Ru interfacial layer was inserted into Mo-on-Si interface to enhance the extreme ultra-violet (EUV) reflective multilayer properties. The stacking status and optical properties are analyzed using cross-sectional transmission electron microscope (TEM), and reflectometer. About 1.5% of maximum reflectivity can be acquired as predicted in optical simulation, which is thought to be originated from the diffusion inhibition property. Phase defect correctability of the multilayer can be enhanced by the insertion of Ru barrier layer.
Purpose: This study was performed to examine present health condition on community clients and the degree of cognition on community oriental health promotion program. Method: Research design is cross-sectional descriptive study, 300 residents who live in S city were selected. The period of data collection was from October 2005 to April 2006. The research instruments used were the VAS of fatigue, headache, pain, Depression, anxiety to examine present physical and psychological health condition and questionnaire on the degree of cognition on Oriental Health Promotion Program. SPSS 10.0 was used for statistics. Results: The range of fatigue, headache, pain, depression, anxiety was 2.09-3.75. The degree of cognition on program was 2.67. As for the degree of cognition on oriental health promotion program according to general characteristics of subject, there was significant difference(F=3.79, p=.038) between below 65 years(2.88) and above 65 years(3.12). Conclusion: We are trying to develop oriental health promotion program fit to property of community, especially elderly.
With the improvement of the quality of construction materials and the development of construction technologies, large-scale long-span steel frame buildings have been built recently. The P.E.B system using tapered members is being employed as an economically-efficient long-span structure owing to its advantage of being able to distribute stress appropriately depending on the size of sectional areas of members. However, in December 2005 and in February 2014, P.E.B buildings collapsed due to sudden loads such as snow loads and wind gusts. In this study, the design and construction of the P.E.B system in Korea were analyzed and its structural safety was evaluated using the finite element analysis program to suggest how to improve the P.E.B system in order to promote the efficient and rational application of the system.
Effective length factor approach for framed column design has long played an important design-aid role. This approach, however, is effective only when the columns are in the form of prismatic or uniform cross sections. Structural engineers who have to design or analyse framed columns with variable cross sections need some means to do their job. By using the finite element method, the stability analysis of the isolated compression members with variable cross sections and that of the framed columns are performed. The parameters considered in the stability analysis are taper and sectional property parameters of the columns, the second moment of inertia ratio of beam to column, and beam span to column height ratio. On the basis of the stability analysis results, effective length factor formulas for the columns with variable sections are derived.
When the compression members have the variable cross sections along their member axes, the determination of the elastic critical loads by classical methods becomes impossible and if possible involves complicated calculation only to obtain the approximate values of critical load. In this paper the elastic critical load coefficients of the tapered members with simply supported ends were determined by finite element method. And then the results were represented by simple algebraic equations of two parameters, a( =taper parameter) and m ( = sectional property parameter). One the basis of algebraic equations, the equivalent moment of inertia concept originally proposed by Bleich for a spesific case, are extended to the general cases.
The elastic critical load of a slender compression member plays an important role when the proper design of that member is required. For the tapered compression members, however, there are cases when the conventional neutral equililbrium or energy method can't be applied to the determination of critical loads of those members. In this paper, finite element method is applied to the approximate determination of the symmetrically tapered bars. Here in this paper, the bars are assumed to take sinusoidally changing shapes along their axes. The parameters considered in this study are taper parameter, $\alpha$ and the sectional property parameter, m. The computed results by finite element method are represented in the forms of algebraic equations. Regression technique is employed to determine the coefficients of algebraic equations. The critical loads estimated by the proposed algebraic equations coincide fairly well with those of finite element method.
The elastic critical load of a slender compression member plays an important role when the proper design of that member is required. For tapered compression members, however, there are cases when the conventional neutral equilibrium or energy method can't be applied to the determination of critical loads. In this paper, the finite element method is applied to the approximate determination of the linearly tapered members. In this paper, the bars are assumed to be tapered linearly along their axes. The parameters considered in this study are taper parameter, α and the sectional property parameter, m. The member ends are either hinged or fixed. The computed results using the finite element method are represented in the forms of algebraic equations. The regression technique is employed to determine the coefficients of the algebraic equations. Critical loads estimated by the proposed algebraic equations coincide flirty well with those employing the finite element method.
Carbon nanotube is a geometrical frame-like structure and the primary bonds between two nearest-neighboring atoms act like beam members, whereas an individual atom acts as the joint of the related beam members. The sectional property parameters of these beam members are obtained from molecular mechanics. Computations of the elastic deformation of single-walled carbon nanotubes reveal that the Young's moduli of carbon nanotubes vary with the tube diameter and are affected by their helicity. With increasing tube diameter, the Young's moduli of carbon nanotubes approach the Young's modulus of graphite.
This study aims to detect only voids and estimate the cross-sectional size and thickness of voids using radar. A new method based on radar image processing is carried out with various void sizes and depths. The regression relationship between void size which has different depth and the amplitude characteristics of the radar return is considered in a new method of this research. For the purpose of examining; this regression relationship, experiments with change of void depth, surface area and thickness were carried out. Finally, the threshold value for image processing which aims to represent only voids to be fitted size (width) can be obtained. As the results, a proposed method in this study has a possibility of detecting only voids and estimating void size and thickness with good accuracy.
As and BF$_2$dopants are implanted for the formation of source/drain with dose of 1${\times}$10$^{15}$ ions/$\textrm{cm}^2$∼5${\times}$10$^{15}$ ions/$\textrm{cm}^2$ then formed cobalt disilicide with Co/Ti deposition and doubly rapid thermal annealing. Appropriate ion implantation and cobalt salicide process are employed to meet the sub-0.13 $\mu\textrm{m}$ CMOS devices. We investigated the process results of sheet resistance, dopant redistribution, and surface-interface microstructure with a four-point probe, a secondary ion mass spectroscope(SIMS), a scanning probe microscope (SPM), and a cross sectional transmission electron microscope(TEM), respectively. Sheet resistance increased to 8%∼12% as dose increased in $CoSi_2$$n^{+}$ and $CoSi_2$$p^{V}$ , while sheet resistance uniformity showed very little variation. SIMS depth profiling revealed that the diffusion of As and B was enhanced as dose increased in $CoSi_2$$n^{+}$ and $CoSi_2$$p^{+}$ . The surface roughness of root mean square(RMS) values measured by a SPM decreased as dose increased in $CoSi_2$$n^{+}$ , while little variation was observed in $CoSi_2$$p^{+}$ . Cross sectional TEM images showed that the spikes of 30 nm∼50 nm-depth were formed at the interfaces of $CoSi_2$$n^{+}$ / and $CoSi_2$/$p^{+}$, which indicate the possible leakage current source. Our result implied that Co/Ti cobalt salicide was compatible with high dose sub-0.13$\mu\textrm{m}$ process.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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