• Title/Summary/Keyword: Phase-shifting interferometry

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위상편이 회절격자 간섭계의 가시도 최적화 (Visibility optimization of phase-shifting diffraction-grating interferometer)

  • 황태준;김승우
    • 한국광학회지
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    • 제14권6호
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    • pp.643-648
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    • 2003
  • 위상편이 회절격자 간섭계의 회절격자는 간섭을 일으키는 측정광과 기준광을 분할하고, 재결합하여 간섭무늬를 생성하고, 또한 위상을 편이시키는 다양한 용도로 사용되는 핵심부품이다. 위상편이 회절격자 간섭계는 회절격자에서 회절되는 다양한 회절차수의 광들을 측정광과 기준광으로 선정하고 서로 간섭시켜 간섭무의를 얻을 수 있는데, 그 회절차수와 사용하는 회절격자의 형상에 따라서 측정광과 기준광의 효율이 달라져서 간섭무늬의 가시도가 달라진다. 본 논문에서는 두 가지 위상편이 회절격자 간섭계에서 측정광과 기준광의 상대적인 효율을 격자에서 일어나는 회절현상의 전자기학적인 수치모사를 통해 산출해내어 각 간섭계에 최적인 회절격자의 형상을 선정한다.

Roughness Measurement Performance Obtained with Optical Interferometry and Stylus Method

  • Rhee Hyug-Gyo;Lee Yun-Woo;Lee In-Won;Vorburger Theodore V.
    • Journal of the Optical Society of Korea
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    • 제10권1호
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    • pp.48-54
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    • 2006
  • White-light scanning interferometry (WLI) and phase shifting interferometry (PSI) are increasingly used for surface topography measurements, particularly for areal measurements. In this paper, we compare surface profiling results obtained from above two optical methods with those obtained from stylus instruments. For moderately rough surfaces ($Ra{\approx}500\;nm$), roughness measurements obtained with WLI and the stylus method seem to provide close agreement on the same roughness samples. For surface roughness measurements in the 50 nm to 300 nm range of Ra, discrepancies between WLI and the stylus method are observed. In some cases the discrepancy is as large as 109% of the value obtained with the stylus method. By contrast, the PSI results are in good agreement with those of the stylus technique.

고분해능 원자 현미경 스캐닝 무아레 기법을 이용한 미소 영역의 변형량 측정 (Measurement of Deformations in Micro-Area Using High Resolution AFM Scanning Moiré Technique)

  • 박진형;이순복
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제31권6호
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    • pp.659-664
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    • 2007
  • $Moire\'{e}$ interferometry is a useful technique to assess the reliability of electronic package because $Moire\'{e}$ interferometry can measure the whole-field and real-time deformations. The shear strain of a small crack site is important to the reliability assessment of electronic package. The optical limitation of $Moire\'{e}$ interferometry makes ambiguous the shear strain of a small area. An atomic force microscope (AFM) is used to measure the profile of a micro site. High resolution of AFM can apply to the $Moire\'{e}$ technique. AFM $Moire\'{e}$ technique is useful to measure the shear strain of a small area. In this research, the method to accurately measure the deformation of a small area by using AFM $Moire\'{e}$ is proposed. A phase-shifting method is applied to improve the resolution of AFM $Moire\'{e}$.

생체 지문을 이용한 광학 간섭계에 기반한 안전한 개인키 교환 기법 (Secure private key exchange method based on optical interferometry using biometric finger print)

  • 전석희;길상근
    • 전기전자학회논문지
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    • 제25권1호
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    • pp.42-46
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    • 2021
  • 본 논문은 사용자의 개인키로써 생체 지문을 사용하는 새로운 개인키 교환 암호화 방법을 제안한다. 각각의 사용자의 지문은 광학적 위상천이 간섭 원리에 의해 암호화되어 두 개의 암호문으로 변환되고, 이것은 비밀키 공유를 위해 공중 통신망을 통하여 상대방 사용자와 교환된다. 전송된 암호문은 복소 홀로그램을 생성하고, 이는 각각의 사용자에게 공유비밀키를 계산하는데 사용된다. 제안한 방법은 비밀키 공유 암호화 시스템에 적용하였을 때 매우 높은 보안을 제공할 것이다.

