$ZrO_2$ is one of the most attractive high dielectric constant (high-k) materials. As integrated circuit device dimensions continue to be scaled down, high-k materials have been studied more to resolve the problems for replacing the EY31conventional $SiO_2$. $ZrO_2$ has many favorable properties as a high dielectric constant (k= 20~25), wide band gap (5~7 eV) as well as a close thermal expansion coefficient with Si that results in good thermal stability of the $ZrO_2/Si$ structure. In order to get fine-line patterns, plasma etching has been studied more in the fabrication of ultra large-scale integrated circuits. The relation between the etch characteristics of high-k dielectric materials and plasma properties is required to be studied more to match standard processing procedure with low damaged removal process. Due to the easy control of ion energy and flux, low ownership and simple structure of the inductively coupled plasma (ICP), we chose it for high-density plasma in our study. And the $BCl_3$ included in the gas due to the effective extraction of oxygen in the form of $BCl_xO_y$ compound In this study, the surface kinetic properties of $ZrO_2$ thin film was investigated in function of Ch addition to $BCl_3/Ar$ gas mixture ratio, RF power and DC-bias power based on substrate temperature. The figure 1 showed the etch rate of $ZrO_2$ thin film as function of gas mixing ratio of $Cl_2/BCl_3/Ar$ dependent on temperature. The chemical state of film was investigated using x-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The characteristics of the plasma were estimated using optical emission spectroscopy (OES). Auger electron spectroscopy (AES) was used for elemental analysis of etched surface.
70년대 유럽의 선진 복지국가의 위기로부터 확산되기 시작한 신자유주의의 이념적 공세는 베를린 장벽이 붕괴되면서 그 정점에 이른 것으로 보인다. 신자유주의는 국제적으로는 국경의 상호 침투를 통한 범세계적 단일 시장의 형성을, 그리고 국내적으로는 시장의 효율성의 극대화를 주창하였다. 공익산업의 민영화는 정부의 시장에 대한 탈규제 조치의 중심적인 정책이었다. 공기업 민영화의 저변에는 경제 환경의 변화에 따라 초기공기업 설립 당시의 필요성이 소멸되었다는 점과 "정부의 실패"라는 말처럼 공기업 경영상의 비효율성이 놓여 있다. 한국이 직면한 공기업 민영화의 과제를 염두에 두고 공익산업의 민영화에 대한 구체적인 사례를 영국과 미국, 칠레의 경험에서 살펴보면 다음과 같은 시사점을 발견할 수 있다. 첫째, 민영화라고 하는 소유구조의 변경이 경쟁의 도입을 위해 반드시 필요한 요건인지에 대한 의문이다 공기업 민영화가 시장에서의 민간 기업 사이의 경쟁체제를 도모하는 것이지만 공기업 위주의 경쟁체제도 가능하기 때문이다. 둘째, 공기업의 경영비효율성의 원인으로 지적되는 대리인 문제는 민간기업 부문에서도 여전히 발생하는 문제이다. 따라서 민영화라고 하는 소유구조의 개편이 문제 해결의 열쇠가 아니라 효율적기업 감시체제를 도입하고, 경영성과에 대한 규율 및 유인체제를 도입함으로써 책임 경영을 실현하는 것이 관건이라고 할 수 있다.
