• 제목/요약/키워드: Selective area growth

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여러 가지 높이를 갖는 삼각형 구조 InGaAs/GaAs 양자세선 구조 성장 (Growth of Triangular Shaped InGaAs/GaAs Quantum Wire Structure with Various Thicknesses in One Chip)

  • 김성일;김영환;한일기
    • 한국재료학회지
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    • 제14권6호
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    • pp.399-401
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    • 2004
  • InGaAs/GaAs quantum wire structures were grown by low pressure metalorganic chemical vapor deposition by using selective area epitaxy.$ In_{ 0.2}$$Ga_{0.8}$ As/GaAs quantum wire structures were grown on a $SiO_2$ masked GaAs substrate. Quantum wire structures with sharp tips and smooth side walls were grown. We have grown InGaAs/GaAs quantum wire structures using variously opened width of the $SiO _2$ mask. Even though the opening widths of $SiO_2$ masked GaAs substrate were different, similar shapes of triangular structures were grown. Using various kinds of differently opened $SiO_2$ masked area, it would be possible to grow quantum wire structures with various thicknesses. The quantum wire structures are formed near the pinnacle of the triangular structure. Therefore, the fabrication of the uniquely designed integrated optical devices which include light emitting sources of multiple wavelength is possible.

MOCVD를 이용한 비평면구조 기판에서의 GaN 선택적 성장특성연구 (A Study on the Selection Area Growth of GaN on Non-Planar Substrate by MOCVD)

  • 이재인;금동화;유지범
    • 한국재료학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.257-262
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    • 1999
  • MOCVD를 이용하여 $SiO_2$로 패턴된 GaN/sapphire 기판상에서 $NH_3$유량과 성장온도가 GaN 성장의 선택성과 성장 특성에 미치는 영향을 조사하였다. $NH_3$유량을 500~1300sccm, 성장온도를 $950~1060^{\circ}C$로 변화시켜 성장변수에 따른 영향을 주사전자현미경으로 관찰하였다.$NH_3$유량이 증가할수록 성장선택성이 향상되었으나 기판윈도우에서 성장되는 GaN 형상변화에는 큰 영향을 미치지 못하였다. 성장온도가 높을수록 GaN의 성장선택성이 향상됨이 관찰되었다. 패턴 모양을 원형, 선형, 방사선모양(선형 패턴을 30, $45^{\circ}$로 회전)으로 제작하여 GaN 성장을 수행한 후 관찰한 결과 {1101}으로 이루어진 Hexagonal 피라밋 형상과 마스크층 위로의 측면성장을 얻을 수 있었으며, 성장조건에 따른 <1100>와 <1210>의 방향으로의 측면성장속도의 차이를 관찰할 수 있었다.

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InGaN/GaN 양자 우물 구조를 갖는 마이크로 피라미드 구조 발광다이오드의 구현과 광.전기적 특성 분석

  • 김도형;배시영;이동선
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.143-144
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    • 2011
  • 최근 광전자 분야에서는 미래 에너지 자원에 대한 관심과 함께 GaN 기반 발광다이오드에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히 InGaN/GaN 양자 우물 구조는 푸른색, 녹색 발광다이오드 구현에 있어 우수한 물질적 특성을 가지고 있다고 알려져 있다. 하지만 우수한 물질적 특성에도 불구하고 고인듐 고품위 막질 성장의 어려움으로 인해 높은 효율의 녹색 발광다이오드 구현하는 것은 여전히 어려운 실정이다. 이를 극복하기 위한 대안 중에 하나인 선택 영역 박막성장법(Selective Area Growth)은 마스크 패터닝을 통해 열린 영역에서만 박막을 성장하는 방법으로써 인듐 함량을 향상 시킬 수 있는 방법으로 주목 받고 있다. 선택 영역 박막 성장법을 이용하여 GaN를 성장하기 위해 그림 1의 공정을 통하여 n-GaN층 위에 SiO2 마스크를 포토리소그라피와 Reactive Ion Etching (RIE)를 이용한 건식 식각 공정을 통해 형성한 후 Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) 장비를 이용하여 선택적으로 에피를 성장하였다. 성장된 마이크로 피라미드 발광다이오드 구조는 n-GaN 피라미드 구조위에 양자우물 및 p-GaN을 성장함으로써 p-GaN/MQW/n-GaN 구조를 갖는다. 이렇게 생성된 피라미드 구조의 에피를 이용하여 발광다이오드를 제작한 후 그에 대한 전기적, 광학적 특성을 측정하였다. 2인치 웨이퍼의 중심을 원점 좌표인 (0,0)으로 설정하였을 때 2인치 웨이퍼에서 좌표에 해당하는 위치에서의 Photoluminescence (PL) 측정한 결과 일반적인 구조의 발광다이오드의 경우 첨두치가 441~451nm인데 반해 피라미드 구조의 발광다이오드의 경우 첨두치가 558nm~563nm 임을 알 수 있었다. 이를 통해 피라미드 구조 발광다이오드의 경우 일반적인 구조의 발광다이오드에 비해 인듐의 함유량을 증가시킬 수 있다는 것을 알 수 있다. 본 논문에서는 선택 영역 박막 성장법을 이용하여 마이크로 피라미드 InGaN/GaN 양자 우물 구조 구현과 광 전기적 특성에 대해 더 자세히 논의 하도록 하겠다.

