The electrical and optical properties of ITO thin films prepared by RF-magnetron sputtering using nano powder target (나노분말 타겟을 이용하여 고주파 마그네트론 스퍼터링으로 제작된 ITO 박막의 전기적 및 광학적 특성)
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- Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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- 2005.07a
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- pp.292-293
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- 2005