본 논문은 해외직접투자가 임금에 미치는 효과를 1987년부터 1992년에 걸쳐 미국 내 제조업 자료를 통해 살펴보았다. 기존 연구들은 주로 산업별 혹은 기업별 평균임금 자료를 이용함으로써 임금에 영향을 미치는 개인의 특성을 반영하지 못한다는 한계를 가지고 있다. 본 연구에서는 개인별 데이터를 이용하여 개인의 특성이 임금에 미치는 효과를 고려하고 난 후의 해외직접투자의 효과를 추계하기 위하여 두 가지의 서로 다른 추정방법을 채택하였다. (1) 첫 번째 방법은, 개인별 서베이 자료인 CPS 데이터를 이용해 미국 내 제조업의 지역별 산업별 단위 해외직접투자 수준을 직접 임금방정식의 설명변수로 사용하는 방법이고, (2) 두 번째 방법은, 2단계에 걸쳐서 추계되는데, 1 단계에서 CPS 데이터를 이용해 개인의 특성이 배제된 산업별 임금프리미엄을 추정한 후, 이렇게 추정된 산업별 입금프리미엄을 2단계에서 종속변수로 사용하여 해외직접투자 수준을 다른 산업특성변수와 함께 설명변수에 포함시켜 추정하는 방법이다. 기존의 연구들이 일반적으로 해외직접투자 수준과 근로자 임금 사이에 유의미한 양의 관계를 발견하고 있는 것과는 달리, 본 논문의 분석에서는 두 자지 방법 모두에서 이러한 관계가 관찰되지 않는다. 특히 두 번째 방법을 사용하여 고졸 이상의 학력을 취득한 노동자의 임금만을 따로 분석한 경우, 해외직접투자 수준과 임금프리미엄 사이에는 오히려 부의 관계가 존재하는 것으로 나타났다.
본(本) 연구(硏究)는 밤 생산농가(生産農家)의 경영실태분석(經營實態分析)을 통(通)하여 산촌주민(山村住民)의 소득향상(所得向上)에의 기여(寄與)와 정책수립(政策樹立)을 위한 기초자료(基礎資料)의 제공(提供)에 그 목적(目的)이 있으며 밤 생산농가(生産農家) 145호(戶)를 대상(對象)으로 경영실태(經營實態)를 분석(分析)한 결과(結果)는 다음과 같다. 1. 산림부산물(山林副産物)의 생산(生産)이 농가경제(農家經濟)에서 차지하는 비중(比重)은 대단치 않으나 상대적(相對的)으로 소득수준(所得水準)이 낮은 산촌주민(山村住民)들의 소득원(所得源)이라는 점(點)에서 중요성(重要性)을 갖는다. 2. 경영규모별(經營規模別) 면적(面積)은 0.5-1.0ha미만(未滿)의 밤나무림(林)이 50.0%, 1.0-3.0ha미만(未滿)의 밤나무림(林)이 40.3%로서 전체(全體)의 90.3%를 차지하고 있어 이러한 경영규모(經營規模)의 영세성(零細性)은 경영정상화(經營正常化)와 합리화(合理化)를 이루지 못하는 주요인(主要因)이 되므로 규모(規模)의 경제성(經濟性)을 이룩해야 한다. 3. 밤나무림(林) 경영(經營)에 대한 애로사항(隘路事項)은 노동력(勞動力) 부족(不足)(38.5%), 병충해구제(病蟲害驅除)의 어려움(24.8%), 낮은 경제성(經濟性)(15.2%), 관리(管理)의 어려움(11.7%), 입지조건불량(立地條件不良)(5.9%), 기술습득(技術習得)의 어려움 (3.8%)의 순(順)으로 나타났다. 4. 저장시설(貯藏施設)에 대(對)해서는 조사농가(調査農家)의 87.6%가 필요성(必要性)을 인식(認識)하고 있었으나, 조사농가의 12.4%만이 저장시설(貯藏施設)을 보유(保有)하고 있는 것으로 나타나, 농가(農家)가 투자(投資)하기 어려운 저온저장시설(低溫貯藏施設)을 산림조합(山林組合)에서 투자(投資)하여 생산자(生産者)의 수취가격(收取價格)을 올릴 수 있도록 해야한다.