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선택영역성장 기술을 이용한 전광 논리소자용 광소자의 제작 및 측정 (Fabrication and Measurement of All-Optical Logic Device by Using Selective Area Growth Technology)

  • 손창완;윤태훈;이석
    • 한국광학회지
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    • 제18권1호
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    • pp.50-55
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    • 2007
  • 본 연구에서는 광통신 시스템에 있어서 필수적인 기능으로 전망되고 있는 전광 논리소자를 구현하기 위한 집적된 광소자를 제작, 측정 하였다. 유기금속화학증착법(MOCVD)을 이용한 선택영역 성장기술을 이용하여 서로 다른 두 활성영역을 한 기판위에 성장함으로써 능동 반도체 광소자인 반도체 광증폭기와 수동 반도체 광소자인 다중모드 간섭 도파로, S-자 도파로를 집적하였다. 집적된 수동 소자부분의 손실을 측정하고 전광 논리소자를 구현하는 방법 중 하나인 반도체 광증폭기의 cross-gain modulation(XGM)특성을 측정하여 집적된 전광 논리소자로의 사용 가능성을 알아보았다.

1차원 InN 단결정 나노선의 구조특성에 대한 고찰 (Structural Characteristic of One Dimensional Single Crystalline of InN Nanowires)

  • 변윤기;정용근;이상훈;최성철
    • 한국세라믹학회지
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    • 제44권4호
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    • pp.202-207
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    • 2007
  • High-Quality 1-Dimensional InN single crystalline have been grown by Halide Vapor-Phase Epitaxy on the Au catalyst coated Si substrate using the vapor-liquid-solid growth mechanism. We have been grown 1-dimension InN nanowires having controlled the growth conditions for substrate temperature and gases flow rate. The grown InN nanowire of characteristics for morphologies, crystal structure, and element analysis were carried out by SEM, HR-TEM, and EDS respectively. And the defects of InN crystalline were analyzed by indexing of selective area diffraction pattern with attached HR-TEM. We have successfully obtained the defect-free 1-dimensional InN single crystalline nanowire at the atmosphere pressure.

Effect of rearing season, host plants and their interaction on economical traits of tropical tasar silkworm, Antheraea mylitta Drury- an overview

  • Bhatia, Narendra Kumar;Yousuf, Mohammad
    • International Journal of Industrial Entomology and Biomaterials
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    • 제29권1호
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    • pp.93-119
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    • 2014
  • Tropical tasar silkworm, Antheraea mylitta (Lepidoptera: Saturniidae) is a polyphagous silk producing forest silkworm of commercial importance in India. Forest dependent people rear its larvae on different forestry host plants twice or thrice in a year for small household income. Larvae of A. mylitta feeds on many forest tree species, but always show a great degree of selectivity as a function of its behavioural responses to physical structure and chemical features of the host plants. Cocoon crop of A. mylitta is influenced by heterogeneity of tasar food plants and climatic conditions of the habitat. The role of host plants, temperature, humidity, rainfall, photoperiod and climatic variables on the growth and development of insects have clearly been demonstrated. This article entails an in-depth analysis on ecological and nutritional aspects of A. mylitta, which may provide selective information to researcher and forest managers, who are particularly associated with livelihood improvement of the poor people in forested area through location specific forest insect industry.

Field Emission from Selectively-patterned ZnO Nanorods Synthesized by Solution Chemistry Route

  • Kim, Do-Hyung
    • 한국재료학회지
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    • 제16권7호
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    • pp.408-411
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    • 2006
  • An effective wet-chemical approach is demonstrated for growing large-area, selectively-patterned, and low-temperature-synthesized ZnO nanorods (ZNRs). The growth of ZNRs was enhanced on a Co layer. The selectivity and density were readily controlled by the control of the temperature when the substrate transfers into aqueous solution. The cross-sectional transmission electron microscopy image shows that single crystalline ZNRs grown along [0001] have good adhesion at interface between ZNRs/substrate. The turn-on field was 4 $V/{\mu}m$ at the emission current density of 1 ${\mu}A/cm^2$. The stable emission was obtained at 0.11 $mA/cm^2$ under 7.2 $V/{\mu}m$ over 10 hr. These results suggest that selectively-patterned ZNRs have the potential for use as field emitters in large-area field emission displays.