오목 거울 측정용 위상천이 회절격자 간섭계 (Phase-shifting diffraction grating interferometer for testing concave mirrors)

  • 황태준;김승우
    • 한국광학회지
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    • 제14권4호
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    • pp.392-398
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    • 2003
  • 구면 거울을 정밀하고 정확하게 측정할 수 있는 위상천이 회절격자 간섭계를 제시한다. 간섭계는 하나의 회절격자를 이용하여 간섭계의 기준광과 측정광을 분할하고, 다시 결합시켜 간섭무늬를 생성시키고 위상천이 시키는 간단한 구조로 설계되었다. 광원으로부터의 광을 큰 수치구경인 고정도의 집속렌즈의 초점에 위치한 회절격자 위에 집속하여 반사회절된 파면을 기준파면과 측정파면으로 사용한다 부가적인 기준면이 없이 회절격자 위의 매우 작은 영역이 기준면을 대신하므로 시스템 오차가 작다. 광섬유 형태의 공초점현미경 구조를 광원과 집속렌즈 사이에 설치하여 집속렌즈와 회절격자사이의 정렬오차를 최소화 하였다. 회절격자를 광축에 수직한 방향으로 이송함으로써 기준파면과 측정파면사이에 상대적인 위상천이를 일으켜서 일련의 위상천이된 간섭무늬를 쉽게 획득할 수 있다. 간섭계를 제작하고, 결상렌즈와 CCD를 이용해서 얻은 위상천이된 대상구면 거울의 간섭무늬들을 해석하여 전체적인 간섭계 시스템의 성능을 평가해 보았다.

정밀 스캐너를 이용한 간섭 현미경의 가로방향 분해능 향상 (Improved Lateral Resolution of Interferometric Microscope Using Precision Scanner)

  • 박성림;박도민;류재욱;권대갑
    • 한국정밀공학회지
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    • 제15권6호
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    • pp.116-123
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    • 1998
  • An interferometric microscope with an improved lateral resolution is presented. The nanometer resolution XY stage is integrated into standard temporal phase shifting interferometer. The nanometer resolution XY stage is used to position specimen in subpixel of CCD detector, therefore CCD detector's sampling is improved. Two scanning algorithms and those simulation results are also presented. The simulation results show that scanning algorithms improve CCD detector's sampling significantly, and interferometeric microscope's lateral resolution is improved also.

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백색광 위상천이 간섭계를 위한 개선된 삼차원 형상 측정 방법 (Improved 3D Shape Measurement Scheme for White Light Phase Shifting Interferometry)

  • 김경일;이동열;고윤호
    • 대한전자공학회논문지SP
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    • 제47권2호
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    • pp.51-60
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    • 2010
  • 본 논문에서는 백색광 위상천이 간섭계에서 향상된 3차원 형상 정보를 보다 빠르게 얻을 수 있는 새로운 방법을 제안한다. 백색광 위상천이 간섭계는 초정밀 제품의 형상 측정에 사용되는 유용한 방법이다. 첫째, 가시도 함수를 포함하는 간섭신호로부터 3차원 높이 정보를 신속하게 계산할 수 있는 가시도 유효 검출 구간 설정 방법을 제안한다. 둘째, 기존의 백색광 위상천이 간섭계에서 발생하는 전역 기울어짐 현상을 해결하기 위하여 바닥면 데이터 자동 추출 방법과 이를 이용한 최소 제곱 근사화 기반의 바닥 평변 추정 방법을 제안한다. 셋째, 높이의 변화가 큰 경계영역에서의 형상 왜곡인 bat-wing effect를 제거하기 위한 적응 필터 방법을 제안한다. 실험을 통해 제안하는 방법이 기존의 백색광 위상천이 간섭법의 성능을 보다 향상시킴을 보인다.

