Atomic layer deposition(ALD) is a promising deposition method and has been studied and used in many different areas, such as displays, semiconductors, batteries, and solar cells. This method, which is based on a self-limiting growth mechanism, facilitates precise control of film thickness at an atomic level and enables deposition on large and three dimensionally complex surfaces. For instance, ALD technology is very useful for 3D and high aspect ratio structures such as dynamic random access memory(DRAM) and other non-volatile memories(NVMs). In addition, a variety of materials can be deposited using ALD, oxides, nitrides, sulfides, metals, and so on. In conventional ALD, the source and reactant are pulsed into the reaction chamber alternately, one at a time, separated by purging or evacuation periods. Thermal ALD and metal organic ALD are also used, but these have their own advantages and disadvantages. Furthermore, plasma-enhanced ALD has come into the spotlight because it has more freedom in processing conditions; it uses highly reactive radicals and ions and for a wider range of material properties than the conventional thermal ALD, which uses $H_2O$ and $O_3$ as an oxygen reactant. However, the throughput is still a challenge for a current time divided ALD system. Therefore, a new concept of ALD, fast ALD or spatial ALD, which separate half-reactions spatially, has been extensively under development. In this paper, we reviewed these various kinds of ALD equipment, possible materials using ALD, and recent ALD research applications mainly focused on materials required in microelectronics.
We have measured nonlinear refractive index and nonlinear absorption coefficient of optical materials by using a far-field phase modulation technique. The phase variation of the probe beam in the nonlinear material is transformed into the spatial phase modulation in the far-field so that the spatial distribution of the optical intensity in conjunction with the computer simulation analysis can give the nonlinear optical constants. We have obtained the nonlinear refractive indices and nonlinear absorption coefficient of $CS_2$ and $BaF_2$ by fitting the experimental values and numerical simulation analysis of far-field measurements. The nonlinear refractive indices of $CS_2$ and $BaF_2$were obtained as $1.2{\times}10^{-11}$ esu and $1.0{\times}10^{-13}$ esu, respectively at 616 nm, and the nonlinear absorption coefficient of BaF$_2$as $5.0{\times}10^{-11}$cm/W at 308nm. These measured values were in good agreement with previous reports.
Journal of the Economic Geographical Society of Korea
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v.12
no.1
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pp.1-18
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2009
The aim of this study is to analyze the characteristics of firms related to products for the elderly. The data are based on statistics, questionnaire surveys and interviews with the persons related to the industry. Firms are classified into $3\times3$ matrix with the indexes of innovation performance and network participation. The former is measured with the number of patents and the latter is evaluated by the degree centrality of firms' network in the industries. Combining the previous indexes with other properties, the 9 categories are merged into 5 types: 'High Performance-High Centrality' (HP-HC), 'Network Leader-Low Technology Manufacturer' (NL-LTM), 'Network Leader-Distributor' (NL-D), 'High Performance-Network Outsider' (HP-NO), 'Low Performance-Isolated' (LP-I). Finally, sectoral and spatial policy implications are explored with the results of analysis.
We conducted the study on the relationship between the distribution of coastal sand dune plants and edaphic factors from the shoreline to inland in sand dune ecosystem. The application of TWINSPAN classification based on 10 species, led to the recognition of three vegetative groups (A-C), which associated with their habitats (foredune, hummuck in semistable zone and stable zone). The associations were separated along soil gradient far from the seashore. The relationships between species composition and environmental gradients were explained by canonical correspondence analysis (CCA). Distance from the shoreline was an important indicator to determine soil properties (pH, total ion contents, sand particle sizes, organic matters and nitrogen contents) from the seaward area to inland area and distribution pattern of coastal sand dune plants. Group A is foredune zone, characterized by Calystegia soldanella; group included typical foredune species such as Elymus mollis, Carex kobomugi, Ixeris repens, C. soldanella and Glehnia littoralis. Group B on semi-stabilized zone was characterized by Vitex rotundifolia, a perennial woody shrub. This group was associated the proportion of fine sand size (100 to 250 μm). The results on the proportion of soil particle size showed a transition in sand composition, particularly with respect to the proportion of fine sand size that occurred from the foredune ridge at 32.5 m to the Vitex rotundifolia community at 57.5 m from the shoreline. Group C on stabilized zone was characterized by Zoysia macrostachya, Lathyrus japonicus and Cynodon dactylon and were associated soil organic matter and nitrogen contents. The spatial distribution of plants in the Goraebul coastal sand dune system may result from the interactions between the plant species and environmental heterogeneity.
