Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2013.08a
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- Pages.243.2-243.2
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- 2013
온도에 따른 $SiO_2$ , $SiN_X$ 게이트 절연막 ITZO 산화물 반도체 트랜지스터 전기적 특성 연구
- Published : 2013.08.21
Abstract
본 실험에서