Fabrication and Evaluation Properties of Titanium Sintered-body for a Sputtering Target by Spark Plasma Sintering Process (방전플라즈마 소결 공정을 이용한 스퍼터링 타겟용 타이타늄 소결체 제조 및 특성 평가)
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- Korean Journal of Metals and Materials
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- v.49 no.11
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- pp.845-852
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- 2011