /
    • pp.618-626
    • /
    • 2014
  • 소비자들이 좋아하는 사과의 특성을 도출하고자 국내의 주된 사과 2품종(일반후지, 로얄후지), 6크기별(3D : 30~39개/15 kg; 4D : 40~49개/15 kg; 5D : 50~59개/15 kg; 6D : 60~69개/15 kg; 7D : 70~79개/15 kg; 8D : 80~89개/15 kg), 총 12사과시료에 대한 이화학 특성분석 및 소비자검사를 수행하였다. 사과의 이화학적특성분석 결과 일반후지 품종이 로얄후지 품종에 비해 pH, 껍질의 색도 a값(붉은 정도)는 낮고 경도, 산도, 당도, 과육의 색도 b값(노란 정도)이 높은 경향이 있었다. 소비자들이 생각하는 이상적인 사과의 특성은 본 실험에 사용된 사과보다 사과향, 사과맛, 신맛, 경도, 아삭거림성, 다즙성이 높았으며, 이상적인 사과의 크기는 4D~5D사이로서 한 개당 254 g~375 g 사이의 무게를 지닌 사과였다. 전반적으로 로얄후지에 비해 일반 후지의 기호도가 더 높았다. 기호도 항목(외관, 향, 맛, 조직감)중, 사과의 전반적인 기호도에 가장 상관이 높았던 항목은 맛의 기호도였으며, 조직감, 향, 외관의 기호도 순으로 나타났다. 전반적인 기호도와 외관 기호도간 낮은 상관계수는 외관 기호도만 독립적으로 평가한 본 실험 방법에 일부 기인하였다고 사료되며 이에 대한 확인을 위해 향후 시료제시방법에 따른 추가적인 연구가 필요하다. 소비자들은 외관면에서 윤기 및 붉은색이 강한 큰 사과를 좋아하였으며, 외관에 대한 정보 없이 일정한 크기의 과육만을 제공하여 평가한 소비자 기호도와 상관이 높은 이화학특성은 사과 상부의 껍질 및 과육의 색도 b값(각각 r=0.794, r=0.737), 과육의 경도(r=0.784), pH(r=-0.730)이었으며, 감각특성으로는 사과맛(r=0.984), 아삭거림성(r=0.860), 씹는동안 질김성(r=0.843), 경도(r=0.814), 다즙성(r=0.771), 단맛(r=0.761)으로 나타났다. 즉, 본 연구결과는 소비자들이 선호하는 후지사과의 특성은 중간크기(4D>, >5D)의 사과특유의 맛 및 단맛이 강하고, 아삭거림성, 씹힘성, 경도 및 다즙성이 높으며, 객관적으로는 pH가 낮고, 당도($^{\circ}Brix$)가 높고, 과육이 단단하며, 진한 노란(b value)색의 과육임을 보여주었다.

60 nm 와 20 nm 두께의 수소화된 비정질 실리콘에 따른 저온 니켈실리사이드의 물성 변화 (Property of Nickel Silicide with 60 nm and 20 nm Hydrogenated Amorphous Silicon Prepared by Low Temperature Process)