MOCVD공정을 이용한 GaAs박막성장의 비선형 표면반응모델에 대한 연구 (A Study on the Non-linear Surface Reaction Model for the GaAs Film Growth During MOCVD Process)

  • 임익태
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제32권3호
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    • pp.181-189
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    • 2008
  • GaAs film growth process from trimethylgallium(TMGa) and tertiary-butylarsine(TBAs) using a horizontal MOCVD reactor was numerically studied to explain the experimental result that the decreasing surface reaction rate as the increasing partial pressure of group III species. Using the non-linear model based on the Langmuir isotherm which considers the adsorption and desorption of molecules, film deposition over the entire reactor scale was predicted by computational fluid dynamics (CFD) with the aid of the parameters obtained from the selective area growth (SAG) technique. CFD Results using the non-linear surface reaction model with the parameters determined from the SAG experiments predicted too high film growth rate compared to the measured values at the downstream region where the temperature was decreased abruptly. The pairs of ($k_s^n$, K) from the numerical simulations was $(2.52{\times}10K^{-6}mol/m^2/s,\;1.6{\times}10^5m^3/mol)$, whereas the experimentally determined was $(3.58{\times}10^{-5}mol/m^2/s,\;6.9{\times}10^5m^3/mol)$.

하동 지역에 서식하는 바지락의 미생물총 분포에 관한 정량 및 정성적 분석 (Quantitative and Qualitative Studies of Commensal Bacterial Flora of Clam, Ruditapes philippinarum in Hadong Area)

  • 김명석;박준효;하재이;허민도;허성회;정현도
    • 한국어병학회지
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    • 제11권2호
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    • pp.143-150
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    • 1998
  • 바지락 조직과 주변 환경에 있는 세균의 특성과 분포를 여러 배지와 온도 그리고 생화학적 동정 kit를 사용하여 비교 분석하였다. 장내, 갯벌, 아가미 그리고 외부체액에 있는 미생물의 집락수는 사용한 BHIA, STA 그리고 SNA 배지에 영향을 받지 않는 것으로 나타났다. 그리고 $15^{\circ}C$ 배양조건에서의 증식속도는 $25^{\circ}C$$35^{\circ}C$의 조건에 비해 느린 것으로 나타났으나 총 세균 집락수는 $15^{\circ}C$에서의 것이 가장 높게 나타났다. 영양배지에서 자란 세균집락을 무작위적으로 선택배지에 옮기면 조직 시료를 직접 도말 한 경우에 비해 높은 비율로 집락형성을 하는 것을 보여 주었다. API 20E와 API 20NE를 사용하여 각 장기 또는 외부에 있는 세균의 종류를 동정한 결과 바지락 조직간에는 서로 유사한 종의 분포를 보이나 주위 환경이 되는 갯벌이나 외부체액에 있는 미생물군의 종류와는 다르게 나타났다. 바지락 주위의 갯벌이나 외부체액의 미생물군은 Pseudomonas 가 주종을 이루고 있는 조직내의 미생물군에 비해서 훨씬 높은 다양성을 보여 주었다. 이러한 결과는 바지락 조직이 주위 환경중의 세균에 대한 선택적 친화력이 있음을 의미한다고 할 수 있다.

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The Effects of Selective Attributes for PB Food of Convenience Store on Purchase and Mouth-to-mouth Intention

  • Kim, Ki-Pyeong
    • 식품보건융합연구
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    • 제3권1호
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    • pp.1-7
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    • 2017
  • The study has made theoretical system by thesis journals at home and abroad, material of the Association of Convenience Store Industry of Korea, materials of Statistics Korea and reference books. First, the study examined convenience store's brand image, cognized value, quality level, reliability upon brand, structural relation of purchasing intention, and designed models and theses. Second, the first questionnaire consisted of test items of precedent study, and inspected in advance to inspect reliability and appropriateness, and made correction and supplemented problems. Third, SPSS and AMOS statistics were used to conduct empirical analysis and to find out conclusion and implications. In this study, the subject was consumers who visited local convenience stores such as GS25, Seven Eleven and CU last 3 months to buy PB food. Consumers' consumption pattern and culture made change to be reasonable and practical owing to aging society, nuclear family, women's entering into the society, one person household consumer, and convenient and prompt buying to make different consumption pattern and to make change of commodity distribution pattern. Convenience store took action against change of the trend to expand business area by new distribution channels to get another growth source. Private brand (PB) food that was distributor's brand was expanded. The PB product has been competitiveness of food service industry.