온도에 따른 $SiO_2$ , $SiN_X$ 게이트 절연막 ITZO 산화물 반도체 트랜지스터 전기적 특성 연구
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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- pp.243.2-243.2
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- 2013