• 실천공학교육논문지
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• 제10권2호
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• pp.125-129
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• 2018

이 논문은 LTP 퍼니스의 최적화 된 내부 유동과 온도의 균일성에 대한 수치 해석에 관한 것이다. 반도체 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼를 어닐링하기 위한 기능을 수행한다. 특히 챔버 내부의 최고 온도를 약 $400^{\circ}C$의 고온으로 유지하여 웨이퍼를 보강한다. 공정이 고온에서 완료되면 열 교환기를 통해 온도를 낮추고 이를 수행하기 위한 작업이 반복된다. 이 논문에서 최종적인 목표는 LTPS 퍼니스의 유동 해석을 통해 챔버의 단열 공급과 배기 구조의 최적 설계를 도출하는 것과 교육과정 개발을 위한 사례 발굴에 있다.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제46권1호
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• pp.98-106
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• 2009

본 논문에서는 ultra mobile PC (UMPC) 및 휴대용 기기 시스템 같이 고속으로 동작하며 고해상도 저전력 및 소면적을 동시에 요구하는 16M-color low temperature Poly silicon (LTPS) thin film transistor liquid crystal display (TFT-LCD) 응용을 위한 1:12 MUX 기반의 1280-RGB $\times$ 800-Dot 70.78mW 0.13um CMOS LCD driver IC (LDI) 를 제안한다. 제안하는 LDI는 저항 열 구조를 사용하여 고해상도에서 전력 소모 및 면적을 최적화하였으며 column driver는 LDI 전체 면적을 최소화하기 위해 하나의 column driver가 12개의 채널을 구동하는 1:12 MUX 구조로 설계하였다. 또한 신호전압이 rail-to-rail로 동작하는 조건에서 높은 전압 이득과 낮은 소비전력을 얻기 위해 class-AB 증폭기 구조를 사용하였으며 고화질을 구현하기 위해 오프 셋과 출력편차의 영향을 최소화하였다 한편, 최소한의 MOS 트랜지스터 소자로 구현된 온도 및 전원전압에 독립적인 기준 전류 발생기를 제안하였으며, 저전력 설계를 위하여 차세대 시제품 칩의 source driver에 적용 가능한 새로운 구조의 slew enhancement기법을 추가적으로 제안하였다. 제안하는 시제품 LDI는 0.13um CMOS 공정으로 제작되었으며, 측정된 source driver 출력 정착 시간은 high에서 low 및 low에서 high 각각 1.016us, 1.072us의 수준을 보이며, source driver출력 전압 편차는 최대 11mV를 보인다. 시제품 LDI의 칩 면적은 $12,203um{\times}1500um$이며 전력 소모는 1.5V/5.5V 전원 저압에서 70.78mW이다.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2004년도 Asia Display / IMID 04
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• pp.309-314
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• 2004

Static and transient behaviour of Low Temperature Poly-Si TFTs (LTPS-TFTs) and Single Grain TFTs (SG- TFTs) are compared 3-D simulation is applied here for the first time to TFTs to account for the structure and twin boundaries in SG-TFTs.

• 인포메이션 디스플레이
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• 제6권5호
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• pp.4-9
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• 2005

There has been a new trend to integrate various kinds of circuits by low temperature polycrystalline silicon thin film transistor (LTPS TFT) on insulator substrates to achieve System on Panel (SOP) for flat panel displays. In this paper, we will review the trend of the SOP and discuss the utility and future possibility of the SOP.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권2호
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• pp.1061-1064
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• 2007

Thin Beam Excimer Laser Annealing is investigated as one possible process enabled by the variable concept of Thin Beam LTPS processing. The structure of the resulting p-Si material is analyzed in terms of grain size distribution, scaling with energy density and overlap, as well as average surface roughness. This process provides similar control and latitude as conventional excimer laser annealing, but reduced average surface roughness and the potential to be scaled to significant productivity levels.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권2호
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• pp.1263-1265
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• 2007

The electrical characteristics of low temperature poly-Si (LTPS) thin-film transistors (TFT) with channel parallel and perpendicular to the direction of lateral growth were studied. The poly-Si film was crystallized using sequential lateral solidification (SLS) laser crystallization technique. The channel orientation dependent turn-on characteristics were investigated by using gated-diodes and capacitance-voltage measurements

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권2호
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• pp.1168-1171
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• 2007

Integrating systems on TFT-LCD panels is more and more popular for the mobile display application. However, it may not be necessary to use LTPS TFT devices. A-Si TFTs are used to integrate systems on TFT-LCD panels, especially scan (gate) drivers. To further reduce the chip size of driver IC, the triplegate pixel structure is developed. Therefore, the number of the source lines is reduced to 1/3 times.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2008년도 International Meeting on Information Display
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• pp.13-16
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• 2008

Mobile phones are evolving into a platform for internet access. In order to display web pages in handsets, WVGA and around 3-inch displays are strongly recommended. Low power consumption, compactness and narrow boarder area are essential. The general requirements for WVGA solution and the design factors to reduce the power consumption and boarder area discussed.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
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• pp.665-668
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• 2006

Sodium is a serious contamination in LTPS TFT process. It causes the abnormal characteristics of TFT in operation. Contaminated areas can be seen in SEM images, but EDX measurements do not have adequate sensitivity to confirm the presence of superficial sodium residues. We employed SIMS as a fast analysis method to map the non-uniform distribution of sodium on the surface. SIMS can also indicate the thickness of the contamination.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.II
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• pp.841-844
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• 2005

There has been a new trend to integrate various kinds of circuits by low temperature polycrystalline silicon thin film transistor (LTPS TFT) on insulator substrates to achieve System on Panel (SOP) for flat panel displays. In this paper, we will review the trend of the SOP and discuss the utility and future possibility of the SOP.