  • 김종률;박종성;최용윤;송오성
    • 한국진공학회지
    • /
    • 제17권6호
    • /
    • pp.528-537
    • /
    • 2008
  • ICP-CVD를 사용하여 수소화된 비정질 실리콘(a-Si:H)을 60 nm 또는 20 nm 두께로 성막 시키고, 그 위에 전자총증착장치(e-beam evaporator)를 이용하여 30 nm Ni 증착 후, 최종적으로 30 nm Ni/(60 또는 20 nm a-Si:H)/200 nm $SiO_2$/single-Si 구조의 시편을 만들고 $200{\sim}500^{\circ}C$ 사이에서 $50^{\circ}C$간격으로 40초간 진공열처리를 실시하여 실리사이드화 처리하였다. 완성된 니켈실리사이드의 처리온도에 따른 면저항값, 상구조, 미세구조, 표면조도 변화를 각각 사점면저항측정기, HRXRD, FE-SEM과 TEM, SPM을 활용하여 확인하였다. 60 nm a-Si:H 기판 위에 생성된 니켈실리사이드는 $400^{\circ}C$이후부터 저온공정이 가능한 면저항값을 보였다. 반면 20 nm a-Si:H 기판 위에 생성된 니켈실리사이드는 $300^{\circ}C$이후부터 저온공정이 가능한 면저항값을 보였다. HRXRD 결과 60 nm 와 20 nm a-Si:H 기판 위에 생성된 니켈실리사이드는 열처리온도에 따라서 동일한 상변화를 보였다. FE-SEM과 TEM 관찰결과, 60 nm a-Si:H 기판 위에 생성된 니켈실리사이드는 저온에서 고저항의 미반응 실리콘이 잔류하고 60 nm 두께의 니켈실리사이드를 가지는 미세구조를 보였다. 20 nm a-Si:H 기판위에 형성되는 니켈실리사이드는 20 nm 두께의 균일한 결정질 실리사이드가 생성됨을 확인하였다. SPM 결과 모든 시편은 열처리온도가 증가하면서 RMS값이 증가하였고 특히 20 nm a-Si:H 기판 위에 생성된 니켈실리사이드는 $300^{\circ}C$에서 0.75 nm의 가장 낮은 RMS 값을 보였다.

광릉 산림의 플럭스 자료 처리와 품질 관리 (Processing and Quality Control of Flux Data at Gwangneung Forest)

  • 임희정;이영희
    • 한국농림기상학회지
    • /
    • 제10권3호
    • /
    • pp.82-93
    • /
    • 2008
  • 보다 자동화된 방법으로 신뢰성 있는 난류 플럭스의 자료를 생산하기 위해서 Hong and Kim(2002)의 난류 품질 관리 프로그램을 개선하고 개선된 프로그램을 광릉산림에 적용하여 복잡한 산림지역에서 난류 플럭스의 특성을 조사하였다. 개선된 프로그램을 이용하여 2005년 1월부터 5월까지 광릉 수목원에 위치한 주 타워의 두 고도(20m와 40m)에서 관측된 난류 자료에 대하여 품질 검사를 실시하였다. 개선전과 비교해 개선된 프로그램은 이상점(outlier)에 해당되는 자료들을 많이 제거하였다. 자료의 품질체계는 4등급(Good, Dubious, Missing, Bad)으로 분류하였으며 본 분석에서 사용된 기간의 자료 중 25%는 결측이었고(Missing 등급), 60%는 Good 등급으로 분류되었다. 고도 별로는 40m에서 관측된 자료가 20m에서 관측된 자료보다 Bad 등급의 자료수가 적었는데 이는 20m가 식생 꼭대기에 인접한 거칠기 아층에 해당하고 또한 풍속도 더 낮은데 기인한다. Bad 등급으로 분류된 자료의 주원인은 낮은 풍속으로 나타났다. 분석 기간 동안의 에너지 수지의 닫힘은 약 40%로 나타났고 이러한 에너지 불균형의 부분적인 이유로는 열 저장항들이 고려되지 않은 점, 토양열 플럭스 측정의 불확실성, 복잡한 지형 등에 의한 국지풍에 의한 이류 등이 복합적으로 작용했을 것으로 생각된다. 광릉에서 발생하는 상향 운동량 플럭스는 국지풍의 발달 시 높은 발생률을 보여 이 둘이 밀접히 관련되어 있음을 나타낸다. 야간에 낮은 음의 $CO_2$ 플럭스가 발생하는 경우에 대하여 평균 시간을 증가시킴에 따른 $CO_2$ flux의 변화를 조사한 결과 평균시간이 10분 이상 증가함에 따라 $CO_2$ flux의 절대값이 빠르게 증가하는 경향을 보였다. 이는 야간에 $CO_2$ 플럭스는 중규모 운동이나 비정상성(nonstationarity) 등의 영향을 많이 받고 있음을 시사한다. 그러므로 야간에 보다 정확한 난류 플럭스 값을 산출하기 위해서는 평균시간의 적절한 조절이 필요할 것으로 보인다.