High-k materials have been paid much more attention for their characteristics with high permittivity to reduce the leakage current through the scaled gate oxide. Among the high-k materials, $ZrO_2$ is one of the most attractive ones combing such favorable properties as a high dielectric constant (k= 20 ~ 25), wide band gap (5 ~ 7 eV) as well as a close thermal expansion coefficient with Si that results in good thermal stability of the $ZrO_2$/Si structure. During the etching process, plasma etching has been widely used to define fine-line patterns, selectively remove materials over topography, planarize surfaces, and trip photoresist. About the high-k materials etching, the relation between the etch characteristics of high-k dielectric materials and plasma properties is required to be studied more to match standard processing procedure with low damaged removal process. Among several etching techniques, we chose the inductively coupled plasma (ICP) for high-density plasma, easy control of ion energy and flux, low ownership and simple structure. And the $BCl_3$ was included in the gas due to the effective extraction of oxygen in the form of $BCl_xO_y$ compounds. During the etching process, the wafer surface temperature is an important parameter, until now, there is less study on temperature parameter. In this study, the etch mechanism of $ZrO_2$ thin film was investigated in function of $Cl_2$ addition to $BCl_3$/Ar gas mixture ratio, RF power and DC-bias power based on substrate temperature increased from $10^{\circ}C$ to $80^{\circ}C$. The variations of relative volume densities for the particles were measured with optical emission spectroscopy (OES). The surface imagination was measured by scanning emission spectroscope (SEM). The chemical state of film was investigated using energy dispersive X-ray (EDX).
우리나라는 국토면적(國土面積)의 약(約) 48%가 사유림(私有林)이나 그 소유규모(所有規模)가 영세(零細)하여 자립경영(自立經營)이 어려운 실정(實情)에 있다. 영세산주(零細山主)의 개별경영(個別經營)을 자립경영(自立經營)으로 개선(改善)하기 위해서는 다른 개별경영(個別經營)들과 결합(結合)하여 경영규모(經營規模)를 확대(擴大)하는 협업경영(協業經營)이 요청(要請)되었다. 사유림(私有林) 협업경영(協業經營)은 각자(各者) 산주(山主)가 확보(確保)하고 있는 임업생산요소(林業生産要素)들 (임지(林地), 노동(勞動), 자본(資本))을 일정(一定)한 질서(秩序)에 따라 상호결합(相互結合)하여 공동화(共同化)하는 것이다. 임지(林地)의 공동경영(共同經營)을 위해서는 협업영림계획(協業營林計劃)이 필요(必要)하고 노동(勞動)의 공동화(共同化)를 위해서는 직업적(職業的)인 산림작업단(山林作業團)이 육성(育成)되어야 하며 자본재(資本財)의 협업화(協業化)를 위해서는 임업생산용구(林業生産用具)들을 공동(共同)으로 확보(確保)하여 운용(運用)하여야 한다. 산주(山主)들의 협업경영(協業經營)이 이론적(理論的)으로 영세산주(零細山主)들에게 유리(有利)하다고 하지만 농촌(農村)과 도시(都市)에 분산(分散)되어 거주(居住)하고 있는 산주(山主)들이 자신(自身)들의 준비(準備)로서 협업경영체(協業經營體)를 결성(結成)하기에는 어려움이 있으므로 국가적(國家的) 차원(次元)에서 협업경영체(協業經營體) 육성(育成)을 위한 집약적(集約的)인 홍보(弘報) 및 지도사업(指導事業)이 요청(要請)되며 재정적(財政的)인 지원(支援)도 수반(隨伴)되어야 한다.
The purpose of this study is to identify what are the common characteristics which enable the information management offices of research institutes to provide information services with their companies in effective ways, and furthur, in other to clarify what factors helf the improvement of effectiveness of information services. I have made on-the-spot investigations for the confirmation of present conditions of information service units of research institutes, their statistic data, and their managerial state. I have restricted my research to 36 information service units, as research targets, which are located in Changwon, Choongchong, and Kyongin areas as the reason mentioned in the introduction, and from their research data they keep, I have classified the top 10 information service units as Group A which show the most frequent use or application frequency of research data per a researcher, where as the lowerest 10 information service units are classified as Group B by the same evaluation of application frequency of their data. Then, the result of the comparision between Group A which provide high information services in effective ways and Group B which provide low information services with poor management leads me to identify the following characteristics in terms of the analyses of utilization of the data they process: 1. Those information service units in Group A have more volumes of books and information data, and annual increasing rates of books and informations are higher than those of Group B. 2. The regulations of book circulation in Group A are prescribed for the benefits of users, and if a long-term loan is not permitted, they are allowed to borrow more books at a time than in Group B. 3. The proportion of librarians to researchers is high, the librarians' career is long and their professional education background (the rate of librarians who majored in library science and information) is high In Group A. 4. Most of the directors of information service units are those who majored library science and information, and for the most part, librarians are promoted to the directors of information service units in Group A. 5. The information service units are managed directly under the directors of research institutes in their organization in Group A. 6. The information service units offer an education for information utilization to researchers as one of their managerial programs, and the contents of education are diverse, rich and informative in Group A. 7. The kinds of informations are various in Group A such as, SDI, prompt reports of contents of new informations, circulation of newly published publications, translation service, information analyses, critical reviews, etc. 8. The information service units in Group A have joined various cooperative systems which are aimed at cooperation, co-ownership of resources and informations. These findings lead me to argue that the hypothesis suggested in the introduction of this thesis has been proved without exception.
