Graphene Formation on Ni/SiO2/Si Substrate Using Carbon Atoms Activated by Inductively-Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition (유도결합 플라즈마 화학기상증착법에 의해 활성화된 탄소원자를 이용한 Ni/SiO2/Si 기판에서 그래핀 성장)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.23 no.1
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- pp.47-52
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- 2013