Investigation of threshold voltage change due to the influence of work-function variation of monolithic 3D Inverter with High-K Gate Oxide (고유전율 게이트 산화막을 가진 적층형 3차원 인버터의 일함수 변화 영향에 의한 문턱전압 변화 조사)
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- Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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- 2022.10a
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- pp.118-120
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- 2022