Proposal for Analog Signature Scheme Based on RSA Digital Signature Algorithm and Phase-shifting Digital Holography

  • Gil, Sang Keun
    • Current Optics and Photonics
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    • 제4권6호
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    • pp.483-499
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    • 2020
  • In this paper, a novel analog signature scheme is proposed by modifying an RSA-based digital signature scheme with optical phase-shifting digital holography. The purpose of the proposed method is generating an analog signature to provide data confidentiality and security during the data transfer, compared to the digital signature. The holographic encryption technique applied to a hash value reveals an analog-type of pseudo-random pattern in the analog signature scheme. The public key and secret key needed to verify the analog signature are computed from public key ciphers which are generated by the same holographic encryption. The proposed analog signature scheme contains a kind of double encryption in the process of generating signature and key, which enhances security level more than the digital signature. The results of performance simulations show the feasibility of the highly secure signature scheme, and security analysis shows high robustness against known-message attacks and chosen-message attacks. In addition, the proposed method can apply to one-time signature schemes which can be used to sign only one message and it can also apply to authentication, e-mails, electronic banking and electronic data interchange.

PSI 디지털 홀로그래피의 간섭 패턴 압축 (Compression of interference patterns of phase-shifting digital holography)

  • 이대현;심재영;이상욱
    • 한국방송∙미디어공학회:학술대회논문집
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    • 한국방송공학회 2010년도 하계학술대회
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    • pp.283-284
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    • 2010
  • 디지털 홀로그래피(holography) 기술은 3차원 물체의 정보를 디지털 영상으로 기록하고 복원하는 기술이다. PSI(Phase-shifting interferometry) 디지털 홀로그래피는 여러 장의 간섭 패턴 영상으로부터 홀로그램(hologram)을 합성하고, 이로부터 3차원 영상을 복원하는 대표적인 기법이다. 본 논문에서는 PSI 디지털 홀로그램 생성에 사용되는 여러 장의 간섭 패턴 영상의 효율적인 압축 기법을 제안한다. 먼저 네 개의 간섭패턴 영상에서 JPEG2000 기반의 비트율-왜곡(rate-distortion) 특성을 분석한다. 이에 기반하여 주어진 비트량을 일정 크기 단위로 사용할 때, 복원 영상의 왜곡을 가장 효과적으로 줄일 수 있는 간섭 패턴 영상에 우선적으로 비트량을 할당한다. 실험을 통하여 제안하는 알고리듬은 네 개의 간섭패턴 영상마다 동일한 비트량을 할당하여 압축하는 기존의 방법에 비해 비트율-왜곡 측면에서 복원 영상의 왜곡을 더 효과적으로 줄일 수 있음을 확인한다.

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통합 프린지 해석 시스템 개발 : 심한 잡음을 포함하는 간섭 이미지 해석용 (Development of Integrated fringe Analysis System: For Severe Noise-ridden Interferometric Image Analysis)

  • 강민구;주원종;차동진;강보선
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제27권11호
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    • pp.1534-1541
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    • 2003
  • A new window-based, user-friendly fringe analysis system is developed, especially for analyzing noisy interferograms. The system integrates three major techniques, that is fringe tracking, Phase shifting, and Fourier transform, into a single shell by employing a unified procedure. Since the system is made in a modular fashion and all processing modules can be shared for any technique, a user can select necessary modules and easily edit the applying order of them based on the user's analysis strategy, which should be changed depending on the noise level of the image. The system provides a high-level GUI and a variety of image handling tools and therefore users can easily access the system and produce the optimal results without giving up in the middle of a process even for severely noise-contaminated interferometric images.