Journal of Korean Association for Spatial Structures
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v.7
no.4
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pp.73-78
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2007
The surrounding ground was much transformed by the lateral movement on the soft ground, and consequently the stake basis was damaged. In this case the installed stake is ratted the passive stake, and is actively being researched. When the unevenly distributed load was applied on the stake, and thus the lateral ground pressure was operated, and then the lateral movement was occurred, and consequently the structure is influenced. However, prediction and mechanism for the relationship of piles and abutment deformation is not sufficient. In this paper, coupled three-dimensional finite element analysis, which can be described solid, plate and frame elements at the same time, is developed by the authors. The lateral movement of bridge abutment for the aspect ratio of steel piles on soft clay is clarified by using developed numerical analysis.
Basically a land parcel consists of a land parcel number, land category, land boundary and area, and land value is mostly determined by the land category. Generally people want to change their land use to increase their land value so that they can expect more benefits from the land. However, changing land use causes several problems with land properties, haphazard urban expansions and land category non-coincidences. Unfortunately, no effective solutions exist for land category non-coincidence problems. In this study, we proposed a methodology that can classify the land category based land covers using high resolution satellite images and digital topographic maps. For this, we obtained a parcel based land use/cover classification map. Using both this classification map and a digital cadastral map, we inspected land category non-coincidences. As a result, land category non-coincidence rates could be statistically measured and interpreted and demonstrate a possibility that we could quantitatively interpretate and measure cadastral non-coincidence automatically.
Nowadays, the gas utilities have been increasing constantly due to the expansion of the urban areas. Using computerized information database, the gas companies have developed a gas management system in order to maintain the current status. However, this system can only give basic functions of the maintenance and management of the gas facilities and it has no proper utilities to provide information against accidents from gas leaks. Therefore, a gas accident management system has been developed in this study. Through primary and secondary pipe searching algorithm realtime based management system was devised against gas leaks to propose proper actions. In addition, supporting decision making has been enabled providing estimated maximum amount of gas leaks. Furthermore, all the residential units could be identified thereby minimizing damages through early warning. This system can be expected to contribute to enhance the efficiency of the gas management not to mention of protecting human lives and properties of the nation.
Damages from typhoon events have contributed more than 60 percent of total economic and social loss and the size of loss have been increased up to 800 million dollars per year in Korea, It is therefore necessary to make an effort to mitigate the loss of natural disasters. To facilitate the evaluation of damages in advance and to support the decision making to recover the damages, scientific methods have been adopted. With the effort, GIS data can provide various tools. Three components of hazard mapping are estimation of hazard, inventory for vulnerable features, and fragility of each feature. Vulnerability of natural disaster can be obtained by relation between loss and meteorological data such as precipitation and wind speed. Features can be categorized from other GIS data of public facilities and private properties, and then social and economic loss can be estimated. At this point, GIS data conversions for each model are required. In this study, we build a method to estimate typhoon risk based on GIS data such as DEM, land cover and land use map, facilities.
Demands for a system which enable users to retrieve any kind of geographic and regional information over the Web have been increasing. However, in order to obtain geographic or regional information over the web, users still need to search web pages related to region by inputting keywords and to arrange the searched results with map. We can solve that problem by using the fact that most of geographic and regional information contain geographic keywords related to location. In this paper, we propose a system to retrieve geographic and regional information efficiently. For the purpose, we present a conceptual model based on three layers of "Real-World", "Knowledge", and "Applications", from the web space and construct the above link process. These layers are connected to each other and enable users to navigation information over the linkage. Especially, users can obtain various correlated information about geographic information and properties.
Journal of Korean Society for Geospatial Information Science
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v.13
no.3
s.33
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pp.59-67
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2005
Building information is primary source in many applications such as mapping, telecommunication, car navigation and virtual city modeling. While aerial CCD images which are captured by passive sensor(digital camera) provide horizontal positioning in high accuracy, it is far difficult to process them in automatic fashion due to their inherent properties such as perspective projection and occlusion. On the other hand, LIDAR system offers 3D information about each surface rapidly and accurately in the form of irregularly distributed point clouds. Contrary to the optical images, it is much difficult to obtain semantic information such as building boundary and object segmentation. Photogrammetry and LIDAR have their own major advantages and drawbacks for reconstructing earth surfaces. The purpose of this investigation is to automatically obtain spatial information of 3D buildings by fusing LIDAR data with aerial CCD image. The experimental results show that most of the complex buildings are efficiently extracted by the proposed method and signalize that fusing LIDAR data and aerial CCD image improves feasibility of the automatic detection and extraction of buildings in automatic fashion.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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