방송에서 공공성이 중요한 이유는 제반 사회에 존재하는 다원적 가치와 그것을 유통시키는 전파의 유한 희소성 때문이다. 방송 전파는 제한되어 있지만 다양한 사회적 가치는 자유롭게 유통되어야 한다. 이것이 방송 공공성의 핵심이다. 방송 공공성의 전제조건은 방송 규제기구와 방송사업자의 자율과 독립이다. 이 연구에서는 방송의 정치적 독립성 문제를 집중 검토하였다. 최근 MBC 피디 체포와 YTN 노조위원장 구속 사태는 아직도 한국사회에서 방송의 정치적 독립성이 심각한 문제임을 보여준다. 지난 2001년 출범한 통합방송위는 사회조합주의 방송 규제기구였다. 2008년 출범한 방송통신위는 국가기구에 가깝다. 공영방송과 방송통신위의 독립성을 강화하는 것이 현 단계 한국 민주주의의 핵심 과제다. 이 논문에서는 한국 방송에 대한 시민의 인식을 확인해 보기 위해 여론 조사를 실시했다. 결과를 보면 일반인과 전문가 집단 모두 현재 방송 독립성이 심각하게 침해받고 있다고 답했다. 본 논문에서는 수용자에 대한 조사 결과를 바탕으로 향후 방송의 독립성 유지를 위한 핵심 정책방향으로 사회조합주의 정책의 재구성 및 규제기구와 공영방송의 거버넌스 재편방향을 제안했다.
최근 디지털 데이터가 폭발적으로 증가함에 따라 빅데이터, 데이터시각화, 정보시각화, 인포그래픽 등에 각종 언론매체 및 기관에서 관심을 기울이고 있다. 국내에서는 조선닷컴, 한겨레 신문 온라인판 등에서 데이터 시각화 및 인포그래픽을 선도적으로 다루고 있으며, 국외에서는 영국의 가디언, 월스트리트저널, 뉴욕타임즈 등에서 데이터 시각화 분야에서 두각을 나타내고 있다. 우리나라의 경우 데이터시각화 분야는 아직까지 디자인적인 측면에 중점을 두고 있다. 그러나 최근 주목받고 있는 데이터시각화 프로그램 중 Tableau Public 프로그램을 이용하면 좀 더 효율적인 인포그래픽을 제작할 수 있다. 본 연구에서는 Tableau Public을 통해 데이터 분석 및 인포그래픽을 제작하였다. 인포그래픽 제작을 위해 세계은행 데이터가 사용되었으며, 전세계자동차보유율을 분석하여 두 가지 결과가 도출되었다. 첫째, 고소득국가 그룹에서는 1인당 국민총소득이 증가할수록 기울기는 감소추세를 보였고, 중위소득국가에서는 증가추세를 보였다. 둘째, 기준기간에 비해 금융위기 기간에는 1인당 국민총소득 증가율에 따른 전년대비 자동차보유율 증가율이 1.7배 높게 나타났다. 본 논문에서는 Tableau Public을 이용한 데이터 시각화 사례연구를 통해, 기존 디자인 중심의 인포그래픽 제작환경에서, 향후 데이터 중심의 인포그래픽 제작 설계를 활성화시키고자 하였다. 그리고 더 나아가 데이터 중심의 인포그래픽은 과학적 연구, 그리고 정책결정을 위한 도구로써 널리 이용되어야 할 것이다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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