Preparation and Electrical Properties of $SrTiO_3$ Thin Films by Plasma Enhanced Metal Organic Chemical vapor Deposition
(PE-MOCVD에 의한 $SrTiO_3$ 박막의 제조 및 전기적 특성에 관한 평가)
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- Journal of the Korean Ceramic Society
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- v.33 no.2
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- pp.177-182
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- 1996