Fabrication and Time-Dependent Analysis of Micro-Hole in GaAs(100) Single Crystal Wafer Using Wet Chemical Etching Method (습식 화학적 식각 방법에 의한 시간에 따른 GaAs(100) 단결정 웨이퍼에서의 마이크로 구멍의 제작 및 분석)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.29 no.3
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- pp.155-159
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- 2019